Specyfika procesu wiercenia mikrootworów

Kudła, L.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Specyfika procesu wiercenia mikrootworów

Autorzy

Kudła L.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Specificity of the microholes drilling process

Języki publikacji

Abstrakty

Przedmiotem rozprawy są właściwości miniaturowych wierteł oraz wpływ miniaturyzacji tych narzędzi na proces wiercenia otworów o średnicach mniejszych od 1 mm, ze szczególnym uwzględnieniem zakresu wymiarowego od 50 do 500μm. Wiercenie jest powszechnie znanym i szeroko stosowanym sposobem wykonywania otworów walcowych w konwencjonalnym zakresie średnic, ale stałe tendencje do miniaturyzacji różnych przyrządów i urządzeń stwarzają nowe wyzwania technologiczne. Wiercenie mikrootworów może być przykładem rozwoju znanej techniki wytwarzania, w celu jej dostosowania do aktualnych, bardziej subtelnych aplikacji. Zmniejszenie wymiarów wierteł nie jest jedynym warunkiem niezbędnym do realizacji wiercenia mikrootworów. Konsekwencje miniaturyzacji są wielokierunkowe. Dotyczą one obrabiarek, uchwytów wierteł oraz innych niezbędnych środków technicznych. Istotne zmiany następują w przebiegu zjawisk obróbkowych, które powodują konieczność adaptacji cyklu wiercenia. Przedstawiana rozprawa na charakter doświadczalny, a w licznych próbach technologicznych zastosowano specjalnie opracowane stanowiska badawcze i techniki pomiarowe. Problem wiercenia mikrootworów został w pracy potraktowany kompleksowo, ze względu na współzależność właściwości konstrukcyjnych i użytkowych miniaturowych wierteł, cech kinematycznych obrabiarek oraz sposobu realizacji procesu i uzyskiwanych wyników. Przedstawiono konstrukcję i technologię narzędzi oraz opracowania konstrukcyjne specjalnych wiertarek. Wiele uwagi poświęcono opisowi zjawisk technologicznych, zagadnieniu wyznaczania i redukcji obciążeń zminiaturyzowanych narzędzi, a także stale aktualnym problemom wytrzymałości mechanicznej oraz zapobieganiu katastroficznym uszkodzeniom mikrowierteł. Ostatecznym celem mikrowiercenia jest zawsze wydajne wykonanie mikrootworów o założonej jakości, dlatego bardzo ważna jest charakterystyka błędów makro- i mikrogeometrii otworów. Zakończenie tej części pracy stanowią wnioski wypływające z oceny stanu techniki wiercenia mikrootworów. Na tle opisu stanu opracowań i badań procesu wiercenia mikrootworów, szczegółowo scharakteryzowano zagadnienia, które uznano za najbardziej reprezentatywne dla ilustracji specyfiki procesu. W pierwszej kolejności przedstawiono wyniki badań cech konstrukcyjno-technologicznych produkowanych mikrowierteł, z uwzględnieniem przydatności nowoczesnych pokryć przeciwzużyciowych, wytwarzanych z fazy gazowej. Wiele miejsca poświęcono obszernej charakterystyce odkształcania i pękania mikrowierteł oraz badaniom i opisowi nietypowego zjawiska, polegającego na sprężystych wydłużeniach części skrawającej miniaturowych wierteł krętych. Nowością są unikalne próby technologiczne modyfikacji podstawowego kształtu części skrawającej, przeprowadzone przy zastosowaniu różnych technik mikroobróbki, a następnie bardzo obiecujące wyniki eksperymentów wiercenia takimi wiertłami. W badaniach technologicznych szczególną uwagę zwrócono na problematykę wyznaczania siły i momentu skrawania oraz na ich zależność od parametrów technologicznych i warunków procesu. Przy wierceniu mikrootworów o najmniejszych średnicach istotną rolę odgrywa niepokrywanie się osi geometrycznej i osi obrotu mikrowiertła, co powoduje wielokierunkowe zmiany w przebiegu mikrowiercenia oraz wpływa na jakość wykonanych mikrootworów. Analizowano także wpływ sposobu realizacji cyklu wiercenia na przebieg i efektywność obróbki oraz na błędy wykonania i inne wskaźniki jakości obrabianych powierzchni. Ponadto, zaprezentowano wyniki eksperymentów technologicznych wiercenia mikrootworów w tworzywach konstrukcyjnych, uznawanych za trudnoobrabialne skrawaniem, między innymi w: szkle, krzemie monokrystalicznym, stopie tytanu oraz w wybranych kompozytach metalowo-ceramicznych. Na zakończenie przedstawiono wyniki badań jakości mikrootworów wykonywanych przez wiercenie. Wnioski wypływające z ich oceny, pozwalają na lepsze zrozumienie elementarnych zjawisk obróbkowych, jak również całego procesu oraz stanowią podstawę do dalszych prac badawczych i technologicznych, mających na cel doskonalenie i efektywne stosowanie techniki wiercenia mikrootworów.

