Morfologia powierzchni poddanej rozpylaniu jonowemu - implikacje technologiczne, biologiczne i medyczne

• Autorzy: Kowalski Z. W.
• Konferencja: VII Krajowa Konferencja Techniki Próżni (7; 18-21.09.2005; Cedzyna, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

Changes of surface morphology considered as alteration topography and/or roughness are the main and spectacular result of ion sputtering pf solid surface. To obtain quite clear picture of morphology modification high quality investigation methods ( techniques) have tio be applied. The four of them are presented in this short review article. The first is profilometrical technique enabling surface microroughness measurements. The second - microscopical method used to observe surface topography (SEM) or topography together with nanoroughess measurements (AFM). Very interesting and promising investigation ways discussed in the paper are harmonic analysis and fractal analysis of sputtered surface profile. Technological and biomedical implications are also shown here.

Słowa kluczowe

PL

morfologia powierzchni; analiza naukowa

EN

surface morphology; scientific research

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2005
• Tom: z. 153
• Strony: 17--24
• Opis fizyczny: Bibliogr. 28 poz., wykr., rys., schem.

Twórcy

autor

Kowalski Z. W.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej, ul. Zygmunta Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

Bibliografia

• [1] Z. W. Kowalski, J. Vac. Sci. Technol. vol. 1, s. 494-496, 1983.
• [2] P. Sigmund, Appl. Phys. Lett. vol. 66, s. 433-435, 1995.
• [3] A. Tóth, T. Bell, I. Bertóti, M. Mohai, B. Zelei, Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. vol. B148, s. 1131-1135, 1999.
• [4] J. S. Pan, S. T. Tay, C. H. A. Huan, A. T. S. Wee, Surf. Interface Anal. vol. 26, s. 930-938, 1998.
• [5] M. Aguilar, A. I. Oliva, E. Anguiano, Surface Science vol. 420, s. 275-284, 1999.
• [6] R. Loesing, G. M. Guryanov, J. L. Hunter, D. P. Griffis, J. Vac. Sci. Technol. vol. B18, s. 509-513, 2000.
• [7] J. Wilk. Z. W. Kowalski, Vacuum vol. 70, s. 87-91, 2003.
• [8] B. Nowicki, Struktura geometryczna. Chropowatość i falistość powierzchni, s. 328, WNT, Warszawa 1991.
• [9] K. Kimura, A. Fukui, K. Nakajima, M. Mannami, Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. vol. B148, s. 149-153, 1999.
• [10] F. Frost, G. Lippold, K. Otte, D. Hirsch, A. Schindler, F. Bigl, J. Vac. Sci. Technol. vol. A17, s. 793-798, 1999.
• [11] J. Wilk, G. Przybylski, Z.W. Kowalski, Vacuum vol. 63, s. 597-601, 2001.
• [12] K. Otte, G. Lippold, F. Frost, A. Schindler, F. Bigl, M.V. Yakushev, R.D. Tomlinson, J. Vac. Sci. Technol. vol. A 17, s. 19-25, 1999.
• [13] G. Costantini, S. Rusponi, R. Gianotti, C. Boragno, U. Valbusa, Surface Science vol. 416, s. 245-254, 1998.
• [14] Yu.D. Yagodkin, K.M. Pastuhov, G. Vandenrisschi, J.-M. de Monicault, J.-M. Dewulf, Surface and Coatings Technology vol. 89, s. 52-57, 1997.
• [15] J. Wilk, J. Bałamucki, J. Kozłowski, Z.W. Kowalski, VII Konferencja Naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE 2000, Polanica Zdrój, 18-22.06.2000, ITM PWr., Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Tom 2, s. 986-989, 2000.
• [16] Z.W. Kowalski, D. Jerzmański, J. Mater. Sci. Lett. vol. 6, s. 837-838, 1987.
• [17] J. Wilk, Z.W. Kowalski, Nukleonika vol. 44, s. 265-270, 1999.
• [18] Z.W. Kowalski, Modyfikacja morfologii powierzchni ciała stałego wywołana rozpylaniem jonowym, Prace Naukowe Instytutu Technologii Elektronowej Politechniki Wrocławskiej nr 38, Seria: Monografie nr 13, s. 130, Wrocław 1989.
• [19] Z.W. Kowalski, J. Mater. Sci. vol. 20, s.1521-1555, 1985.
• [20] A. Marendziak, T. Gotszalk, I. W. Rangelow, J. Wilk, Z. W. Kowalski, Elektronika vol. XLVI, nr 6, s. 15-17, 2005.
• [21] A. Marendziak, J. Wilk, Z. W. Kowalski, Proc. IV Int. Conf. NEET'2005, Zakopane, Poland, 21-24 June 2005, s. 77-79, 2005.
• [22] A. Marendziak, Rozprawa doktorska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2005.
• [23] J. Martan, Z.W. Kowalski, Elektronika vol. XLVI, nr 6, s. 18-19, 2005.
• [24] S. Davies, P.J.R. Hall, Statist. Soc. vol. B 61, s. 3-37, 1999.
• [25] T. R. Thomas, B.-G. Rosén, N. Amini, Wear vol. 232, s. 41-50, 1999.
• [26] C. F. Abrams, D. B. Graves, J. Vac. Sci. Technol. vol. A 16, s. 3006-3019, 1998.
• [27] J. Wilk, G. Przybylski, Z. W. Kowalski, Elektronika vol. XLII, s. 36-37, 2001.
• [28] Z. W. Kowalski, Morfologia powierzchni rozpylanej jonami - implikacje technologiczne i biomedyczne, s.120, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2001.