Analiza wpływu geometrii płytki blokującej komory pompowe na rozkłady gęstości strumienia gazu we wzorcu niskich ciśnień

• Autorzy: Niewiński M.
• Konferencja: VII Krajowa Konferencja Techniki Próżni 97; 18-21.09.2005; Cedzyna, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

This paper presents the results of Monte Carlo computations of gas flux distribution in the chambers of typical calibration system, as a function of two parameters: diameter of bl9ocking plate, placed in pumping chamber and backstream from the pump. It was the backstream from pumping chamber to the calibration chamber depends mainly on diameter of blocking plate, and it significantly increasing with blocking plate`s diameter.

Słowa kluczowe

PL

gazy; wysokie próżnie; komora pompowa

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 153
• Strony: 148--151
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., wykr.

Twórcy

autor

Niewiński M.

• IMiO Politechniki Warszawskiej, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa

Bibliografia

• [1] K.F. Poulter, Journal of Physics E:10, s. 112-125,1977.
• [2] P. Szwemin, Vacuum 73, s. 263-267, 2004.
• [3] A. Calcatelli, G. Raiteri, G. Rumiano, Characteristics of the fixed-conductance continuous expansion system IMGC-CNR-D2. Raport instytutowy 68, CNR - Instituto di Metrologia “G. Colonnetti”, 2002.
• [4] K.H. Chung, S.S. Hong, Y.H. Shin, J.Y. Lim, S.K. Lee, S.Y. Woo, Metrologia 36(6), s. 675-679, 1999.
• [5] ISO/DIS 3570/1, 1975.
• [6] G.A Bird. Molecular gas dynamic and the direct simulation of gas flows. Clarendon Press, Oxford, 1994.
• [7] M. Niewiński, P. Szwemin, Vacuum 67 (3-4), s. 327-332, 2002.
• [8] A.G. Antoniou, S.E. Valamontes, Vacuum 46, s. 709-715, 1995.
• [9] Joong-Sik Heo, Young-Kyu Hwang, Vacuum 56, s. 133-142, 2000.