Modelowanie przepływu gazu w układach wzorców wysokich próżni

• Autorzy: Szwemin P.

Warianty tytułu

EN

Modeling the molecular gas flow in high vacuum standards

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zasada działania wzorców wysokich próżni oparta jest na dynamicznej ekspansji gazu z komory kalibracyjnej wzorca do jego komory pomocniczej z pompą. Pracę poświęcono zagadnieniom modelowania przepływu gazu w warunkach molekularnych w układach takich wzorców, w celu znajdowania rozkładów koncentracji i gęstości strumienia gazu, z dokładnością niezbędną w metrologii. Do rozwiązania tego zagadnienia posłużono się metodą Monte Carlo, gdyż z uwagi na złożoność struktury geometrycznej wzorca, znalezienie rozwiązań równania Boltzmanna w postaci analitycznej nie było możliwe. W pierwszej części pracy omówiono kwestię wyboru odpowiedniego modelu oddziaływania cząsteczek gazu z powierzchnią komory. Zarówno charakter (utlenionych i pokrytych zaadsorbowanym gazem) powierzchni tych układów jak i stan gazu w warunkach przepływu (zbliżony do stanu równowagi statystycznej) pozwalają przyjąć założenie kosinusowego prawa rozpraszania cząsteczek gazu na powierzchniach komór wzorca, jako warunku brzegowego - właściwego dla rozpatrywanych w pracy zagadnień przepływu. Zwrócenie uwagi na szczegóły procesu symulacji pozwoliło na zwiększenie precyzji obliczeń i osiągnięcie bardzo malej ich względnej niepewności (nawet poniżej 10-9). Wyniki prac autora oparte na obliczeniach symulacyjnych wykazują taką zbieżność do wyników obliczeń opartych na znanych rozwiązaniach analitycznych (dla przewodów próżniowych o elementarnych kształtach). W dalszej części pracy dokonano analizy właściwości powszechnie stosowanego modelu przeplywu gazu przez układ wzorca, modelu opartego na analogii do przepływu prądu w układzie elektrycznym o stałych skupionych. Jednakże komór wzorca nie można traktować jako elementów analogicznych do węzłów sieci, gdyż stwierdzono, że rozkłady koncentracji i strumienia gazu nie są w ich obrębie jednorodne. Wykazano, że niedostatki modelu tradycyjnego są na tyle duże, iż nie jest możliwe z jego pomocą znajdowanie przyczyn systematycznych różnic między koncentracjami generowanymi przez poszczególne wzorce. Skłoniło to autora do stworzenia kilku modeli opartych na wyznaczaniu średnich parametrów torów cząsteczek gazu w układzie wzorca, a następnie na wyznaczaniu parametrów makroskopowych charakteryzujących wzorzec. Posługując się tymi modelami analizowano wpływ kształtu i rozmiarów komory kalibracyjnej na parametry wzorca. Badano rozkłady gęstości strumienia gazu na ścianach takiej komory. Poszukiwano optymalnego położenia wzorcowanej głowicy bądź wyznaczano odpowiednie współczynniki korekcyjne dla określonego położenia takiej głowicy w istniejącym już układzie. We wszystkich tych przypadkach stwierdzono systematyczne odchylenia analizowanego parametru wzorca (np. generowanej koncentracji gazu) od obliczeń opartych na modelu tradycyjnym. Wykazano, że różnice te zawierają się od 2.10-4 do 6.10-4, są one istotne i powinny być uwzględniane w bilansie niepewności, gdyż ich suma zbliża się do 10-3 - jest zatem porównywalna z szacowaną dotychczas niepewnością złożoną wzorców. Uogólnieniem opisanych w pracy modeli jest model globalny wzorca. Zamyka on dotychczasowy dorobek autora w omawianej tematyce. Wiąże on lokalną koncentrację gazu w objętości wzorcowanej głowicy próżniomierza z mierzonym strumieniem gazu dopływającego do komory kalibracyjnej. Współczynnik proporcjonalności w wyprowadzonym wzorze, przez wyznaczane w procesie symulacyjnym średnie parametry torów cząsteczek (średni czas przelotu lub średnią drogę w objętości wzorcowanej głowicy), odzwierciedla wpływ wszystkich elementów próżniowych wzorca i ich rozmiarów geometrycznych. Te średnie parametry mikroskopowe są zależne od całej struktury geometrycznej wzorca. Opierając się na tym ostatnim modelu można wyprowadzić globalny współczynnik korekcyjny wzorca wysokiej próżni. Pozwala on znacząco zmniejszyć złożoną niepewność wyznaczania generowanej wielkości, a także wziąć pod uwagę zjawiska dotychczas nie uwzględniane (zderzenia międzycząsteczkowe, rozkłady temperatury itp.).

EN

High vacuum standards operate on the principle of continous (dynamic) expansion of gas from the calibration chamber of the standard into its pumping chamber. The study is concerned with modeling the molecular gas flow in these standards with the aim to determine the distributions of the number density and the gas flux density at the accuracy suitable for metrological purposes. The problem was handled using the Monte Carlo method, since the complexity of the standard geometry made it possible to solve analytically the Boltzmann equation. The first part of the study discusses the problems associated with the selection of the appropriate model that would describe the interaction between the gas molecules and the surfaces of the chambers. Taking into account both the character of the surfaces (oxidized and covered with absorbed gas) of the chamber and the state of the gas under the given flow conditions (close to the statistic equilibrium state), the boundary condition was taken to be the cosine law that governs the gas molecule scattering on the surfaces of the standard chambers. The detailed analysis of the simulation process performed in the study permitted increasing the caIculation accuracy and achieving a very smali relative uncertainty of the caIculation results (even below 10-9). The simulation results obtained by the present author are convergent with the results of analytical caIculations (obtained for vacuum connections of elementary shapes). The next part of the study is concerned with an analysis of the commonly used model of the gas flow through the standard system, a model which is based on an analogy to the flow of electric current through electric circuits. As however shown in the study, the chambers of the standard cannot be considered to be analogous to the circuit nodes, since the distributions of the number density and the gas flow appear to be inhomogeneous within them. It has been shown that the drawbacks of the traditional model are so severe that it is unsuitable for analyzing the reasons of the systematic differences in the number densities generated by the individual standards. This has inspired the author to construct a series of models in which first the mean parameters of the gas molecule paths within the standard system are determined, and then the macroscopic parameters of this standard are found. These models were used for analyzing how the shape and the dimensions of the calibration chamber affected the parameters of the standard. The distributions of the gas flow densities on the walls of this chamber were examined. The optimum position of the gauge to be calibrated was sought, or the appropriate correction factors for the position of the gauge in an existing system were determined. In all the cases examined, the analyzed parameter of the standard (e.g., the generated gas number density) appeared to show systematic deviations from the results obtained with the traditional model. These deviations range from 2.10-4 to 6.10-4 and, thus, they are significant enough to be taken into account in the uncertainty budget: their sum approaches 10-3 which is comparable with the complex uncertainty of the standards as estimated thus far. A generalization of the models described in the present study is a global model of the high-vacuum standard, which is the completion of the research work the author has done in this field. lt relates the local number density of the gas within the calibrated gauge of a vacuum meter with the measured value of the gas flux that inflows into the calibration chamber. Through the mean parameters of the molecule paths (the mean time of flight or the mean path within the volume of the calibrated gauge) determined by the simulation, the proportionality factor that occurs in the formula derived in the study includes the effects of all the vacuum components of the standard and of their geometrical dimensions. The values of these microscopic mean parameters depend on the whole geometrical structure of the standard. Based on this global model, we can derive the global correction factor for a high vacuum standard, which permits reducing the combined uncertainty in the determination of the generated quantity, and also taking into account the phenomena that have not been considered thus far (such as intermolecular collisions, temperature distributions etc.).

