Małogabarytowe pompy jonowe

• Autorzy: Cyrański R. , Kiliszek C. , Marks J. , Sobolewski A. , Magiełko H.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe (6; 7; 22-25.09.2002; Korbielów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The small size pumps are used in the evacuation systems mainly for electron device and as a detector. The design and properties of two versions diode ion pumps are described. The first one, PJ-2N is designed to work at the low magnetic field in the range 600-800 Gs and the anode voltage of 3-5 kV. The second pump PJ-2 is equipped with differential Ti/Ta cathodes and magnet with magnetic firld anout 1200 Gs.

Słowa kluczowe

PL

pompy jonowo-sorpcyjne

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 143
• Strony: 183--187
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., tab., wykr., rys.

Twórcy

autor

Cyrański R.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

autor

Kiliszek C.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

autor

Marks J.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

autor

Sobolewski A.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

autor

Magiełko H.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

Bibliografia

• 1. Audi and M. de Simon: Ion pumps Vacuum 37(1987)629.
• 2. W. Czarycki, E. Nowicka: O właściwościach zmodyfikowanej pompy jonowo-sorpcyjnej z zimną katodą. Prace PIE (1971).
• 3. R. Cyrański, J. Marks, M. Adydan: pompa jonowo-sorpcyjna z zimną katodą. Patent PL nr 162029 (1993).
• 4. H. Hartwig and J.S. Kouptsidis: A new approach for computing diode sputter-ion pump characteristics. J. Vac. Sci. Technol. 11(1994)1155.
• 5. M. Adydan, R. Cyrański, J. Marks: Pompy jonowo-sorpcyjne stan obecny cz. I – Podstawy działania. Elektronika, 9(1994)3-7.
• 6. T.S. Chou: Design studies of distributed ion pumps. J. Vac. Sci. Technol. A5(6), (1987), 3446.
• 7. R. Cyrański, Cz. Kiliszek, A. Sobolewski: Głowica układu anodowo-katodowego, zgłoszenie patentowe nr 340654 w UP. (9.06.2000r.).
• 8. R. Cyrański, P. Konarski, A. Wymysłowski, A. Sobolewski: Pompy jonowo-sorpcyjne o podwyższonej stabilności pompowania gazów szlachetnych i aktywnych. Elektronika, 5(1998) 34-39.
• 9. A. Wymysłowski, P. Konarski, R. Cyrański: numeryczna metoda optymalizacji pompy jonowo-sorpcyjnej ze względu na szybkość pompowania. Elektronika, 5(1998) 27-33.
• 10. L. Dolcino and M. Spagnol: Achieving ultra high vacua: pump and pumping systems. Vacuum, 48(1997)739-742.
• 11. R. Cyrański, Cz. Kiliszek, J. Marks, A. Sobolewski: Małą pompa jonowa, zgłoszenie patentowe nr 2/567/ w UP. (29.03.2001).
• 12. R. Cyrański, Cz.R. Kiliszek, J. Marks, A. Sobolewski, H. Magiełko: Small size ion pumps. Publikacja w Materiałach w „4-th International Conference- Interaction of Radiation with Solids, October 3-5(2001) 385-387, Minsk, Belarus.