The subject of this thesis is the specific properties of the drilling process of holes with diameters smaller than 1 mm, particularly those with a dimensional range of 50 to 500μm. Drilling with tools of determined cutting edge geometry is a fundamental and widely applied method of producing cylindrical holes in the conventional range of diameters. Permanent tendencies to reduces the size of various devices and equipment create particular technological challenges. Microdrilling can be an example of evolution of a well-known manufacturing technique, and its adaptation to new, finer applications. Reduction in size of the drill is not the only aspect of microdrilling. Consequences of miniaturisation are multi-directional. They pertain to machine tools and other technical means. Significant changes also take place in the machining process and give rise to the necessity to modify the drilling cycle. The problem of drilling microholes has been treated in this thesis in a complex way, in terms of dependence of design and utilisable qualities of miniature drills, kinematic properties of machine tools, methods of realisation of the process and the results obtained. The design and manufacture of tools and special drilling machines were introduced. Particular attention has been paid to testing process effects, issues surrounding evaluation of cutting forces and reduction of loads of miniaturised tools. The continuing problem of preventing catastrophic destruction of very sensitive microtools has been also discussed. Against the background of elaborations and process research, reported in the literature, some issues were characterised in detail. They were considered illustrative of microdrilling process specifics. First are presented the results of tests of geometrical and microgeometrical properties of produced microdrills and their mechanical properties, particularly deformations and strength by bending, buckling and torsion. The very special effect of the elongation of the cutting part of twist microdrills has also been described. The practical tests verified included the process properties of microdrills covered by special coatings and the modifications of cutting part geometry on the cutting forces and the quality of machined microholes. Special attention has been paid to the extraordinarily important role of coaxiality of the microdrill and axis of rotation. Additionally analysed was the influence of the method of realisation of the interrupt drilling cycle on the course and performance of the process and on machining errors and other factors concerning the quality of machined surfaces. Next presented were results of microdrilling experiments in materials considered difficult to machine, such as glass, silicon, Ti-alloy and selected metal-ceramic composites. Finally, the quality of the drilled microholes was discussed, taking into account dimensional, shape and position errors such as the roughness of surfaces and deformations of the edge of holes. Evaluation of the results of this research constitutes a basis for further works, aiming to improve and apply the microdrilling process effectively.

Słowa kluczowe

obróbka skrawaniem mikrowiercenia właściwości mikrowierteł zjawiska obróbkowe

cutting microdrilling properties of microdrills process phenomena

Wydawca

Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej

Czasopismo

Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Mechanika

Rocznik

2009

Tom

z. 228

Strony

3--226

Opis fizyczny

Bibliogr. 178 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Kudła L.