Słowa kluczowe

PL

wzorce próżni; przepływ gazów; modelowanie

EN

modelling; high vacuum standards; molecular gas flow

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2003
• Tom: z. 148
• Strony: 5--206
• Opis fizyczny: Bibliogr. 235 poz., tab., wykr., schem.

Twórcy

autor

Szwemin P.

• Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej

Bibliografia

• [1] Vacuum gauges - Standard methods for calibration: part 1: Pressure reduction by continuous tlow in the pressure range of 10-¹ to 10-⁵ Pa. ISO/DIS 3570/1, 1975; także Calibration of vacuum gauges within the range of 10-³3- 10-⁷ mbar, general method: pressure reduction by continuos flow. DIN 28416, 1976.
• [2] Szwemin P.: Standaryzacja metod pomiarowych i kalibracji próżniomierzy. Raport z pracy 122/75/NB dla ITP-OBREP s. 1-88, ITE PW, Warszawa 1976.
• [3] Hałas A., Kiliszek Cz., Magiełko H.: Wzorcowanie próżniomierzy w ITP. Elektronika. vol. XL, No 11, s. 5-7, 1999.
• [4] Szwemin P., Szymański K., Niewiński M.: Badanie parametrów strumienia gazu wypływającego z komory pomiarowej. ITP-OBREP metodą MC. Raport z pracy IMiO PW 673/6, Warszawa czerwiec 1995.
• [5] Normand C.E.: Use of a standard orifice in calibration of vacuum gauges. Trans. 8th AVS Symp., Pergamon Press, s. 534-543, 1961.
• [6] Grosse G., Messer G.: Experience with cryopumps in calibration devices. Vacuum vol. 20, No 9, s. 373-376, 1970.
• [7] Bernadet H., Choumoff P.S., Mativet J., Sauneuf R.: Etalonnage absolu en ultra-vide par la mèthode de la conductance réglable, Le vide, No 146, s. 84-90, 1970.
• [8] Poulter K.F.: An apparatus for calibrating vacuum gauges in the UHV region. J. Phys. E: Sci. Instr., vol. 7, s. 38-44, 1974.
• [9] Calcatelli A., Ferrero C., Rumiano G., Ughi G.: A comparative study of the metrological characteristics of fixed- and variable-conductance dynamic system for vacuum gauge calibration. Jap. J. Appl. Phys., Suppl. 2 part I, s. 127-130, 1974.
• [10] Poulter K.F.: The calibration of vacuum gauges. J. Phys. E. 10, s. 112-125, 1977.
• [11] McCulloh K.E., Tilford C.R., Wood S.D., Martin D.F.: The national bureau of standards orifice-flow primary high vacuum standard. J. Vac. Sci. Technol. vol. A4, No 3, s. 362, 1986.
• [12] Tilford C.R., Dittmann S., McCulloh K.E.: The national bureau of standards primary high-vacuum standard. J. Vac. Sci. Technol., vol. A6, No 5, s. 2853-2859, 1988.
• [13] Bergoglio M., Calcatelli A., Marzola L., Rumiano G.: Primary pressure measurements down to 10-⁶ Pa. Vacuum vol. 38, s. 887-891, 1988.
• [14] Jitschin W., Jousten K., Wandrey D.: Design and evaluation of primary high-vacuum standard. J. Vac. Sci. Technol. vol. A10, No 5, s. 3344-3351, 1992.
• [15] Mohan P.: Vacuum gauge calibration at the NPL (India) using orifice flow method. Vacuum vol. 51, No 1, s. 69-74, 1998.
• [16] Wangkui L., Quiang L., Shiliang L. i in.: Dynamic flow method UHV standard apparatus developed by LIP. Vacuum vol. 53, No 1-2, s. 167-171, 1999.
• [17] Jousten K., Menzer H., Wandrey D., Niepraschk R.: New, fully automated, primary standard for generating vacuum pressures between 10-¹⁰ Pa and 3x10-² Pa with respect to residual pressure. Metrologia, vol. 36, No 6, s. 493-497, 1999.
• [18] Matilla C., Cereceda N., Ruiz S: El patrón national de presión en la región de vacio. Proc. 2nd Congr. Espan. de Metrologia, s. 24-32, Sevila 2000.
• [19] International Vocabulary of Basic Terms in Metrology ed. International Organization for Standardization, Genewa 1993, w tłum. na język polski wyd. GUM. Warszawa 1996.
• [20] Poulter K.F., Calcatelli A., Choumoff P.S., Japteff B., Messer G., Grosse G.: Intercomparison of vacuum standards of countries within the European community in the range 8x10-⁵ to 8x10-² Pa. J. Vac. Sci. Technol., vol. 17, No 3, s. 679-687, 1980.
• [21] Messer G., Jitschin W., Rubet L., Calcatelli A., Redgrave F., Keprt A., Fei Weinan, Sharma J.K.N., Dittmann S., Ono M.: Intercomparison of nine national high-vacuum standards under the Auspices of the Bureau International des Poids et Mesures. Metrologia, vol. 26, s. 183-195, 1989.
• [22] Redgrave F.J., Music V.: Weakness in mathematical modeling of vacuum standards, 3rd CCM Int. Conf: „Pressure Metrology from UHV to VHP (10-⁷ Pa to 10⁹ Pa)”, s. 15, Turyn 1999.
• [23] Landau L., Lifszic E.: Fizyka statystyczna (tłum. z rosyjskiego). PWN, Warszawa 1959.
• [24] Terlecki J.P.: Fizyka statystyczna (tłum. z rosyjskiego). PWN, Warszawa 1968.
• [25] Zagórski A.: Fizyka statystyczna. Oficyna Wydawnicza PW, Warszawa 1994.
• [26] Kennard E.H.: Kinetic theory of gases with an introduction to statistical mechanics. McGraw-Hill Book Company Inc., New York, 1938.
• [27] Dorfman J.R.: Wprowadzenie do teorii chaosu w nierównowagowej mechanice statystycznej. PWN, Warszawa 2001.
• [28] Kogan M.N.: Rarefied gas dynamics. Plenum Press, New York 1969.
• [29] Cercignani C.: Theory and application of Boltzmann equation. Scottish Academic, Edinburgh, 1975. wg Cercignani C.: The Boltzmann equation and its applications, rozdz. 3, Springer Verlag, New York 1987.
• [30] Bird G.A.: Molecular gas dynamics and the direct simulation of gas flows. 2nd new ed., Clarendon Press, Oxford 1994.
• [31] Groszkowski J.: Technika wysokiej próżni. Wyd. 2, WNT. Warszawa 1978, s. 133.
• [32] Hałas A.: Technologia wysokiej próżni. PWN, Warszawa 1980.
• [33] Cercigniani C.: Mathematical methods in kinetic theory. Plenum Press, New York 1969, (wyd. 2) 1990.
• [34] Wenaas E.P.: Equilibrium cosine law and scattering symmetry at gas-surface interface. J. Chem. Phys. vol. 54, s. 376-388, 1971.
