Wpływ rodzaju prekursora na jakość warstw diamentowych

• Autorzy: Fabisiak K. , Banaszak A. , Kozanecki M. , Jarzyńska D. , Staryga E.
• Konferencja: VII Krajowa Konferencja Techniki Próżni (7; 18-21.09.2005; Cedzyna, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

Very high hardness and broad optical window from UV up to IR make the diamond attractive for many applications. In this work the Raman spectroscopy was used to determine the quality of polycristalline diamond films obtained by Hot Filament Chemical Vapor Deposition Method. Lower contain of amorphous carbon phase and lower value of FWHM of the layers obtained from C(2)H(2) comparing to films obtained from CH(3)OH.

Słowa kluczowe

PL

charakterystyka; diament; warstwy; gaz roboczy

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 153
• Strony: 177--180
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., wykr., schem.

Twórcy

autor

Fabisiak K.

• Dept. of Physics, Kazimierz Wielki University, Weyssenhoffa Sq. 11, 85-072 Bydgoszcz

autor

Banaszak A.

• Dept. of Physics, Kazimierz Wielki University, Weyssenhoffa Sq. 11, 85-072 Bydgoszcz

autor

Kozanecki M.

• Dept. of Molecular Physics, Technical University of Łódź, Żeromskiego 116, 90-924 Łódź

autor

Jarzyńska D.

• Faculty of Mech. Engineering, Technical University of Łódź, Stefanowskiego 1/15, 90-924 Łódź

autor

Staryga E.

• Institute of Physics, Technical University of Łódź, Wólczańska 219, 90-924 Łódź

Bibliografia

• [1] K. Fabisiak, J.-M. Philippoz, H. Van den Bergh, Diamond Relat. Mater. vol. 1, p. 77- 82, 1991.
• [2] D.S. Knight and W.B. White, J. Mater. Res. vol. 4, p. 385-390, 1989.
• [3] M. Pandey, R.D. Cunha, A.K. Tyagi, J. Alloys Comp. vol. 333, p. 260-264, 2002.
• [4] E. Staryga, Characterization of thin hard amorphous carbon films by Raman spectroscopy, Zeszyty Naukowe PŁ No. 784, Fizyka, Vol. 17 p. 52-73, 1997.
• [5] S.R. Sails, D.J. Gardiner, M. Bowden, J. Savage, D. Rodway, Diamond Relat. Mater. vol. 5, p. 589-591, 1996.
• [6] K.H. Chen, Y.L. Lai, J.C. Lin, K.J. Song, L.C. Chen, C.Y. Haug, Diamond Relat. Mater. vol. 4, p. 460-463, 1995.
• [7] H. Windischmann, K.J. Gray, Diamond Relat. Mater. vol. 4, p. 837-842, 1995.
• [8] Handbook of industrial diamonds and diamond films. ed. M. Prelas, G. Popovici, L.K. Bigelow, New York, Marcel Dekker Inc. p. 413-425, 1998.