Instytut Metroligii i Inżynierii Biomedycznej

Bibliografia

1. Adachi K. i inni: A study on burr in low frequency vibratory drilling. Bull. Japan Soc. of Prec.. Engg, vol. 21, no 4, 1987, 258-264.
2. Adamczak S.: Normalizacja pomiarów struktury powierzchni. Cz. 7. Ocena chropowatości i falistości powierzchni. Mechanik, nr 5-6, 2005, 492-495.
3. Adams D.P., Vasile M., Benavides G., Campbell A.: Micromilling of metal alloys with focused ion beam fabricated tools. Prec. Engg, vol. 25, 2002, 107-113.
4. Alting L., Kimura F., Hansen H.N., Bissacco G.: Micro engineering. Annals of the CIRP, vol. 52/21/2003, 635-657.
5. Amemiya K., Fukuoka N., Terabayashi T., Daikoh Y.: F.E.M. Analysis of torsional strength for twist drill. Int. J. Japan Soc. Prec. Engg, vol. 29, no 1, March 1995, 44-45.
6. Arazna A., Koziol G., Borecki J., Falinski W.: UV laser microvias in build-up RCC and FR-4 prepreg layers. Proc. of XXIX Int. Conf. of IMAPS Poland Chapter, Sept. 19-21, 2005, Koszalin-Darlowko, Poland, 405-408.
7. Arendarski J.: Niepewność pomiarów. OWPW, Warszawa 2003.
8. Armarego E.J.A., Kang D.: Computer-aided modelling of the fluting process for twist drill design and manufacture. Annals of the CIRP, vol. 47/1/1998, 259-264.
9. Aronson R.B.: Making tiny holes. Manuf. Engg, May 1996, 77-84.
10. Ashida K., Morita N., Yoshida Y.: Development of nano-scale machining system utilizing mechanism of a friction force microscope, Proc. of 1st euspen Int. Conf. for Prec. Engg and Nanotechnology, May 31st-June 4th, 1999, Bremen, Germany, 376-379.
11. Aucote J., Grearson A.: Factors affecting performance of cemented carbide tools in printed circuit board drilling. Proc. of Powder Metallurgy World Congress, 1998, 86-92.
12. Aurich J.C., Haberland R., Schueler G.M., Engmann J., Schmidt K.H.: A new approach for using micro-end mills at high rotational speed and ultra low run-out. Proc. of 3rd Int. Conf. CIRP-HPC. June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland, vol. 1, 189-196.
13. Bader H.: Drilling of multilayerboards. Kemmer Prazision GmbH, Schwabisch Gmünd-Kleindeinbach, Germany.
14. Bang Y-B, Higuchi T.: Drill breakage detection and measurement of distance to the drilling surface on the micro drilling machine using voice coil motors. Int. J. Japan Soc. Prec. Engg, vol. 33, no 1, Mar. 1999, 15-20.
15. Bayly P.V., Metzler S.A., Schaut A.J., Young K.A.: Theory of torsional chatter in twist drills: model, stability analysis and composition to test. Trans, of ASME, vol. 123, Nov. 2001, 552-561.
16. Biało D.: Zużycie tribologiczne kompozytów na osnowie stopów aluminium otrzymanych z proszków. Prace Naukowe PW, Mechanika, z. 192, OWPW, Warszawa 2002.
17. Bissacco G.: Surface generation and optimization in micromilling. Ph. D. Thesis, Technical University of Denmark, 2004.
18. Blicharski M.: Wstęp do inżynierii materiałowej. WNT, Warszawa 2001.
19. Bono M., Ni J.: A model for prediction the heat flow into the workpiece in dry drilling. Trans, of ASME, vol. 124, Nov. 2002, 773-777.
20. Bossak M., Kozak J., Szmidt J.: Prognoza rozwoju mikro i nanotechnologii w Polsce w latach 2004-2007 (w aspekcie zastosowań w budowie i eksploatacji maszyn). Ekspertyza Sekcji Mikro i Nanotechnologii KBM PAN (niepublikowana), Warszawa 2004.
21. Brinksmeier E., Janssen R.: Drilling of multi-layer composite materials consisting of carbon fiber reinforced plastics (CFRP), titanium and aluminum alloys. Annals of the CIRP, vol. 51/1/2002, 87-90.
22. Burakowski T., Wierzchoń T.: Inżynieria powierzchni metali. WNT, Warszawa 1995.
23. Case J., Chilver A.H., Ross C.T F.: Strength of materials and structures, Arnold Publishers, John Wiley & Sons Inc., New York 1999.
24. Cheong M.S., Cho D.-W., Ehmann K.F.: Identification and control for micro-drilling productivity enhancement. Int. J. of Mach. Tools and Manuf., vol. 39, no 10, Oct. 1999, 1539-1561.
25. Cichosz P.: Narzędzia skrawające. WNT, Warszawa 2006.
26. Cichosz P., Petyniak A.: Wyważanie obrotowych narzędzi skrawających. Mechanik, nr 10, 2003, 595-600.
27. Darlewski J.: Cutting tool materials — state of the art and trends of future development. Proc. of the 2nd Int. Conf. on Machining and Measurements of Sculptured Surfaces MMSS'2000, Sept. 20-22, 2000, Kraków, Poland, 231-244.