• [35] Kuščer I.: Reciprocity in scattering of gas molecules by surface. Surf. Sci. vol. 25, s. 225-237. 1971.
• [36] Cercignani C., Lampis M.: New scattering kernel for gas-surface interaction. AIAA Journ. vol. 35. No 6, s. 1000-1011, 1997.
• [37] Bruno D., Cacciatore M., Longo S., Rutigliano M.: Gas-surface scattering models for particle fluid dynamics: a comparison between analytical approximate models and molecular dynamics calculations. Chem. Phys. Lett., vol. 320, s. 245-254, 2000.
• [38] Barker J.A., Auerbach D.J.: Gas-surface dynamics, velocity distribution, trapping and residence time. Faraday Discuss. Chem. Soc., vol. 80, s. 277-289, 1985.
• [39] Cercignani C., Lampis M.: A new model for the boundary conditions of the Boltzmann equation, Mechanics Research Comunication 26, No 4, s. 451-456, 1999.
• [40] Rodberg L.S., Thaler R.M.: The quantum theory of scattering. Academic Press, s. 274-6, New York 1967.
• [41] Goldberger M.L., Watson K.M.: Collision theory. J. Wiley & Sons, Inc., s. 169, New York 1964.
• [42] Encyklopedia fizyki vol. 3, s. 266, PWN, Warszawa 1974.
• [43] Zalewski K.: Wykłady z termodynamiki fenomenologicznej i statystycznej. PWN wyd. 3, Warszawa 1973.
• [44] Knudsen M.: Ann. Physik (Leiptzig). vol. 48, s. 1113, 1915. wg. Steckelmacher W.: Knudsen flow 75 years on: the current state of the art for flow of rarefied gases in tubes and systems. Rep. Prog. Phys. vol. 49. s. 1083-1107, 1986.
• [45] Gaede W., Ann. Physik. vol. 41, s. 289-336, 1913. wg [33] i Steckelmacher W.: A review of the molecular flow conductance for systems of tubes components and the measurement of pumping speed. Vacuum vol. 16, No 11, s. 561-584, 1966.
• [46] Clausing P.: Über das Kosinusgesetz der Zurückwerfung als Folge des zweiten Hauptsatzes der Thermodynamik. Ann. Phys., vol. 4, s. 533-566, 1930.
• [47] Maxwell J.C.: On stress in rarefied gases arising from inequalities of temperature. Philosophical Trans. of Royal Soc. of London, vol. 170, No 1, s. 231-256, 1879.
• [48] Millikan R.A.: Coefficients of slip in gases and the law of reflection of molecules from the surfaces of solids and liquids. Phys. Rev. vol. 21, No 3, s. 217-238, 1923.
• [49] Hurlbut F.C.: Studies of molecular scattering at the solid surface. J. Appl. Phys., vol. 28, No 8, s. 844-850, 1957.
• [50] van Willigen W.: Angular distribution of Hydrogen Molecules Desorbed from Metal Surfaces. Phys. Lett., vol. 28A, No 2, s. 80-81, 1968.
• [51] Goodman F.O.: Simple model for velocity distribution of molecules desorbed from surfaces following recombination of atoms. Surf. Sci vol. 30, s. 525-535, 1972.
• [52] Bradley T.L., Stickney R.E.: Spatial distribution of H2 desorbed from Fe, Pt, Cu, Nb and stainless steel surfaces. Surf. Sci., vol. 38, s. 313-326, 1973.
• [53] Comşa G., David R., Rendulic K.D.: Velocity distribution of H2, HD and D2 molecules desorbing from polycrystalline nickel surfaces. Phys. Rev. Let., vol. 38, s. 775-778, 1977.
• [54] Comşa G.: Angular distribution of scattered and desorbed atoms from specular surfaces. J. Chem. Phys., vol. 48, s. 3235-3240, 1968.
• [55] Palmer R.L., Smith J.N.Jr., Saltsburg H., O'Keefe D.R.: Measurements of reflection, adsorption, and desorption of gases from smooth metal surfaces. J. Chem. Phys. vol. 53, s. 1666-1676, 1970.
• [56] Steinruck H.P., Rendulic K.D., Winkler A.: The sticking coefficient of H2 on Ni(111) as a function of particle energy and angle of incidence. A test of detailed balancing. Surf. Sci., vol. 154, s. 99-108, 1985.
• [57] Cardillo M.J., Balloh M., Stickney R.E.: Detailed balancing and quasi-equilibrium in the adsorption of hydrogen on copper. Surf. Sci., vol. 50, s. 263-278, 1975.
• [58] Comşa G.: Angular and velocity distribution in molecular beam scattering at solid surface. Proc. 7th Int. Vac. Congr. 3rd Int. Conf. Solid Surf. ed. Dobroziemsky, s. 1317-1324, Wiedeń 1977.
• [59] Schaich W.L.: Energy and angle dependence of desorption spectra. Phys. Let. vol. 64A, s. 133, 1977.
• [60] Barker J.A., Auerbach D.J.: Energy exchange in thermal-energy atom-surface scattering - impulsive models. Chem. Phys. Lett., vol. 67, s. 393-3, 1979.
• [61] de Boer J.H.: The dynamic character of adsorption. Rozdz. 3, sekcja 19-20, s. 20, Clarendon Press, Oxford, 1953.
• [62] Goodman F.O.: On theory of accommodation coefficients - IV simple distribution function theory of gas-solid interaction systems. J. Phys. Chem. Solids, vol. 26, s. 85-105, 1965.
• [63] Sharipov F.: Application of the Cercignani-Lampis scattering kernel to calculations of rarefied flow. I. Plane flow between two parallel plates, Eur. J. Mech. B. Fluids, s. 113-123, 2002.
• [64] Pagni P.J., Keck J.C.: Diffusion-theory for adsorption and desorption of gas atoms at surfaces. J. Chem. Phys., vol. 58, s. 1162, 1973.
• [65] Logan R.M., Stickney R.E.: Simple classical model for the scattering of gas atoms from solid surface. J. Chem. Phys., vol. 44, s. 195-201, 1966.
• [66] Logan R.M., Keck J.C: Classical theory for interaction of gas atoms with solid surfaces. J. Chem. Phys., vol. 49, s. 860-881, 1968.
• [67] Hudson J.B.: „Gas-surface interaction and diffusion” rozd. 10 w „Foundation of Vacuum Science and Technology”. Ed. Lafferty J.M., John Wiley and Sons Inc., New York 1998.
• [68] Nocilla S.: The surface re-emission law in free-molecular flow. Rarefied Gas Dynamics. Ed. Laurmann, Academic Press, s. 327-346, 1963.
• [69] Hurlbut F., Sherman F.S.: Application of the Nocilla wall reflection model to free-molecule kinetic theory. Phys. Fuids 11, s. 486-496, 1968.
