Identyfikacja niektórych parametrów warstw przewodzących z wykorzystaniem metody prądów wirowych

• Autorzy: Stec W.

Warianty tytułu

EN

Identification of parameters of conducting layers by eddy current method

• Konferencja: Metody i Technika Przetwarzania Sygnałów w Pomiarach Fizycznych / Materiały XIV Międzynarodowego Seminarium Metrologów (XIV ; 17-19.10.2006 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł przedstawia sposób pomiaru rezystancji cienkich warstw metalicznych za pomocą prądów wirowych. Metoda polega na indukowaniu w warstwie prądów wirowych przez czujnik indukcyjny pracujący w układzie szeregowego obwodu rezonansowego.

EN

The article presents a measure method of resistance of thin metallic layers with use of eddy current. The method relies on eddy current induction caused in the layer by measurement sensor working in serial resonance circuit.

Słowa kluczowe

PL

pomiary fizyczne; warstwa przewodząca; cienka warstwa metaliczna; cienka warstwa; prądy wirowe

EN

physical measurements; conducting film; metallic thin layer; thin film; eddy currents

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2006
• Tom: z. 29 [233]
• Strony: 251--258
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Stec W.

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych

Bibliografia

• [1] Borek R., Stec W.: Wiroprądowa metoda badania cienkich niemagnetycznych warstw przewodzących naniesionych na podłoże szklane. Pomiary Automatyka Kontrola nr 7/8'2003. Warszawa 2003.
• [2] Lewiński K.: Nomogramy i tablice radiotechniczne. Wydanie II. WKiŁ Warszawa 1962
• [3] Matusiak R.: Elektrotechnika teoretyczna. Teoria pola elektromagnetycznego. Tom 2. WNT. Warszawa 1982
• [4] Rawa H.: Podstawy elektromagnetyzmu. Oficyna Wydawnicza PW, 1996
• [5] Sikora R.: Teoria pola elektromagnetycznego. WNT. Warszawa 1985
• [6] Stec W.: Modelowanie wpływu czynników oddziałujących na pracę wiroprądowej rezonansowej głowicy pomiarowej. XI Międzynarodowe Seminarium Metrologów Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych" Rzeszów 24-27.09.2003
• [7] Stec W.: Badanie właściwości cienkich warstw metalicznych metodą porównań odpowiedzi na pobudzenie polem elektromagnetycznym. XII Międzynarodowe Seminarium Metrologów "Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych" Rzeszów 26-30.09.2003
• [8] Tablice fizyczno-astronomiczne. red. Mizerski W. Wydawnictwo Adamantan. Warszawa 2005.