28. Dobosz M.: Właściwości metrologiczne układów pomiarowych z diodą laserową. Prace Naukowe PW, Mechanika, z. 164, OWPW, Warszawa 1995.
29. Dornfeld D.A., Kim S.J., Dechow H., Hewson J., Chen L.J.: Drilling burr formation in titanium alloy Ti-6Al-4V. Annals of the CIRP, vol. 48/1/1999, 73-76.
30. Dyląg Z., Jakubowicz A., Orłoś Z.: Wytrzymałość materiałów. WNT, Warszawa 1999.
31. Dziuban J.A.: Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów. OWPWr., Wrocław 2004.
32. Egashira K., Mizutani K.: Micro-drilling of monocrystalline silicon using a cutting tool. Prec. Engg, vol. 26, 2002, 236-268.
33. Egashira K., Mizutani K.: Ultrasonic vibration drilling of microholes in glass. Annals of the CIRP, vol. 51/1/2002, 339-342.
34. Ehmann K., Lin C, Kang S.: Deep-hole microdrilling. Cutting Tool Engg, vol. 44, no 1, 1992,51-54.
35. Ehmann K.: Grinding wheel profile definition for the manufacture of drill flutes. Annals of the CIRP, vol. 39/1/1990, 153-156.
36. Endo H., Murahashi T., Marui E.: Accuracy estimation of drilled holes with small diameter and influence of the machining accuracy when drilling in mild sheet steel. Int. J. of Machine Tools & Manufacture, 47, 2007, 175-181.
37. Feld M.: Projektowanie i automatyzacja procesów technologicznych części maszyn. WNT, Warszawa 1997.
38. Feld M.: Technologia budowy maszyn. Wydawnictwo Naukowe PWN SA, Warszawa 2000.
39. Filipowski R., Marciniak M.: Techniki obróbki mechanicznej i erozyjnej. OWPW, Warszawa 2000.
40. Fu L., Ling S.-F., Tseng C.-H.: On-line breakage monitoring of small drills with input impedance of driving motor. Mechanical Systems and Signal Processing, 21, 2007, 457-465.
41. Gambin W., Kowalczyk K.: Plastyczność metali. OWPW, Warszawa 2003.
42. Gawlik J.: Prognozowanie stanu zużycia ostrzy narzędzi w procesie skrawania. Politechnika Krakowska. Monografia 66, Kraków 1988.
43. Gawlik J., Karbowski K.: Prognozowanie stanu ostrza skrawającego z zastosowaniem sieci neuronowych. Mechanik, nr 4, 1997, 53-56.
44. Gerrard Ch.: High speed air bearings for micromachining. Prezentacja firmy Westwind Air Bearings. 3rd Int. Conf. CIRP-HPC. June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland.
45. Groover, M.P.: Fundamentals of modern manufacturing. Materials, processes and systems. Prentice-Hall Inc., New Jersey, USA 1996.
46. Grzesik W.: Podstawy skrawania materiałów metalowych. WNT, Warszawa 1998.
47. Grzesik W.: An investigation of the thermal effects in ortogonal cutting associated with multilayer coatings. Annals of the CIRP, vol. 50/1/2001, 53-56.
48. Grzesik W.: Quantification of cutting performance with tools treated with advanced coatings. Adv. in Manuf. Sc. and Technology, vol. 26, no 4, 2002, 69-83.
49. Gupta K., Ozdoganlar O.B., Kapoor S.G., DeVor R.E.: Modelling and prediction of hole profile in drilling, Part 1: Modelling drill dynamics in the pradence of drill alignment errors. Trans, of ASME, vol. 125, February 2003, 6-13.
50. Gupta K., Ozdoganlar O.B., Kapoor S.G., DeVor R.E.: Modelling and prediction of hole profile in drilling, Part 2: Modelling hole profile. Trans, of ASME, vol. 125, February 2003, 14-20.
51. Hoffmeister H.-W., Illenseer S., Hesselbach J.: Burr formation and reduction in micro drilling of metals. Production Engg, vol. XI/1, 2004, 1-4.
52. Hoffmeister H.-W., Stoeterau R.L., Hlavac M.: Influence of tool geometry on the performance of micro-drilling of aeronautic alloys. Proc. of the 6th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 28th-June 1st, 2006, Baden/Vienna, Austria, vol. II, 200-203.
53. Housman R.J.: Consideration of tool material and tool geometry in small diameter PCB drills. Tulon Technical Report, no TR393, Tulon Inc., California, USA.
54. Imran M., Mativenga P.T., Kanaan S., Novovic D.: An experimental investigation of deep-hole microdrilling capability for a nickel based superalloy. J. Engg Manuf., vol. 222, Part B, 2008, 1589-1596.
55. Iwata K., Moriwaki T.: Basic study of high speed micro deep drilling. Annals of CIRP, vol. 30/1, 1981, 27-30.
56. Jabłoński R.: Metrology in nanoscale. Proc. of III Int. Congress of Precision Machining, Oct. 18-19, 2005, Vienna, Austria, 33-40.
57. Jemielniak K.: Obróbka skrawaniem. OWPW, Warszawa 1998.
58. Jemielniak K.: Commercial tool condition monitoring systems. Int. J. Adv. Manufacturing Technology. 15/1999, 711-721.