• [70] Cercignani C., Lampis M.: Kinetic model for gas-surface interaction. Transp. Theor. Stat. Phys., vol. 1, s. 101-114, 1971.
• [71] Cercignani C., Lampis M., Lenatti A.: On the drag and heat transfer coefficients in free-molecular flow. Rarefied Gas Dynamics 2, s. 1190-1196, Ed. Harvey and Lord, Oxford Univ. Press, 1995.
• [72] Lord R.G.: Some further extensions of the Cercignani-Lampis gas-surface interaction model. Phys. Fluids, vol. 7, s. 1159-1161, 1995.
• [73] Marks J., Szwemin P.: Właściwości elektronowych i jonowych metod badania powierzchni c.s. i ich zastosowanie w mikroelektronice. Rozdział w „VLSI kierunki, bariery i granice rozwoju”, Biblioteka Elektroniki 20/1, s. 341-379, PWN, Warszawa 1986.
• [74] Jousten K., Röhl P.: Comparison of sensitivities of ionization gauges to hydrogen and deuterium. Vacuum, vol. 46, s. 9-12, 1994.
• [75] Szwemin P.: The influence of the blocking plate diameter on the gas flux distribution in the calibration chamber, Vacuum (przyjęte do druku), 2003.
• [76] Jitschin W., Reich G.: Molecular velocity distribution at large Knudsen numbers. J. Vac. Sci. Technol., vol. A9, s. 2752-2756, 1991.
• [77] Calcatelli A., Niewiński M., Szwemin P.: Gas scattering in metrological chamber. Vacuum (artykuł wysłany do redakcji), 2003
• [78] Saksaganski G.L.: Molecular flow in complex vacuum systems. Gordon & Breach Sci. Publish. New York 1988.
• [79] Clausing P., Ann. Phys (5), vol. 12, s. 961-989, 1932; w tłumaczeniu na angielski: The flow of highly rarefied gases through tubes of arbitrary length. J. Vac. Sci. Technol., vol. 8, s. 636-646, 1971.
• [80] Clausing P. (cytowane z a [79], [81], [82]):
• [80a] Phil. Mag., vol. 8, s. 126. 1929.
• [80b] Physica, vol. 9, s. 65-80, 1930.
• [80c] Z. f Phys., vol. 66, s. 471-476, 1930.
• [80d] Ann. d Phys., vol. 4, s. 533-566. 567-570. 1930.
• [80e] Ann. d Phys., vol. 7, No 4, s. 489-520. No 5, 521-568, No 5, 569-578, 1930.
• [80f] Ann. d Phys., vol. 12, No 8, s. 961-989, 1932.
• [80g] Ann. d Phys., vol. 14, 129-133, 134-138, 1932.
• [81] Steckelmacher W.: A review of the molecular flow conductance for systems of tubes components and the measurement of pumping speed. Vacuum vol. 16, No 11, s. 561-584, 1966.
• [82] Steckelmacher W.: Knudsen flow 75 years on: the current state of the art for flow of rarefied gases in tubes and systems. Rep. Prog. Phys. vol. 49, s. 1083-1107, 1986.
• [83] Szwemin P., Niewiński M., Szymański K.: Projektowanie i analiza układów próżniowych wspomagane komputerem. Materiały I Kongresu PTP, Wydawnictwo Uniwersytetu Jagiellońskiego, s. 64-79, 1998.
• [84] Knudsen M., Ann. Phys. Lpz. vol. 28, s. 75-100, 1909 (wg [31, 79]).
• [85] De Marcus W.C.: The problem of Knudsen Flow. Parts I-VI. ORNL Atomic Energy Commission Rep. K-1302 AD 124579, K-1435, 1956-59.
• [86] Dushmann S.: Production and measurements of high vacuum. General Electric Co., s. 32, New York, 1922; wg Dushmann S.: Scientific Foundation of Vacuum Technique, ed. Wiley&Sons (2nd ed.) 1962.
• [87] van Essen D., Heerens W.Chr.: On the transmission probability for gas flow through a tube. J. Vac. Sci. Technol., vol. 13, s. 1183-1187, 1976.
• [88] Cole R.J.: Complementary variational principle for Knudsen flow rates. J. Inst. Maths Applies. vol. 20, s. 107-115, 1977.
• [89] Berman A.S.: Free molecule transmission probabilities. J. Appl. Phys. vol. 36, s. 3356, 1965.
• [90] Szwemin P., Niewiński M.: Comparison of transmission probabilities calculated by Monte Carlo simulation and analytical methods. Vacuum 67, s. 359-362. 2002.
• [91] Gómez-Goñi J., Lobo P.L.: Comparison between Monte Carlo and Analytical Calculation of the Conductance of Cylindrical and Conical Tubes, J. Vac. Sci. Technol., vol. A21, No 4. s. 1452-1457. 2003.
• [92] Edwards J.G., Gilles P.W: Effusion from spherical orifice. I. Transmission by Molecular Flow. J. Chem. Phys., vol. 44, No 12, s. 4426-4430, 1966.
• [93] Iczkowski R.P., Margrave J.L., Robinson S.M.: Effusion of gases through conical orifices. J. Chem. Phys., vol. 67, s. 229-233, 1963.
• [94] Steckelmacher W.: Comment to Oatley's article. Brit. J. Appl. Phys., vol. 8, s. 494-495, 1957.
• [95] Delafosse J., Mongodin G.: Les calcules de la technique du vide. Le Vide No 92, mars-avr., s. 3-109, 1961.
• [96] Henry R.P.: Cours de science et technique du vide. Livre I, tome II: Génie du Vide, Ed. Société Française des Ingénieurs et Techniciens du Vide, Paryż, 1973.
• [97] Hirano H., Kondo Y., Yoshimura N.: Matrix calculation of pressures in high-vacuum systems. J. Vac. Sci. Technol. A6 No 5, 2865-2869, 1988.
• [98] Gorrinstain A.M.: Matrix representation of complex vacuum device configuration with a view to computer simulation. Vacuum vol. 47. No 11, s. 1337-1340, 1996.
• [99] Oatley C.W.: The flow of gases through composite system at very low pressures. Brit. J. Appl. Phys., vol. 8, s. 15-19, 1957.
• [100] Pinson J.D., Peck A.W.: Monte Carlo analysis of high speed pumping systems. Trans. 9th Nat. AVS Symp. s. 406-410, MacMillan, New York 1962.
• [101] Ballance J.O.: Transmission probability determination with direct mass motion and with mean free path consideration, Proc. 3rd Intern. Vac. Congress, s. 85-95, ed. Adam Pergamon Press, Oxford 1965.
• [102] Szwemin P.: Rozkłady kątowe strumienia gazu w przekrojach poprzecznych i na ścianach przewodów i komór cylindrycznych. Materiały VI Krajowej Konferencji Techniki Próżni, s. 37, Korbielów 2002.
• [103] Füstoss L.: The use of resistance concept in transmission probability calculations. Vacuum vol. 22, No 3, s. 111-112, 1972.
