Śluza próżniowa do wprowadzania próbek do wnętrza układów UHV (XHV)

• Autorzy: Kaufman E. , Ignaciuk R. , Konarski P.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie próżniowe/Konferencja Techniki Próżni/Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

A construction of an ultra-high vacuum lock and transfer system designed for MBE vacuum chambers, is presented. The two stage vacuum lock consists of shutter valve, introduction chamber, and transfer system based on rotary feed-throughts and transferring rod enabling 1.5 m range transfer. The whole system is bakeable up to 470 K, and the samples can be heated up to 1000 K inside the introduction chamber.

Słowa kluczowe

PL

śluza próżniowa; układy UHV

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 173--176
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., wykr., tab.

Twórcy

autor

Kaufman E.

autor

Ignaciuk R.

autor

Konarski P.

• Instytut Technologii Próżniowej Warszawa