59. Jemielniak K.: Automatyczna diagnostyka stanu narzędzia i procesu skrawania. OWPW, Warszawa 2002.
60. Jemielniak K.: Analiza błędnych ruchów wrzecion szybkoobrotowych. Archiwum Technologii Maszyn i Automatyzacji. KBM PAN, vol. 24, nr 2 spec., 2004, 67-74.
61. Johnson G., Sparkman O.: The future of small hole drilling. Printed Circuit Fabrication vol. 19, March 1996, 40-42, 44, 46.
62. Kaczmarek J.: Podstawy obróbki wiórowej, ściernej i erozyjnej. WNT, Warszawa 1971.
63. Kaminski J., Crafoord R.: Position accuracy of drilled holes. Annals of the CIRP, vol. 40/1991, 53-506.
64. Kawalec M., Jankowiak M.: Kształtowanie mikronierówności powierzchni w procesie dokładnego toczenia ostrzami polikrystalicznymi. Postępy Technologii Maszyn i Urządzeń, vol. 22, nr 3, 1998, 79-91.
65. Kawalec M., Jankowiak M., Król G.: Skrawalność kompozytów aluminiowo-ceramicznych. Mechanik, nr 2, 1998, 67-70.
66. Kazimierski Z., Krysiński J.: Łożyskowanie gazowe i napędy mikroturbinowe. WNT, Warszawa 1981.
67. Kevern J.J.: Mechanical microdrilling outperforms even the laser. Product Engineering, 26/1967, 96-100.
68. Ko S.L., Chang J.E.: Development of drill geometry for burr minimization in drilling. Annals of the CIRP, vol. 52/1/2003, 45-48.
69. Kosmol J.: Automatyzacja obrabiarek i obróbki. WNT, Warszawa 1995.
70. Krause W.: Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik. Carl Hanser Verlag, München-Wien, 1996.
71. Kudła L.: Study on dimensional accuracy of mechanically drilled microholes. Proc. of the 9th Int. Prec. Engg, Sem. and 4th Int. Conf. on Ultraprec. in Manuf. Engg, Braunschweig, Germany, 26-30.V. 1997, vol. 2, 540-543.
72. Kudła L.: Properties of drill bits used in multilayer boards microdrilling. Proc. of the 3rd Int. Sem. in Prec. and Electronic Technology INSEL'97, 19-20.XI.97, Warsaw, 181-186.
73. Kudła L.: Wpływ niewspółosiowości wiertła i wrzeciona na proces wiercenia mikrootworów. Mechanik, nr 7, 1998, 447-450.
74. Kudła L.: Stanowisko do badań właściwości wytrzymałościowych miniaturowych wierteł. Mechanik, nr 11, 1999, 717-720.
75. Kudła L.: Drilling of deep microholes in PCB's. Int. Sem. on the Prec. and Electronic Technology, INSEL'99, 22-24 Nov. 1999, Warsaw, 133-138.
76. Kudła L.: Device and setup for investigation on microdrills‛ strength properties. Proc. of 1st euspen Topical Conf. on Fabrication and Metrology in Nanotechnology. May 28-30, 2000, Copenhagen, Danmark. vol. 1, 243-250.
77. Kudła L.: Wytrzymatość na skręcanie miniaturowych wierteł krętych. Mechanik, nr 10, 2000, 681-683.
78. Kudła L.: Techniki wykonywania mikrootworów - sposoby mechaniczne. Pomiary Automatyka Robotyka, nr 11, 2000, 11-13.
79. Kudła L.: Techniki wykonywania mikrootworów - sposoby erozyjne. Pomiary Automatyka Robotyka, nr 12, 2000, 11-14.
80. Kudła L.: Influence of feed motion features on small holes drilling process. J. of Materials Processing Technology, vol. 109/3, 2001, 236-241.
81. Kudła L.: Strength properties of miniature drills. Proc. of the 2nd euspen Int. Conf. for Prec. Engg and Nanotechnology. May 27-31, 2001, Turin, Italy, vol. 2, 702-705.
82. Kudła L.: Investigation into the process of breakage of miniature twist drills. Advances in Manufacturing Science and Technology, vol. 25, no 2, 2001, 37-51.
83. Kudła L.: Fabrication of miniature cutters for eye surgical operations. Proc. of the 3rd euspen Int. Conf. for Prec. Engg and Nanotechnology. May 26-30, 2002, Eindhoven, Netherlands, vol. 2, 407-410.
84. Kudła L.: Machining of precise multihole perforation in punch-and-die tooling plates. J. of Engg Manufacture, vol. 217, no 11, 2003, 1581-1587.
85. Kudła L.: Mechanical drilling of microholes in A1/A12O3 composites. Proc. of the euspen Int. Conf. on Prec. Engg, Micro Technology, Measurement Techniques and Equipment. May 19-20, 2003, Aachen, Germany, vol. 1, 213-216.
86. Kudła L.: Badania wybranych sposobów obróbki erozyjnej w zastosowaniu do redukcji zniekształceń krawędzi mikrootworów. W: Wybrane zagadnienia obróbek skoncentrowana, wiązka. energii, praca zbiorowa pod redakcją. M. Styp-Rekowskiego, Wydawnictwo AT-R w Bydgoszczy, 2003, 88-95.
87. Kudła L.: Measurements of deformations created on the edges of microholes. Proc. of the 2nd Int. Conf. Inter-Academia 2003, Sept. 8-12, 2003, Warszawa, Poland, vol. 2, 281-290.
