Optoelektroniczne polowe czujniki struktur powierzchniowych

• Autorzy: Kujawińska M.
• Konferencja: Zastosowanie czujników światłowodowych i optoelektronicznych w przemyśle i ochronie środowiska/sympozjum (II; 07.12.1999; Warszawa, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono przegląd zautomatyzowanych optoelektronicznych systemów pomiarowych struktur powierzchniowych, opracowanych w Instytucie Mikromechaniki i Fotoniki PW. W szczególności zwrócono uwagę na możliwość wykorzystania techniki światłowodowej i półprzewodnikowych źródeł światła w budowie zminiaturyzowanych. kompaktowych polowych czujników interferometrycznych do pomiaru kształtu, mikrotopografii oraz przemieszczeń struktur powierzchniowych.

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Konferencje
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 18
• Strony: 115--122
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys.

Twórcy

autor

Kujawińska M.

• Wydział Mechatroniki Politechnika Warszawska