Modelowanie wiroprądowego przetwormika do pomiaru konduktywności cienkich warstw przewodzących

• Autorzy: Stec W.

Warianty tytułu

EN

Modelling eddy current sensor for conductivity measurement of thin conductive films

• Konferencja: Metody i Technika Przetwarzania Sygnałów w Pomiarach Fizycznych / Materiały XIII Międzynarodowego Seminarium Metrologów (XIII ; 17-19.10.2005 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono sposób modelowania wiroprądowego przetwornika do pomiaru konduktywności cienkich warstw przewodzących. Zaprezentowano wyniki symulacji oddziaływania warstw, o założonych właściwościach fizycznych, na system pomiarowy.

EN

In this article modelling of eddy current sensor for conductivity measurement of thin conductive layers has been presented. The layers which have assumed physical properties have an influence on the measuring system. The results of simulation were discussed.

Słowa kluczowe

PL

pomiary fizyczne; konduktywność; cienkie warstwy przewodzące; przetwornik wiroprądowy

EN

physical measurements; conductivity; thin conductive films

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 28 [223]
• Strony: 181--190
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Stec W.

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych

Bibliografia

• 1. Bieriezjuk B.M.: Model wihrjetokowogo prjeobrazowatjelja cifrowogo pjerjemennoczastotnogo izmjeritelja eljektroprowodnosti. UDK 620.179.14. 1985.
• 2. Gajda J., Szyper M.: Modelowanie i badania symulacyjne systemów pomiarowych. Kraków 1998.
• 3. Krakowski M.: Elektrotechnika teoretyczna. Tom II. Pole elektromagnetyczne. PWN. Warszawa-Poznań 1980.
• 4. Sikora R.: Teoria pola elektromagnetycznego. WNT. Warszawa 1985.
• 5. Skowronek M.: Modelowanie cyfrowe. Opis, algorytmy i środki programowe. Wydawnictwo Politechniki Śląskiej. Gliwice 2004.
• 6. Stec W.: Identyfikacja oddziaływań warstwy przewodzącej na parametry mierzalne głowicy pomiarowej w badaniach wiroprądowych. Materiały X Międzynarodowego Seminarium Metrologów, Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych. Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej - Elektrotechnika z. 24. Rzeszów 2002.
• 7. Stec W.: Modelowanie wpływu czynników oddziałujących na pracę wiroprądowej rezonansowej głowicy pomiarowej. Materiały XI Międzynarodowego Seminarium Metrologó., Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych. Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Seria Elektrotechnika z. 25. Rzeszów 2003.
• 8. Stec W.: Badanie właściwości cienkich warstw metalicznych metodą porównań odpowiedzi na pobudzenie polem elektromagnetycznym. Materiały XII Międzynarodowego Seminarium Metrologów, Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych, Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Rzeszów 2004.
• 9. Tian G.Y., Zhao Z.X.. Baines R.W.: The research of inhomogeneity in eddy current sensors. Sensors and Actuators A 69. Elsevier 1998.