System kontroli parametrów elektrofizycznych krzemowych warstw epitaksjalnych i dyfuzyjnych

• Autorzy: Machalica P. , Zając J. , Mocny W. , Młynarski B. , Wójcik J. , Zaremba G. , Niemiec M.
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

systemy kontroli; systemy monitorowania; analiza rezystancji rozpływu; testy porównawcze

EN

controlling systems; resistance analysis; comparative tests

• Wydawca: Przemysłowy Instytut Elektroniki
• Czasopismo: Prace Przemysłowego Instytutu Elektroniki
• Rocznik: 2001
• Tom: nr 146
• Strony: 239--243
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys., schem.

Twórcy

autor

Machalica P.

autor

Zając J.

autor

Mocny W.

autor

Młynarski B.

autor

Wójcik J.

autor

Zaremba G.

autor

Niemiec M.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki ul. Długa 44/50 00-241 Warszawa