• [104] Füstoss L., Tóth G.: The problem of the compounding of transmission probabilities of composite systems. J. Vac. Sci. Technol., vol. 9, No 4, s. 1214-1217, 1972.
• [105] Füstoss L., Tóth G.: The resistance concept and the dynamical characterization of molecular gas flow. Vacuum vol. 40, No 1/2, s. 43-46, 1990.
• [106] Haefer R.A.: Addition theorem for the resistance to flow of composite systems and its relationship with the pumping speed in the region of molecular flow. Vacuum vol. 30, No 6, s. 217-223, 1980.
• [107] Yu-Guo F.: The problem of approximate calculation for molecular conductance. Vacuum vol. 31, No 7, s. 319-324, 1981.
• [108] Stubblefeld V.E.: Net molecular flow conductance of series elements. J. Vac. Sci. Technol., vol. A1, s. 1549-1552, 1983.
• [109] Santeler D.J., Boeckmann M.D.: Combining transmission probabilities of different diameter tubes. J. Vac. Sci. Technol., vol. AS, No 4, s. 2493-2496. 1986 oraz Santeler D.J., Boeckmann M.D.: Erratum to combining transmission probabilities. J. Vac. Sci. Technol., vol. A6, No 2, s. 248. 1987.
• [110] Bureau A.J., Jackson Laslett L., Keller J.M.: The pumping speed of a circular aperture in a diaphragm across a circular tube. Rev. Sci. Instr., vol. 23, No 12, s. 683-686, 1952.
• [111] Bennewitz H.G., Dohmann H.D.: Dynamische druckbestimmung. Vakuum-Technik, vol. 14, No 1, s. 8-12, 1965.
• [112] Krasuski P., Szwemin P., Wieczorkowski K.: Wyznaczanie przewodności diafragmy metodą Monte Carlo. Mat. II Konferencji „Technologia Elektronowa ELTE”, s. 191, Warszawa 1984.
• [113] Kato S., Fujimoto T.: Proc. 10th lnt. Symp. on rarefied gas dynamics. Aspen CO, Prog. Astron. Aeron., vol. 51, part 1, s. 237-245, 1976.
• [114] McCulloh E.K.: Dimensions and conductance of the orifice in the NBS dynamic expander. Technical Report for NBS, s. 1-13, 1982.
• [115] Niewiński M., Szwemin P., Calcatelli A., Bergoglio M.: Evaluation of the conductance of the orifice of the new CNR-IMGC dynamic expander. Metrologia, vol. 36, No 6, s. 555-559, 1999.
• [116] Szwemin P., Niewiński M.: Analysis of the gas flow in cylindrical chamber of the vacuum primary standard developed by CEM. Report No IMiO/501E/146/1; s. 1-38, Warszawa 23.10.2001.
• [117] Butler B.P., Music, V. Redgrave F.J.: Influence of orifice geometry on the simplification of transmission probability calculations. Vacuum, vol. 53, No 1-2, s. 163-166, 1999.
• [118] Niewiński M., Szwemin P.: Moly Flow..er for Windows - a computer program for precision calculations of transmission probability. Vacuum vol. 67, No 3-4, s. 327-332, 2002.
• [119] Metropolis N., Rozenbluth A., Rozenbluth M., Teller M., Teller E.: Equation of state calculations by fast computing machines. J. Chem. Phys., vol. 21, s. 1087, 1953.
• [120] Zieliński R.: Metody Monte Carlo, WNT, Warszawa 1970.
• [121] Davis D.H.: Monte Carlo calculation of molecular flow rates through a cylindrical elbows and pipes of other shapes. J. Appl. Phys., vol. 7, s. 1169-1176, 1960.
• [122] Davis D.H., Levenson L.L., Milleron.: Optimization of molecular flow conductance. AVS Trans. 7, s. 372-377, 1963.
• [123] Davis D.H., Levenson L.L., Milleron.: Effect of „rougher-than-rough” surface on molecular flow through short ducts. J. Appl. Phys., vol. 35, No 3, s. 529-532, 1964.
• [124] Füstoss L.: Monte Carlo calculations for free molecular and near-free molecular flow through cylindrical and conical tubes. Proc. 7th Int. Vac. Congr., s. 101-104, wyd. Dobrozemsky Wiedeń 1977.
• [125] Füstoss L.: Monte Carlo calculations for free molecular and near-free molecular flow through axially symmetric tubes. Vacuum vol. 31, No 6, s. 243-246, 1981.
• [126] Ota M., Taniguchi H.: Transmission probabilities of gas molecules through finite length tubes in transition ranges. Vacuum vol. 44, No 5-7, s. 685-688, 1993.
• [127] Scherer-Abreu G., Abreu R.A.: Numerical modeling of molecular and transitional flow regimes in vacuum components. Vacuum vol. 46, No 8-10, s. 863-866, 1995.
• [128] Niewiński M., Szwemin P.: Modelowanie przepływu pośredniego z wykorzystaniem metody Monte Carlo. Mat. IV Krajowej Konferencji Technika Próżni, s. 18, Bachotek 1996.
• [129] Szumny E.: Wyznaczanie przewodności przewodów próżniowych w warunkach molekularnego przepływu gazu przy wykorzystaniu metody Monte Carlo, praca dyplomowa wykonana pod kierunkiem A. Mulaka, Politechnika Wrocławska, Wrocław 1972, takie Prace Nauk. Pol. Wrocł. No 11 Ser. Stud. Mat., s. 9, 1974.
• [130] Krasuski P.: Praca dyplomowa wykonana pod kierunkiem P. Szwemina Wydział Elektroniki Politechniki Warszawskiej, Warszawa, 1979, także Krasuski P., Szwemin P.: Obliczanie przewodności zaworów próżniowych metodą Monte Carlo, Elektronika XXVI, s. 33-34. 1982.
• [131] Szwemin P.: Urządzenie próżniowe do dozowania ilości gazu padającego na powierzchnię ciała stałego. Patent Nr 129481, 1979.
• [132] Dmochowski J., Nakonieczny W.: Optymalizacja molekularnej wiązki gazowej. Praca dyplomowa wykonana pod kierunkiem P. Szwemina, Instytut Fizyki Politechniki Łódzkiej, Łódź 1979 r. także Nakonieczny W., Szwemin P.: Równomierność wiązki molekularnej formowanej przez przewody cylindryczne. Materiały II Konferencji ELTE'84, s. 192, Warszawa 1984.
• [133] Szwemin P.: Zastosowanie symulacyjnych metod komputerowych do badania parametrów układów próżniowych. Elektronika, vol. XXXI, Nr 7-9, s. 45-48, 1990.
• [134] Szwemin P.: Metody symulacyjne w zastosowaniu do badania przepływu gazu w warunkach molekularnych. Raport dla CPBP 02.20.7, cz. 1, s. 1-30, 31 -54 (dodatki), Warszawa 1986.
