Przewodność diafragmy wzorcowej - porównanie obliczeń analitycznych i symulacyjnych

• Autorzy: Niewiński M. , Szwemin P.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe/Konferencja Techniki Próżni/Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

Different methods of calculating the orifice conductance's correction factor, an important factor for the determining the pressure in dynamic calibration system, have been compared in this paper. This value has been calculated for conductance system recently applied in Instituto di Metrologia Gustavo Colonetti (Italy). Comparison of analytical methods with Monte-Carlo simulations shows that the last method could be successfully use for metrological purposes with uncertainties of the order of 10-5.

Słowa kluczowe

PL

diafragma wzorcowa; obliczenia analityczne

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 87--92
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., tab., wyk.

Twórcy

autor

Niewiński M.

autor

Szwemin P.

• Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej Warszawa