Sterowanie radiacyjnym transportem energii cieplnej w próżniowych systemach do wytwarzania materiałów fotowoltaicznych

• Autorzy: Jankowski H. , Szczurkowski M. , Pisarkiewicz T. , Warzecha M. , Worek C.
• Konferencja: VII Krajowa Konferencja Techniki Próżni (7; 18-21.09.2005; Cedzyna, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The Rapid Thermal processing is a promising technique to produce high quality semiconducting (eg, CulnSe(2)) thin film. The laboratory RTP system for a method denoted infrared spiking rapidly inserting and withdrawing sample wafers in horizontal furnace was built. The Matlab/Simulink model of the object was proposed to perform temperature control requirements. We demonstrate the model based steering (MBS) of sample holder position as well as heater temperature and horizontal temperature gradient of the furnace.

Słowa kluczowe

PL

próżniowa selenizacja; materiały fotowoltaiczne; sterowanie radiacyjne

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 153
• Strony: 137--140
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., schem., wykr.

Twórcy

autor

Jankowski H.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

autor

Szczurkowski M.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

autor

Pisarkiewicz T.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

autor

Warzecha M.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

autor

Worek C.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

Bibliografia

• [1] O. Adurodija, J. Song, S.D. Kim, S.H. Kwon, S.K. Kim, K.H. Yoon, B.T. Ahn, Thin Solid Films 338, 13-19, 1999.
• [2] T. Pisarkiewicz, H. Jankowski, E. Schabowska-Osiowska, L.J. Maksymowicz, Opto-Electron. Rev. 11(4), 297-304, 2003.
• [3] H. Jankowski, J. Miller, T. Pisarkiewicz, M. Warzecha, C. Worek, Vacuum 75, 79-83, 2004.
• [4] T. Pisarkiewicz, H. Jankowski, Vacuum 70, 435-438, 2003.
• [5] H. Jankowski, J. Miller, T. Pisarkiewicz, M. Warzecha, C. Worek, Politechnika Warszawska, Prace naukowe Elektronika 143, 143-147, 2002.
• [6] Z. Rudnicki, “Radiacyjny przepływ ciepła w piecach przemysłowych”, WPS, Gliwice 1998.
• [7] O. Schenker, M. Klenk, E. Bucher, Thin Solid Films 361-362, 454-457, 2000.
• [8] A. Fiory, “Methods in Microelectronics for RTA of lmplanted Dopands” 11th Workshop on Crystalline Silicon Solar Cell Materials and Processes ed. B.L. Sopori, NREL/BK-520-30838, 2001.