• [135] Szwemin P.: The development of computer simulation methods for calculation of vacuum system parameters. Sci. Instrumentation, vol. 6, s. 181-195, 1991.
• [136] Szwemin P.: Obliczeniowe problemy metrologii próżniowej - granice dokładności wyznaczania przewodności. Prace Naukowe PW, seria Elektronika 123. s. 26-38, 1999.
• [137] Wieczorkowski R., Zieliński R.: Komputerowe generatory liczb losowych. WNT, Warszawa 1997.
• [138] Nowak R.: Statystyka dla fizyków. PWN, Warszawa 2002.
• [139] Tao Pang : Metody obliczeniowe w fizyce. PWN, Warszawa 2001.
• [140] Jakubowski J., Sztencel R.: Wstęp do rachunku prawdopodobieństwa. Script, wyd. 2, Warszawa 2001 także Jakubowski J., Sztencel R.: Rachunek prawdopodobieństwa dla (prawie) każdego. Script. Warszawa 2002.
• [141] Guide to the expression of uncertainty in measurement Dokument ISO wyd. 2. 1995. w tłum. na jęz. polski: Wyrażanie niepewności pomiaru. wydanie GUM 1999 także Expression of the uncertainty of measurement in calibration, EA-4/02, www.european-accreditation.org, 1999, oraz Wyrażanie niepewności pomiaru przy wzorcowaniu - Dokument EA-4/02 tłum. na jęz. polski i wydanie GUM, 2001 (www.gum.gov.pl).
• [142] Krupka J., Morawski R.Z., Opalski L.J.: Wstęp do metod numerycznych. Oficyna Wydawnicza PW, Warszawa 1999.
• [143] Szwemin P., Szymański K., Niewiński M.: Monte Carlo analysis of the gas flow in XHV chamber of the vacuum primary standard CE3 developed by PTB (with calculation of the gas density distribution in XHV chamber). Report Z. 15531B1/000291176-1B/7.23, s. 1-74, Warszawa, czerwiec 2001.
• [144] Ripley B.D.: Stochastic simulation. Ed. J. Wiley and Sons, New York 1987.
• [145] L’Ecuyer P.: Random Number Generation (rozdz 4) w Handbook on Simulation. Ed. J. Wiley and Sons. New York 1998. 1991
• [146] Niewiński M., Szwemin P.: Implementacja 5 nowych generatorów liczb losowych do programu Moly Flow..er®. Raport z pracy 504/1035/3381/338/1 Warszawa, kwiecień 2000 także Szwemin P.: Porównanie właściwości generatorów liczb losowych z punktu widzenia użycia ich do symulacji układów próżniowych. Mat. VII Konferencji Technologia Elektronowa „ELTE 2000” wyd. Instyt. Tech. Mikrosyst. P. Wr., s. 981-985, Wroclaw 2000.
• [147] Matsumoto M. i in.: ACM transactions on modelling and computer simulations. Vol. 4. s. 254, 1994; oraz Matsumoto M., Nishimura T.: Mersenne Twister: A 623 dimensionally equidistributed uniform random number generator. ACM Transactions on modelling and computer simulations, vol. 8, No 1, s. 1-28, 1998.
• [148] Marsaglia G., Zaman A.: A new class of RNG. Ann. Appl. Prob., vol. 1, No 3. s. 462-480. 1991.
• [149] Marsaglia G.: The Marsaglia random number CD-ROM including the DIEHARD battery of tests of randomness CD-ROM. Ed. Florida State University, 1995.
• [150] Haviland J.K., Lavin M.L.: Application of the Monte Carlo method to heat transfer in a rarefied gas. Phys. Fluids, vol. 5, No 11, s. 1399-1405, 1962.
• [151] Chubb J.N.: Monte Carlo analysis of pumping speed test dome performance for several diffusion pump geometries. Vacuum vol. 16, No 11, s. 591-596, 1966.
• [152] Ward J.W., Bivins R. L., Fraser M. V.: Monte Carlo simulation of specular and surface diffusional perturbations to flow from Knudsen Cells. J. Vac. Sci. Technol., vol. 7, No 1, s. 206-210, 1970.
• [153] Ward J.W., Fraser M. V., Bivins R.L.: Monte Carlo analysis of the behavior of divergent conical effusion orifice. J. Vac. Sci. Technol., vol. 9, No 3, s. 1056-1061, 1972.
• [154] Beijerinck H.C.W., Verster N.F.: Monte Carlo calculation of molecular-flow through a cylindrical channel. Physica vol. 83C, s. 209-219, 1976.
• [155] Yamamoto K.: Free molecular flow through a long circular tube. J. Phys. Soc. Japan. vol. 49, s. 1157-1161, 1982.
• [156] Carette J.D., Pandolfo L., Dube D.: New developments in calculation of the molecular flow conductance of a straight cylinder. J. Vac. Sci. Technol., vol. A1, No 2, s. 143-146, (erratum A1, No 3, s. 1574), 1983.
• [157] Boeckmann M.D.: Monte Carlo analysis for the appropriate gauge location for AVS standard high vacuum pump speed measurement dome. J. Vac. Sci. Technol., vol. A4, No 3, s. 353-357, 1986.
• [158] Jitschin W., Khodabakhshi S., Szwemin P.: Strömungsleitwert der dünnen Blende, Vakuum in Forschung und Praxis. vol. 10, No 4, s. 316-320, 1998.
• [159] Suetsungu Y.: Application of the Monte Carlo method to pressure calculations. J. Vac. Sci. Technol., vol. A14, No 1, s. 245-250, 1996.
• [160] Steckelmacher W.: Informacja ustna, Kolonia 1989.
• [161] Krasuski P., Szwemin P.: Program komputerowy CCVS do obliczania przewodności złożonych podzespołów próżniowych. Elektronika, vol. XXXI, Nr 7-9, s. 48-50, 1990.
• [162] Szwemin P., Kaczanowski M., Niewiński M.: New program for calculating the conductance of composite vacuum system using Monte Carlo method. Vacuum vol. 44, s. 451-453, 1993.
• [163] Niewiński M., Szwemin P.: Program komputerowy Moly Flow..er dla Windows, Prace Naukowe PW, seria Elektronika 123, s. 140-146, 1999.
• [164] Niewiński M., Szwemin P.: Moly Flow..er Plus - program komputerowy do badania parametrów stanu gazu w układach metrologicznych bardzo wysokiej próżni. Elektronika vol. XLII, No 8-9, s. 91-93, 2001.
• [165] Pace A., Poncet A.: Monte Carlo simulation of molecular gas flow: some applications in accelerator vacuum technology using versatile PC compatible program. Vacuum vol. 41, s. 1910-1913, 1990.
• [166] Gómez- Goñi J., Lobo P.J., Cereceda N., Matilla C.: Preliminary Monte Carlo calculation of the conductance of the aperture of a pressure calibration system in the UHV range. Vacuum vol. 67, No 3-4, s. 321 -326, 2002.