88. Kudła L.: Surface quality of microholes machined with mechanical drilling. Proc. of the 3rd Int. Conf. on Machining and Measurements of Sculptured Surfaces MMSS'2003, Sept. 24-26, 2003, Kraków, Poland, 297-306.
89. Kudła L.: Investigation into quality of microholes machined with drilling. Proc. of 4th euspen Int. Conf., May-Jun 2004, Glasgow, Scotland (UK), 101-102.
90. Kudła L.: Niektóre aspekty procesu wiercenia mikrootworów w kompozytach aluminiowo-ceramicznych. Archiwum Technologii Maszyn i Automatyzacji. KBM PAN, Oddział w Poznaniu, vol. 24, nr 2, 2004, 19-28.
91. Kudła L.: Deformations and strength of miniature drills. J. of Engg Manufacture, vol. 220, no 3, 2006, 389-396.
92. Kudła L.: Machining properties of microdrills with modified cutting part. Proc. of the 6th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 28th-June 1st, 2006, Baden/Vienna, Austria, vol. II, 160-163.
93. Kudła L.: Prevention against breakage of miniature drills. Periodica Polytechnica, Seria Mech. Engg, Budapest University of Technology and Economics, vol. 50, no 1, 2006, 77-88.
94. Kudła L.: Experimental research on quality of microholes machined using modified microdrills. Proc. of the 7th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 20-24th, 2007, Bremen, Germany, vol. II, 269-272.
95. Kudła L.: Microcutting techniques for micromachining. In: Advances in production engineering edited by L. Dajjrowski, PW WIP, Warsaw 2007, 281-290.
96. Kudła L.: Design and fabrication of tools for microcutting processes. In: Recent advances in mechatronics, edited by R. Jablonski et al., Springer Verlag 2007, 303-307.
97. Kudła L.: Tool wear phenomena by drilling of microholes in particle-reinforced Al-alloy matrix composites. Int. Review of Mech. Engg, vol. 1, no 6, November 2007, 683-690.
98. Kudła L.: Investigation into micromachining techniques applied for improvement of the geometry of microdrills. Proc. of 3rd Int. Conf. CIRP-HPC, June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland, vol. 2, 529-538.
99. Kudła L., Kędra J.: Optymalizacja procesu wiercenia z posuwem mikroskokowym otworów o średnicy mniejszej od 1 mm. Raport z projektu badawczego w ramach Programu Priorytetowego PW Nowe Technologie (niepublikowany). Warszawa 1998.
100. Kudła L., Plotter V.: Design and fabrication of precision mold's insert used in forming processes of miniaturised plastic parts. Proc. of the 3rd Int. Conf. on Machining and Measurements of Sculptured Surfaces MMSS'2003, Sept. 24-26, 2003, Kraków, Poland, 307-314.
101. Kudła L., Wierzchoń T.: Effects of plasma nitriding of carbide microdrills. Proc. of the 2nd Int. Conference Inter-Academia 2003, Sept. 8-12, 2003, Warszawa, Poland, vol. 1, 95-102.
102. Kunstetter S.: Podstawy konstrukcji narzędzi skrawających. WNT, Warszawa 1980.
103. Kustas P.M., Fehrenbacher L.L., Komanduri R.: Nanocoatings on cutting tools for dry machining. Annals of the CIRP, vol. 46/1/1997, 39-42.
104. Lauderbaugh Saunders L.K., Mauch C.A.: An exit burr model for drilling of metals. Trans, of ASME, vol. 123, Nov. 2001, 562-566.
105. Lehtihet E.A., Gunasena U.N.: Statistical models for the relationship between production errors and the position tolerance of a hole. Annals of the CIRP, vol. 39/1/1990, 569-572.
106. Marciniak M.: Proces szlifowania w ujęciu fenomenologicznym. Prace Naukowe PW, Mechanika, z. 178, OWPW, Warszawa 1999.
107. Massalski J.M., Studnicki J.: Legalne jednostki miar i stałe fizyczne. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa 1999.
108. Masuzawa T.: 2000, State of the art of micromachining. CIRP Annals, vol 49/2/2000:473-488.
109. Matusiak L.: Stanowisko badawcze do pomiaru i analizy oporów skrawania przy wierceniu mikrootworów. Praca dyplomowa magisterska. Politechnika Warszawska, Wydział Mechaniki Precyzyjnej, Warszawa 1996.
110. Mellinger J.C., Ozdoganlar O.B., DeVor R.E., Kapoor S.G.: Modelling chip-evacuation forces in drilling for various flute geometries. Trans, of ASME, vol. 125, February 2003 405-415.
111. Monaghan J.: Factors affecting the machinability of Al/SiC metal-matrix composites. Key Engg Materials, Vols. 138-140, 1998, 545-574.
112. Mrugalski Z.: Mechanizmy zegarowe. WNT, Warszawa 1972.
113. Nagao T., Hatamura Y., Mitsuishi M.: In-process prediction and preventing of the breakage of small diameter drills based on theoretical analysis. Annals of the CIRP vol. 43/1/1994, 85-88.
