Konstrukcja i wyniki badań pomp jonowo-sorpcyjnych PJ-50 i PJ-400

• Autorzy: Cyrański R. , Konarski P. , Wymysłowski A. , Sobolewski A. , Magiełko H. , Marks J. , Pytkowski S.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe/Konferencja Techniki Próżni/Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

New design of two ion sorption pumps PJ-50 and PJ-400 is presented. The pumps were constructed basing on literature data, computer simulation of discharge processes chamber parameters, and our experimental results. PJ-50 set consists of two anode-cathode packages consisting of anode cells of different diameter (23 mm, 18 mm and 15 mm). PJ-400 set consists of eight packages, which contain 23 mm and 18 mm diameter cells. Cathodes are made of titanium and tantalum while anodes are of ss304. Presented pumps are equipped optionally with NEG getters, as well as titanium sublimation cartridge with cryogenic shroud. Results of investigations show the ultimate pressures in the 10-9 Pa range and nitrogen pumping speeds 70 dm3/s and 420 dm3/s. Argon pumping speeds are 40 dm3/s and 250 dm3/s for the PJ-50 and PJ-400 pumps respectively.

Słowa kluczowe

PL

pompy jonowo-sorpcyjne

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 109--112
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., wykr.

Twórcy

autor

Cyrański R.

autor

Konarski P.

autor

Wymysłowski A.

autor

Sobolewski A.

autor

Magiełko H.

autor

Marks J.

autor

Pytkowski S.

• Instytut Technologii Próżniowej Warszawa