Rozkłady powierzchniowe strumienia gazu na ścianach komory kalibracyjnej w układach z dynamiczną ekspansją gazu

• Autorzy: Szwemin P. , Szymański K.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe (6; 7;23-25.09.2002; Korbielów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The possibilities of systematic uncertainties caused by non-uniform distributions of the gas flux on the calibration chambers walls of the standards with the dynamic expansion of gases were investigated in this work. The Monte Carlo method was used to study the gas flux distribution as well as the correction factors where the calibrated gauges are located. It was found that at the half of of the chamber height the gas flux density is equal to that computed as a mean value existing inside the chamber. Unproper gauge location may cause the relative systematic deviation of the generated pressure as high as the relative orifice area, which is significant. The results are valid also for relatively large orifices openings what enables decreasing the lower limit of generated number density.

Słowa kluczowe

PL

koncentracja gazu

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 143
• Strony: 105--110
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., wykr.

Twórcy

autor

Szwemin P.

• Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej

autor

Szymański K.

• Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej

Bibliografia

• 1. Szwemin P., Zeszyty Naukowe PW seria Elektronika, w tym numerze, 2002.
• 2. Szwemin P., Zeszyty Naukowe PW seria Elektronika No 123, s. 26, 1999.
• 3. Szwemin P., Szymański K., Jousten K., Metrologia, vol. 36, No 6, s. 561, 1999.
• 4. Szymański K., Rozprawa doktorska, Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych Politechniki Warszawskiej, Oficyna Wydawnicza PW, 2000.
• 5. Hałas A., Szwemin P., Elektronika vol. XXXIX No 1s. 13, 1998.
• 6. Szwemin P., Niewiński M., Szymański K., Vacuum 48, s. 875, 1995.
• 7. Szwemin P., Szymański K., Mat. VII Konferencji Technologia Elektronowa „ELTE 2000” Wydawca Instyt. Tech. Mikrosyst. P.Wr. Wrocław, s. 990, Wrocław 2000.
• 8. Szwemin P., Szymański K., Elektronika vol. XXXVIII No 5, str. 10, 1997.
• 9. ISO/DIS 3570/1, 1975.