Manipulator wysokopróżniowy o pięciu stopniach swobody ruchu z napędem ręcznym lub z napędem silnikami krokowymi

• Autorzy: Kaufman E. , Konarski P. , Jędrzejczyk M
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe/Konferencja Techniki Próżni/Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

A construction of an ultra-high manipulator designed for MBE vacuum chambers is presented. Manipulator provides translations along "x" - 30 mm, "y" - 60 mm, "z" - 100 mm, rotation 360° along "z" axis, internal and external tilting mechanism. It is equipped with shutter as well as current and voltage electric feedthroughts. All translations stages, rotation head and shutter are motorised by stepping motors.

Słowa kluczowe

PL

manipulator próżniowy; silniki krokowe

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 169--172
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Kaufman E.

autor

Konarski P.

autor

Jędrzejczyk M

• Instytut Technologii Próżniowej Warszawa