114. Nakamura S.: High-speed spindles for machine tools. Int. J. Japan Soc. Prec. Engg, vol. 30, no 4 (Dec. 1996), 291-294.
115. Niezgodziński M.E., Niezgodziński T.: Wytrzymałość materiałów. WNT, Warszawa 1998.
116. Nomura M., Kawashima T., Murakami Y., Horiuchi O., Shibata T.: A study on small hole drilling. Proc. of 3rd Int. Conf. CIRP-HPC. June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland vol 2, 539-548.
117. Nowicki B.: Struktura geometryczna. Chropowatość i falistość powierzchni. WNT, Warszawa 1991.
118. Oczoś K.E.: Obróbka otworów - osiągnięcia w zakresie wiercenia i drążenia. Część I: Technika wiercenia mechanicznego. Mechanik, nr 5-6, 1997, 175-187.
119. Oczoś K.E.: Postępy konwencjonalnych sposobów mikroobróbki ubytkowej zminiaturyzowanych konstrukcji części. Mechanik, nr 12, 2002, 763-772.
120. Oczoś K.E.: Zwiększenie efektywności procesów skrawania stopów tytanu. Mechanik nr 10, 2003, 543-550.
121. O'Donnell G.E., Kelly K.: Process monitoring of high speed small diameter drilling operations - influences of scale. Proc. of the 7th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 20-24th, 2007, Bremen, Germany, vol. II, 109-112.
122. Ohmori H. i inni: Improvement of mechanical strength of micro tools by controlling surface characteristics. Annals of the CIRP, vol. 52/1/2003, 467-470.
123. Ohmori H. i inni: Investigation of substrate finishing conditions to improve adhesive strength of DLC films. Annals of the CIRP, vol. 54/1/2005, 511-514.
124. Ohnishi O. i inni: The effects of ultrasonic vibration on micro drilling performance with a diameter of 5 microns into titanium alloy. Proc. of the 6th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 28th-June 1st, 2006, Baden/Vienna, Austria vol. II, 20-23.
125. Ohshima I., Maekawa K.: Characteristics of drill damage and hole quality in microdrilling of printed circuit boards, Int. J. Japan Soc. Prec. Engg, vol. 33, no 2 (June 1999), 94-99.
126. Oleksiuk W., Paprocki K.: Konstrukcja mechanicznych zespołów sprzętu elektronicznego. WKiŁ, Warszawa 1997.
127. Olszak W.: Obróbka skrawaniem. WNT, Warszawa 2008.
128. Olszewski M.: Sterowanie pozycyjne pneumatycznego napędu siłownikowego. Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Mechanika, z. 191, OWPW, Warszawa 2002.
129. Onikura H. i inni: Effects of ultrasonic vibration on machining accuracy in microdrilling. Int. J. Japan Soc. of Prec. Engg, vol. 30, no 3, 1996, 210-216.
130. Onikura H., Ohnishi O., Take Y.: Fabrication of micro carbide tools by ultrasonic vibration grinding. Annals of the CIRP, vol. 49/1/2000, 257-260.
131. Onikura H., Ohnishi O., Yamamoto U., Koga T.: Fabrication of 10-20 µm diameter micro flat drills. Proc. of 4th euspen Int. Conf., May-Jun 2004, Glasgow, Scotland (UK), 153-154.
132. Park B.J., Choi Y.J., Chu C.N.: Prevention of exit crack in micro drilling of soda-lime glass. Annals of the CIRP, vol. 51/1/2002, 347-350.
133. Patel J.: Meeting the challenge of economic high yield microdrilling. Optima Report, USA.
134. Picard Y.N., Adams D.P., Vasile M.J., Ritchey M.B.: Focused ion-beam-shaped microtools for ultra-precision machining of cylindrical components. Prec. Engg, vol. 27, no 1, Jan. 2003, 59-69.
135. Podwapiński W.: Zegarmistrzostwo. Niepokalanów. 1948-1952. Libra 1974.
136. Poletti M.: Perforation technology for micro-via-holes multilayer boards. Excellon Europa Gmbh, D-6057 Dietzenbach, Germany.
137. Przybylski L.: Strategia doboru warunkółw obróbki współczesnymi narzędziami. Toczenie - wiercenie - frezowanie. ZG Politechniki Krakowskiej, Kraków 2000.
138. Rajurkar K.P., Yu Z.Y., Kozak J.: Micromachining by EDM and ECM. Proc. of the 1st Int. CIRP Sem. on Micro and Nano Technology, Nov. 13-14, 2003, Copenhagen, 45-48.
139. Ratajczyk E.: Współrzędnościowa technika pomiarowa. Maszyny i roboty pomiarowe. OWPW, Warszawa 1994.
140. Ruszaj A.: Niekonwencjonalne metody wytwarzania elementów maszyn i narzędzi. Prace Instytutu Obróbki Skrawaniem, Kraków 1999.
141. Rymuza Z.: Control tribological and mechanical properties of MEMS surfaces. J. of Mikrosystem Technologies, vol. 5, no 4, 1999, 173-180.
142. Rymuza Z.: Problemy mikro/nanotrybologii. Zagadnienia Eksploatacji Maszyn, vol. 35, nr 3, 2000, 29-41.
143. Settineri L., Bucciotti F., Cesano F., Faga M.G.: Surface properties of diamond coatings for cutting tools. Annals of the CIRP, vol. 56/1/2007, 573-576.
