Charakteryzacja wzorca wysokiej próżni z dynamiczną ekspansją gazu w oparciu o model globalny

Szwemin, P.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Charakteryzacja wzorca wysokiej próżni z dynamiczną ekspansją gazu w oparciu o model globalny

Autorzy

Szwemin P.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Konferencja

Techniki Próżni i Technologie Próżniowe (6, 7; 23-25.09.2002; Korbielów, Polska)

Języki publikacji

Abstrakty

The paper is concentrated on the gas flow modeling in high vacuum standards with the dynamic expansion of gases. The weakness of traditional model, which bases on the electrical circit`s analogy, has motivated the author to elaborate a new, global model. The macroscopic parameters as the gas number density and the gas flux density in the local volumes of the calibration chamber are evaluate on the base of the molecules behavior in microscopic scale of this model. The molecules are traced in the whole space of the high vacuum standard. Its inner surfaces are described by the mathematics equations as close as possible as well as the gas molecules interactions are also described by experimentally well confirmed scattering law. Using this model it is possible to study even the influence of mutual relations between the system elements. By this way it will be also possible to find the source of systematic differences between the particular high vacuum standards.

Słowa kluczowe

techniki próżni modelowanie ciśnienie gazu

Wydawca

Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej

Czasopismo

Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika

Rocznik

2002

Tom

z. 143

Strony

33--44

Opis fizyczny

Bibliogr. 34 poz., schem.

Twórcy

autor

Szwemin P.

Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej

Bibliografia

1. ISO/DIS 3570/1, 1975.
2. Normand C.E., Trans. 8th AVS Symp., Pergamon Press, s. 534-543, 1961.
3. Bennewitz H.G., Dohmann H.D., Vakuum-Technik vol. 14 No. 1 s. 8-12, 1965.
4. Grosse G., Messer G., Vacuum vol. 20 No. 9, s. 373-376, 1970.
5. Bernadet H., Choumoff P.S., Mativet J., Sauneuf R., Le vide, No 146, s. 84-90, 1970.
6. Poulter K.F., J. Phys. E.: Sci. Instr., vol. 7, s. 38-44, 1974.
7. Calcatelli A., Ferrero C., Rumiano G., Ughi G., Jap. J. appl. Phys., Suppl. 2 part I, s. 127-130, 1974.
8. Poulter K.F., J. Phys. E. 10, s. 112-125, 1977.
9. McCulloh K.E., Tilford C.R., Wood S.D., Martin D.F., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A4 No 3, s. 362, 1986.
10. Tilford C.R., Dittmann S., McCulloh K.E., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A6 No 5, s. 2853-2859, 1988.
11. Jitschin W., Jouschin W., Jousten K., Wandrey D., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A10 No 5, s/. 3344-3351, 1992.
12. Levine P.D., Sweda J.R., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A12 No 4, s. 1727-1733, 1994.
13. Chung Jhung K.H., Hong S.S., Proc. XIII IMECO World Congress (Turyn 1994) vol. 3, s. 1951-1956, 1995.
14. Mohan P., Vacuum vol. 51 No 1, s. 69-74, 1998.
15. Wangkui L., Quiang L., Shiliang L., I in., Vacuum vol. 53 No 1-2, s. 167-171, 1999.
16. Jousten K., Menzer H., Wandrey D., Niepraschk R., Metrologia vol. 36 No 6, s. 493-497, 1999.
17. Poulter K.F., Calcatelli A., Choumoff P.S., Japteff B., Messer G., Grosse G., J. Vac. Sci. Technol. Vol. 17 No 3, s. 679-687, 1980.
18. Messer G., Jitschin W., Rubet L., Calcatelli A., Redgrave F., Keprt a., Fei Wei-nam, sharma J.K.N., Dittmann S., Ono M., METROLOGIA vol. 26, s. 183-195, 1989.
19. Redgrave F.J., Music V., 3rd CCM Int. Conf: “Pressure Metrology form UHV to VHP (10-7Pa to 109Pa) s. 15, Turyn 1999.
20. Szwemin P., Szymański K., Jousten K., METROLOGIA vol. 36 No 6, s. 561-564, 1999.
21. Szwemin P., Szymański K., Niewiński M., Report Z.15531B1/000291176-1B/7.23 for PTB, s. 1-74, Warszawa, czerwiec 2001.
22. Szwemin P., Niewiński M., Technical Report No IMiO/501E/148/1for Instituto di Metrologia “G. Colonnetti” s. 1-42, Warszawa, luty 2002.
23. Szwemin P., Niewiński M., Report No IMiO/501E/146/1; s. 1-38, Warszawa 2001.
24. Szwemin P., Szymański K., Elektronika vol. XXXVIII, No 5, s. 10-14, 1997. Także Szwemin P., Szymański K., 3rd CCM Conf. Pressure Metrology form UHV to VHP, s. 37, Turyn 1999.
25. Wenaas E.P., J. Chem. Phys. Vol. 54, s. 376-388, 1971.
26. Jitschin W., Reich G., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A9, s. 2752-2756, 1991.
27. Szwemin P., Szymański K., Zeszyty Naukowe Politechniki Warszawskiej seria Elektronika, w tym numerze, 2002.
28. Niewiński M., Szwemin P., Mat. IV Kraj. Konf. Techniki Próżni, s. 18, Bachotek 1996.
29. Niewiński M., Szwemin P., Elektronika vol. XLII No 8-9 s. 91-93, 2001.
30. Niewiński M., Zeszyty Naukowe Politechniki Warszawskiej seria Elektronika, w tym numerze, 2002.
31. Jousten K., J. Vac. Soc. Jap., vol. 37, s. 678-685, 1994. Także Jousten K., Vacuum vol. 49 No 4 s. 359-360, 1998.
32. Odaka K., Ueda S., J. Vac. Sci. Technol. Vol. A13 No 3, s. 520-523, 1995.
33. Hałas A., Szwemin P., Elektronika vol. XXXiX No 1, s. 13-16, 1998.
34. Szwemin P., Szymański K., Jousten K., Metrologia vol. 36 No 6, s. 561-564, 1999.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-PWA6-0004-0004