Pompa kriogeniczna o dużej wydajności pompowania

• Autorzy: Moraw M. , Hałas S. , Detka A. , Kirczuk C. , Prasoł H.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe (6; 7; 23-25.09.2002; Korbielów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

This paper presents the results of the research on the imroved cryopump constructed on the basic of a two stage Gifford-McMahon refrigerator. The cryopump system without the screen of the second step element reached the pumping speed 4 m3/s for nitrogen and 0.8 m3/s for hydrogen. The effective pumping speed there are 1.5 m3/s and 0.75 m3/s respectively. The system make possible to reach the range of pressure 10-11 mbar during some hours of pumping.

Słowa kluczowe

PL

pompy kriogeniczne; temperatura

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 143
• Strony: 97--100
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., wykr., schem.

Twórcy

autor

Moraw M.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Hałas S.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Detka A.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Kirczuk C.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Prasoł H.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

Bibliografia

• 1. A. Hałas, Technologia wysokiej próżni, PWN, 1980.
• 2. M. Moraw, a. Hałas, H. Prasoł, Cz. Kirczuk, A. Detka, Chłodziarka Gifforda-McMahona o zwiększonej mocy II stopnia, Raport nr 5 ITM Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2001.
• 3. M. Moraw, a. Hałas, H. Prasoł, Cz. Kirczuk, A. Detka, Opracowanie układu kriosorbującego o dużej wydajności pompowania, Raport nr 1 WEMIF Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2002.