The evaporation system for thin film deposition in ultrahihg vacuum

• Autorzy: Marszałek M. , Jaworski J. , Prokop J. , Voznyi V. , Sulkio-Cleff B.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe/Konferencja Techniki Próżni/ Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In the Institute of Nuclear Physics in Kraków the multichamber ultra-high vacuum system has been built for surface and interface studies of thin magnetic film systems with nuclear analytical methods. This paper presents a design and a performance of the chamber for film preparation, which is one of the parts of ultrahigh vacuum stand. A construction and performance of the home made evaporation system is presented. A thickness of prepared samples measured with quartz monitors during evaporation was verified with X-ray reflectivity method and good agreement was obtained.

Słowa kluczowe

PL

parowanie; próżnia

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 191--194
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., wykr., fot.

Twórcy

autor

Marszałek M.

autor

Jaworski J.

autor

Prokop J.

autor

Voznyi V.

autor

Sulkio-Cleff B.

• H. Niewodniczański Institute of Nuclear Physics Kraków