144. Shimada S. i inni: Brittle-ductile transition phenomena in microidentation and micromachining. Annals of the CIRP, vol. 4/1/1995, 523-526.
145. Show M.C.: Some observations concerning the mechanics of cutting and grinding. Appl. Mech. Review, vol. 46, no 3, March 1993, 74-79.
146. Show M.C.: Precision finishing. Annals of the CIRP, vol. 44/1/1995, 343-348.
147. Skrypczinski J.: Bohren von gedruckten Schaltungen. Hawera Report, Ausgabe 6/a, Hawera GmbH, Ravensburg, Germany.
148. Stein J.M., Dornfeld D.A.: Burr formation in drilling miniature holes. Annals of the CIRP, vol. 46/1/1997, 63-66.
149. Stingel H.H.: Drilling with ,,fluidic" spindles. American Machinist, 3, April 1972, 39-42.
150. Szafarczyk M.: Sterowanie i napęd obrabiarek. Mechanik, nr 8-9, 1997, 369-374.
151. Szafarczyk M.: Monitoring and automatic supervision in manufacturing. Adv. in Manuf. Sc. and Techn., vol. 25, no 4, 2001, 140-149.
152. Szmidt J.: Diamentopodobne warstwy węglowe wytwarzane metodami plazmowymi na potrzeby mikroelektroniki. OWPW, Prace Naukowe, Elektronika, z. 108.
153. Szwedowski A.: Materiałoznawstwo optyczne i optoelektroniczne. WNT, Warszawa 1996.
154. Taniguchi N.: Current status in, and future trends of, ultraprecision machining and ultrafine materials processing. Annals of the CIRP, vol. 32/2/1983, 573-582.
155. Tansel I.N.: Monitoring micro-drilling operations using neural networks. Key Engg Materials, Trans. Tech. Publications, Switzerland, vols. 138-140/1998, 575-592.
156. Tansel I.N. i inni: Tool wear estimation in micro-machining. Part I: tool usage-cutting force relationship. Int. J. of Machine Tools & Manufacture, 40, 2000, 599-608.
157. Teti R.: Machining of composite materials. Annals of the CIRP, vol. 51/2/2002, 611-634.
158. Tomasik J. (red.): Sprawdzanie przyrządów do pomiaru długości i kąta. OWPW, Warszawa 2003.
159. Tönshoff H.K., Spintig W., König W., Neises A.: Machining of holes. Development in Drilling Technology. Annals of the CIRP, vol. 43/2/1994, 551-561.
160. Tryliński W.: Fine mechanisms and precision instruments. Principles of Design. Pergamon Press Ltd. 1971.
161. Uhlmann E., Koenig J.: Material and tribological behaviour of diamond coated cutting tools. Proc. of 3rd Int. Conf. CIRP-HPC. June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland, vol. 2, 477-482.
162. Victor H., Müller H.: Zerspannversuche mit Kleinstbohrern. Werkstattstechnik, 2/1972, 86-89.
163. Weng E.G., Skrypczinski J.: Bohren von gedruckten Schaltungen. Hawera-Report, Ausgabe 6.
164. Wieczorowski K., Cellary A., Chajda J.: Charakterystyka chropowatości powierzchni. Politechnika Poznańska 1996.
165. Wilcox R.: Dynamic measurement of high-speed spindle runout. Printed Circuit Fabrication, vol. 12, March 1989, 46-54.
166. Wittgrebe J.: How to achieve nano precision on the work piece. Proc. of 3rd Int. Conf. CIRP-HPC, June 12-13th, 2008, Dublin, Ireland, vol. 1, 47-58.
167. Won M.S., Dharan C.K.H.: Drilling of aramid and carbon fiber polymer composites. Trans, of ASME, vol. 124, Nov. 2002, 778-783.
168. Wysiecki M.: Nowoczesne materiały narzędziowe. WNT, Warszawa 1997.
169. Yokomizo S., Kubota S., Uno Y.: High performance drilling of monocrystalline silicon using monocrystalline diamond drill. Proc. of the 6th euspen Int. Conf. on Prec. Engg and Nanotechnology, May 28th-June 1st, 2006, Baden/Vienna, Austria, vol. II, 300-303.
170. Yongchen P., Qingchang T., Zhaojun Y.: A study of dynamic stresses in micro-drills under high-speed machining. Int. J. of Machine Tools & Manufacture, 46, 2006, 1892-1900.
171. Zhaojun Y., Wei L., Yanghong C, Lijiang W.: Study for increasing micro-drill reliability by vibrating drilling. Reliability Engg and System Safety, 61 (1998), 229-233.
172. Żebrowska-Łucyk S.: Bezodniesieniowa metoda badania mikrogeometrii powierzchni elementów obrotowych. Prace Naukowe PW, Mechanika, z. 187, OWPW, Warszawa 2001.
173. Żebrowski H. (red.): Techniki wytwarzania. Obróbka wiórowa, ścierna i erozyjna. OWPWr, Wrocław 2004.
174. - - -: Narzędzia do skrawania metali. Wiertła kręte - Polska Norma PN-86/M-59601.
175. www.a-m.de
176. www.me.mtu.edu/~microweb/chap6
177. www.mikron.com
178. www.nachi-fujicoshi.co.jp

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-PWA4-0004-0032