Mikromechaniczny krzemowy przetwornik pola magnetycznego

• Autorzy: Gołębiowski J. , Gozdur R. , Majocha A.

Warianty tytułu

EN

Micromechanial silicon transducer of magnetic field

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono mikromechaniczny system do pomiaru indukcji pola magnetycznego. W systemie zastosowano mikrobelkę krzemową z warstwą ferromagnetyczną. Analizowano wpływ parametrów belki oraz oddziaływanie zewnętrznego pola magnetycznego na kąt ugięcia belki. Zaprezentowano układ optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki.

EN

The micromechanical device dedicated to measuring the magnetic induction is presented in this paper. A micromechanical silicon cantilever with a ferromagnetic surface layer is applied in the system. The authors analyzed the influence of cantilever parameters and external magnetic field on the angle of cantilever bending. The optoelectronics device for measure the cantilever bending is presented.

Słowa kluczowe

PL

MEMS; system pomiarowy; pomiar indukcji magnetycznej; indukcja magnetyczna; układy optoelektroniczne; elektrotechnika

EN

MEMS; measuring system; measurement of magnetic flux density; magnetic flux density; optoelectronic system; electrical engineering; electrotechnics

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2011
• Tom: R. 87, nr 9a
• Strony: 56--59
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

autor

Gozdur R.

autor

Majocha A.

• Politechnika Łódzka, Katedra Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych, ul. Wólczańska 211/215, 90-924 Łódź,

Bibliografia

• [1] Judy J.W., Muller R.S., Magnetic Microactuation of Torsional Polysilicon Structures. Sensors and Actuators A, v. A53, no.1-3, pp. 392-397, 1996
• [2] Judy J.W., Muller R.S., Magnetically Actuated, Addressable Microstructures. Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 6, no. 3, pp. 249-256, 1997
• [3] Fiorillo F., Measurement and characterization of magnetic materials, Elsevier Academic Press, 2004
• [4] Gołębiowski J.: Microactuators systems of torsional silicon cantilever , Proc. of WSES/IEEE Int. Conf. ICRODIC, Skiathos , Greece, pp. 3281-3284, 2002
• [5] Ciudad D., Aroca C., Sanchez M.C., Lopez E., Sanchez P., Modelling and fabrication of a MEMS magnetostatic magnetic sensor, Elsevier Sensors and Actuators, A 115, pp. 408-416, 2004
• [6] Gołębiowski J., Prohuń T., Microsilicon Luminous Flux Switch Controlled by Means of Magnetic Field, Proceedings of INCINCO II Conference on Informatics in Control, Automation and Robotics, Barcelona, Spain, pp. 301-306, 2005
• [7] Gołębiowski J., Elektromechaniczny system z drgającą" mikrobelką krzemową, Mater. konfer. Czujniki Optoelektroniczne i Elektroniczne COE2002, Rzeszów, t.1, s.331-336, 2002
• [8] Rybak M., Gołębiowski J., Modelowanie i symulacja mikrokrzemowej struktury elektromagnetycznego przetwornika z wykorzystaniem metody elementów skończonych, PAK nr 10b , s. 20-24, 2006
• [9] Prohuń T., Gołębiowski J., Modelowanie przestrzennego rozkładu pola magnetycznego przetwornika elektromagnetycznego do pomiaru indukcji zewnętrznego pola magnetycznego, PAK, nr. 9 , vol.53, s.265-268, 2007
• [10] Gołębiowski J., Prohuń T., Rybak M.: Modelling of the Silicon Membrane Vibrations Generated by Means of Electromagnetic Forces, WSEAS Transaction on Systems, Issue 7, vol.3, pp. 2538-2540, 2004
• [11] Tumański S., Cienkowarstwowe czujniki magnetorezystancyjne, OWPW, Warszawa 1997