Jak charakteryzować wysokie próżnie?

• Autorzy: Szwemin P.
• Konferencja: VII Krajowa Konferencja Techniki Próżni (7; 18-21.09.2005; Cedzyna, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The gas pressure and the gas temperature are commonly used for characterizing the vacuum environment. These macroscopic parameters were transferred to vacuum science and technology from classical thermodynamics. The aim of the paper is to show the statistical aspects of the most important phenomena in high vacuum. I would also proposed using the gas number density instead of pressure,since this macroscopic gas parameter, which comes from statistical physics, directly influences the phenomena that occur in high vacuum.

Słowa kluczowe

PL

charakterystyka; wysokie próżnie

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 153
• Strony: 141--145
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., tab.

Twórcy

autor

Szwemin P.

• Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa

Bibliografia

• [1] A. Bobenrieth, Le Vide 14, s. 271,1959.
• [2] F.T. Worell, Nature 199, s. 476-7, 1963.
• [3] I. Chuthert, Nature 201, s. 60, 1964.
• [4] G. Lewin, Vacuum 41, s. 2048-9, 1990.
• [5] K. Zalewski, Wykłady z termodynamiki fenomenologicznej i statystycznej, PWN, W-wa 1973.
• [6] ISO 3529, Vacuum technology - vocabulary, 151 edition, 1981.
• [7] J.P. Terlecki, Fizyka statystyczna, (tłum. z rosyjskiego), PWN, Warszawa 1968.
• [8] E.H. Kennard, Kinetic Theory of Gases with an Introduction to Statistical Mechanics, McGraw-Hill Book Company Inc.; New York & London, 1938.
• [9] G.A. Bird, Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows, 2nd new ed., Clarendon Press, Oxford, 1994.