• [167] Jacob M.: Heat transfer. Ed. J. Wiley, New York 1957, wg [168].
• [168] Moore B.C.: Gas flux patterns in cylindrical vacuum systems. J. Vac. Sci. Technol., vol. 9, No 3, s. 1090-1099, 1972.
• [169] Bonucci A., Urbana M., Giannantonio R.: The method of angular coefficients: a powerful tool to address complex vacuum gas dynamics problems. Atti del XVI Congresso dell’ Associacione Italiana del Vuoto. s. 193-196. Ed. Compositori, Bologna 2003.
• [170] Szwemin P., Szymański K.: Badanie przewodności otworu metodą czasów przelotu. Elektronika vol. XXXVIII, No 5, s. 10-14, 1997; także Szwemin P., Szymański K.: Influence of calibration chamber dimensions on orifice conductance. 3rd CCM International Conference: Pressure Metrology from UHV to VHP (rozszerzone streszczenie) s. 37, Turyn 1999.
• [171] Peggs G.N.: The measurement of gas throughput in range 10-⁴ to 10-¹⁰ Pam ³s-¹ Vacuum vol. 26, No 8, s. 321-328, 1976.
• [172] Jousten K., Messer G., Wandrey D.: A precision gas flowmeter for vacuum metrology. Vacuum vol. 44. No 2, s. 135-141, 1993.
• [173] Hayward W.H., Jepsen R.L.: A simple high vacuum gauge calibration system, Trans. of 9th National (AVS) Symp., vol. 9, s. 459-462, 1962.
• [174] Bergoglio M., Calcatelli A., Marzola L., Rumiano G.: Primary pressure measurements down to 10-⁶ Pa. Vacuum vol. 38, No 8-10, s. 887-891, 1988.
• [175] Hog H., Ono M., Nakayama K.: A gauge calibration system for 10-² - 10-⁷ Pa range. Proc. 7th lnt. Vac. Congr., s. 117-120, wyd. Dobrozemsky Wiedeń 1977.
• [176] McCulloh K.E., Tilford C.R., Ehrlich C.D., Long F.G.: Low-range flowmeters for use with vacuum and leak standards. J. Vac. Sci. Technol., vol. A5, No 3, s. 376-381, 1987.
• [177] Chung Jhung K.H., Hong S.S.: Establishment of UHV calibration system down to 10-⁸ Pa range in Korea. Proc. XIII IMECO World Conger. Turin, s. 1951-1956, 1994.
• [178] Wangkui L., Dixin Z., Qiang L., Shiliang L., Detain L., Yang M.: A gas flow standard apparatus. Vacuum vol. 47, No 6-8, s. 519-522, 1996.
• [179] DIN 28417: Measurement of throughput by the volumetric method at constant pressure. Beuth Verlag, Berlin 1976.
• [180] Sullivan J.J.: Development of variable capacitance pressure transducers for vacuum application. J. Vac. Sci. Technol., vol. A3, s. 1721-1730, 1985.
• [181] Hyland R.W., Tilford C.R.: Long term stability of low pressure standards. J. Vac. Sci. Technol., vol. A3, s. 1731-1737, 1985.
• [182] Grosse G., Messer G.: Zero stability and calibration results for a group of capacitance diaphragm gauge in the German Calibration Service. J. Vac. Sci. Technol., vol. AS, s. 2463, 1987.
• [183] Jousten K.: Calibration and standards. w Vacuum Science and Technology. Ed. J.M. Lafferty. J. Wiley&Sons, s. 667, Inc. New York 1998.
• [184] Jousten K.: Temperature corrections for the calibration of vacuum gauges. Vacuum vol. 49, s. 81-87, 1998.
• [185] Grosse G., Messer G.: Calibration of vacuum gauges at the pre ssure below 10-⁹ mbar with a molecular beam method. Vakuum-Technik vol. 30, No 8, s. 226-231, 1981; także Proc. 8th Int. Vac. Congr. Cannes, vol. 2, s. 399, 1980.
• [186] Oatley C.W.: The experimental determination of the speed of a vacuum pump and of component of vacuum system. Brit. J. Appl. Phys., vol. 5, s. 358-362, 1954.
• [187] Calcatelli A., Rumiano G.: Determinazione del rapporto C/Sp sull’impianto ad espansioone continua a conduttanza fissa di recente costruzione. Raport IMGC, Nr 36, s. 1-13, Turyn 2000.
• [188] Ruthberg S.: The measurement of conductance to free molecular flow by substitution procedures. J. Vac. Sci. Technol., vol. 9, s. 1457-1469, 1972.
• [189] Leek J.H.: Pressure measurements in vacuum systems. S. 168, ed. Chapman and Hall, London 1964.
• [190] Christian R.G., Leek J.H.: The use of a silicon carbid porous plug for the control of gas flow into a vacuum system down to 1 μl torr sec-¹. J. Sci. lnstr., vol. 43, s. 229-233, 1966.
• [191] Fowler P., Brock F.J.: Accurate, wide range ultra high vacuum calibration system. J. Vac. Sci. Technol., vol. 7, No 5, s. 507-516. 1970.
• [192] Close K.J., Vaugham-Watkins R.S., Yarwood J.: The design and study of a compact bakeable utra-high vacuum system for calibrating absolutely low pressure gauge. Vacuum vol. 27, No 9, s. 511-517, 1977.
• [193] Berman A.: Total pressure measurements in vacuum technology. S. 313, ed. Academic Press, Inc. Orlando 1985.
• [194] Hultzman W.W., Krause L.N.: Porus leak evaluation and application to calibration of high-pressure ion gauge. J. Vac. Sci. Technol., vol. 11, s. 889-891, 1974.
• [195] Dayton B.B.: Trans. 3rd AVS Nat. Vac. Symp., s. 5-11, Pergamon Press Oxford 1957 (wg [81]).
• [196] Ellet A., Phys. Rev., vol. 37, s. 1699-1700, 1931 (wg [81]).
• [197] Holland I., Priestland C.: Measuring the density and direction of gas molecular flow using ionization detector. Proc. 3rd Int. Vac. Congr. (Stuttgard), s. 141-150, Pergamon Press, Oxford 1965.
• [198] Schaetzle W.: A study of free molecular flow through various length cylindrical nozzles. Proc. 3rd Vac Congr. (Stuttgart), s. 105-114., Pergamon Press, Oxford 1965.
• [199] Holland L., Priestland C.: Measurements of the variation of molecular impact rate within a spherical calibration vessel. Vacuum vol. 17, No 8, s. 461-468, 1967.
• [200] Buhl R., Trendelenburg E.A.: Avoiding systematic errors in measuring the pumping speed of high vacuum pumps. Vacuum vol. 15, No 5, s. 231-236, 1965.
• [201] Szwemin P.: The influence of the external circuit on the ionization gauge stability. Vacuum vol. 41, No 7-8, s. 1807-1809, 1990.
