PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Powiadomienia systemowe
  • Sesja wygasła!
  • Sesja wygasła!
Tytuł artykułu

Negative ion source for SIMS application

Identyfikatory
Warianty tytułu
PL
Zastosowanie źródła jonów ujemnych w spektrometrze SIMS
Konferencja
Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
Języki publikacji
EN
Abstrakty
EN
The paper presents a modification of the thermal emission Cs+ ion source used for SIMS spectroscopy purposes. The source was modified in such a way that both the positive ion beam (in thermal emission mode), and the negative one (in sputter mode) may be emitted by the source. The mass spectra of both beams are shown and analysed. Also comparison of the secondary ion mass spectra obtained for negative and positive primary ion beams is presented.
PL
Praca prezentuje modyfikację termoemisyjnego źródła jonów wykorzystywanego w spektrometrze SIMS. Konstrukcja termoemisyjnego źródła jonów dodatnich została zmieniona, tak by mogło ono pracować jako źródło jonów ujemnych, przy wykorzystaniu zjawiska rozpylania. Zaprezentowane i omówione zostały widma mas dla wiązki jonów dodatnich i ujemnych. Porównano także widma mas jonów wtórnych dla tarcz bombardowanych wiązką jonów dodatnich i ujemnych.
Czasopismo
Rocznik
Strony
119--128
Opis fizyczny
Bibliogr. 13 poz., rys., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
  • Institute of Physics, Maria Curie-Sklodowska University, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-PWA9-0001-0011
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.