• [202] Messer G.: Calibration of vacuum gauges in the range 10-⁷ Pa to 10 Pa with fundamental methods. Proc. 7th Int. Vac. Congr. Vienna 1977, s. 153-156, ed. Dobrozemsky Wiedeń 1977.
• [203] Repa P., Čečpiro Z., Peksa L., Gronych T., Tesař J.: Measurement of pressure differences between various positions in vacuum chamber where pressure is generated dynamically. Metrologia vol. 36, No 6, s. 551-554, 1999.
• [204] Peksa L., Gronych T., Repa P., Tesař J.: Measurement of the pressure differences in a large chamber where the pressure is generated dynamically. Vacuum vol. 67, s. 333-338, 2002.
• [205] Levine P.D., Sweda J.R.: Development of a primary standard ultra high vacuum calibration station. J. Vac. Sci. Technol., vol. A 12, No 4, s. 1727-1733, 1994.
• [206] Pegss, G.: National physical laboratory, Teddington. Report No MOM6 wg [10, 12, 183].
• [207] Narashimha R.: Nearly free molecular flow through an orifice. Phys. Fluids, vol. 3. No 3, s. 476-477, 1960.
• [208] Sharma J.K.N., Mohan P., Sharma D.R..: Comparison of two primary pressure standards using spinning rotor gauge. J. Vac. Sci. Technol., vol. A8, No 2, s. 941-947, 1990.
• [209] Moore B.C.: Spherical chamber for calibrating vacuum gauges. US Patent No 3, 367, 169. kolumny 1-4 + 4 rys., 1968.
• [210] Jousten K., Rupschus G.: The uncertainties of calibration pressure at PTB. Vacuum vol. 44. s. 569-572, 1993.
• [211] Roehring J.R., Simons J.C.Jr.: Accurate calibration of vacuum gauges to 10-⁹ Torr. Trans. 9th AVS Symp. s. 311-318, ed. MacMillan, New York 1962.
• [212] Morrison C.F.: Method and apparatus for dynamically calibrating vacuum gauges. US Patent, No 3, 427, 858, kolumny 1-14 + 9 rys., 1968.
• [213] Poulter K.F.: Vacuum gauge calibration by the orifice flow meiliod in the pressure range 10-⁴ - 10 Pa. Vacuum vol. 28, No 3, s. 135-141, 1978.
• [214] Hałas A., Szwemin P.: Współczesne problemy metrologii próżniowej. Mat. VI Konf. ELTE’97 t. II, s. 241-252, 1997, także Elektronika vol. XXXIX No 1, s. 13-16, 1998.
• [215] Odaka K., Ueda S.: Outgassing reduction of type 304 stainless steel by surface oxidation in air. J. Vac. Sci. Technol., vol. A 13, No 3, s. 520-523, 1995.
• [216] Jousten K.: Dependence of the outgassing rate of a „vacuum fired” 316LN stainless steel chamber on bake-out temperature. Vacuum vol. 49. No 4, s. 359-360, 1998.
• [217] Szwemin P., Niewiński M., Szymański K.: Conductance of orifice in the spherical and cylindrical chambers of calibration systems. Vacuum vol. 48, s. 875-878, 1995.
• [218] Jousten K.: Calibration of total pressure gauges in the UHV and XHV regions. J. Vac. Soc. Jap., vol. 37, s. 678-685, 1994.
• [219] Jousten K: Temperature correction for the calibration of vacuum gauges. Vacuum vol. 49, No 2, s. 81-87, 1998.
• [220] Jousten K.: Informacja w związku z wymaganiami dotyczącymi pracy [143], 2000.
• [221] Szwemin P., Szymanski K., Jousten K.: Monte Carlo study of a new PTB primary standard for very low pressures. Metrologia vol. 36, No 6, s. 561-564, 1999, także Szwemin P., Szymański K., Jousten K.: Gas flux distribution in a new PTB primary standard for very low pressures. Prace Naukowe PW, seria Elektronika 123, s. 135-139, 1999.
• [222] Szwemin P., Niewiński M.: Distribution of the gas flow parameters in calibration chamber of the IMGC vacuum primary standard. Technical Report No IMiO/501F/148/1 for Instituto di Metrologia „G. Colonnetti”, s. 1-42, Warszawa luty 2002.
• [223] Szwemin P., Szymański K., Niewiński M.: Właściwości próżniowych układów metrologicznych kulistych oraz kulistych skompensowanych. Materiały Konferencji Elte 94, s. 938-942, Oficyna Wydawnicza PW, Warszawa 1994.
• [224] Szwemin P., Szymański K.: Metrologiczne właściwości próżniowych komór pomiarowych o kształcie cylindrycznym. Materiały Konferencji Elte 94, s. 934-937. Oficyna Wydawnicza PW, Warszawa 1994.
• [225] Szymański K.: Wpływ kształtu komory próżniowej na rozkłady parametrów stanu gazu i jej właściwości metrologiczne. Rozprawa doktorska, Wydział Elektroniki i TI Politechniki Warszawskiej, Warszawa 2001.
• [226] Szwemin P., Szymański K.: Przewodność otworu w komorze sferycznej - źródła różnic obliczeń różnymi metodami. Mat. VII Konfer. Nauk. „Technologia Elektronowa” ELTE 2000, s. 990-995, 2000.
• [227] Volk W.: Statystyka stosowana dla inżynierów (tłum. z ang.). WNT Warszawa 1973.
• [228] Szwemin P.: Próżniowa komora pomiarowa. (zgłoszenie 1990) Patent Pl - 163778, 1994.
• [229] Szwemin P., Szymański K.: Rozkłady powierzchniowe strumienia gazu na ściankach komory kalibracyjnej w układach z dynamiczną ekspansją gazu. Prace Naukowe PW, seria Elektronika 143, s. 105-109, 2002.
• [230] Szwemin P., Jousten K., Szymański K.: The gas flux distribution in the XHV chamber of the vacuum primary standard CE3 developed by PTB. Vacuum (przyjęte do druku), 2003.
• [231] Jousten K.: informacja, w związku z odpowiedzią na propozycję recenzenta pracy [221], 1999.
• [232] Szwemin P.: Charakteryzacja wzorca wysokiej próżni z dynamiczną ekspansją gazu w oparciu o model globalny. Prace Naukowe PW, seria Elektronika 143, s. 33-44, 2002.
• [233] Niewiński M.: Środowisko obliczeń rozproszonych w zastosowaniu do wyznaczania parametrów układów metrologicznych metodą Monte Carlo. Prace Naukowe PW, seria Elektronika 143, s. 189-192, 2002.
• [234] Niewiński M.: The distributed MC simulation of dynamic expansion system, Vacuum (przyjęte do druku), 2003.
• [235] Niewiński M.: Analiza i porównanie wzorców wysokich próżni w oparciu o model globalny. Rozprawa doktorska (w przygotowaniu).