PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Materiały i procesy stosowane w wytwarzaniu elementów MEMS

Treść / Zawartość
Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Materials and processes for manufacturing the MEMS components
Konferencja
Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna EM'12 (Electromachining) (11 ; 16-18.05.2012 ; Bydgoszcz-Pieczyska, Polska)
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
W artykule przedstawiono zarys problematyki związanej z mikro - elektro - mechanicznymi systemami, a w szczególności podano informacje dotyczące stosowanych materiałów i technologii do ich wytwarzania. Obszar zainteresowań tematyką MEMS jest bardzo duży. Układy MEMS znajdują zastosowanie we wszystkich dziedzinach życia. Proces ich projektowania jest interdyscyplinarny i wymaga zastosowania specjalistycznych aplikacji. Podstawowym materiałem stosowanym w wytwarzania układów MEMS jest krzem. Obecnie identyfikowanych jest ponad 200 technologii stosowanych w wytwarzaniu MEMS, a wiele innych jest jeszcze na etapie badań laboratoryjnych.
EN
The paper presents the outline of problems connected with MEMS manufacturing, especially data related to materials and technologies applied in practice. Area of MEMS is interested very wide. MEMS have been applied almost in each branch of our life. Process of MEMS design is interdisciplinary and needs a sophisticated applications. The main material in MEMS manufacturing is silicon (Si). Nowadays over 200 special technologies are applied in MEMS manufacturing; many of other is in the stage of laboratory investigations. They are presented in this paper.
Słowa kluczowe
Czasopismo
Rocznik
Strony
19--26
Opis fizyczny
Bibliogr. 21 poz.
Twórcy
autor
  • Politechnika Krakowska, Instytut Technologii Maszyn i Automatyzacji Produkcji
Bibliografia
  • [1] DZIUBAN J. A., 2004, Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo - szklanych w technice mikrosystemów, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej.
  • [2] JACKSON M. J. and al., 2006, Microfabrication and Nanomanufacturing, Taylor&Francis.
  • [3] KREITH F, MAHAJAN R. i inni, 2006, MEMS Applications, Taylor&Francis.
  • [4] NOWAKOWSKI A., KRZYWDA T., ZACHOROWSKI J., 2011, Mikrowycinarka elektroerozyjna MW50. Mechanik, 7, 570-577.
  • [5] NADIM M., KIRT W., 2004, An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, II wydanie, Artech Hause, Inc.
  • [6] RUSZAJ A., 1999, Niekonwencjonalnego metody wytwarzania elementów maszyn i narzędzi, Wydawnictwo IOS Kraków.
  • [7] ZOSKI C. G., 2007, Handbook of Electrochemistry, Print Book.
  • [8] KOZAK J., RAJURKAR K. P., RUSZAJ A., SŁAWIŃSKI R. J., 1998, Wygładzanie powierzchni o złożonym kształcie przez obróbkę elektrochemiczną elektrodą sferyczną ze sterowaniem numerycznym (ECM-CNC), Postępy Technologii Maszyn i Urządzeń, 22, 53-74.
  • [9] RUSZAJ A., SKOCZYPIEC S., LIPIEC P., 2006, Rozwój technologii i obrabiarek do mikro-ECM, Inżynieria Maszyn, 11/4, 66-73.
  • [10] SKOCZYPIEC S., RUSZAJ, A., GRABOWSKI, M., 2010, Elektrochemiczna intensyfikacja procesu mikroskrawania, Inżynieria Maszyn, 15/3, 92-101.
  • [11] RUSZAJ A., 2005, Wybrane zagadnienia mikroobróbki elektrochemicznej i elektroerozyjnej, Inżynieria Maszyn, 10/3, 129-137.
  • [12] RUSZAJ A. SKOCZYPIEC S. CHUCHRO M., 2009, Elektrochemiczne i elektrochemiczno-hybrydowe metody obróbki wykończeniowej powierzchni swobodnych, Inżynieria Maszyn, 14/1, 41-49.
  • [13] RUSZAJ A., GAWLIK J., SKOCZYPIEC S., 2009, Stan badań i kierunki rozwoju wybranych niekonwencjonalnych procesów wytwarzania, Inżynieria Maszyn, 14/1, 7-19.
  • [14] SKOCZYPIEC S., KOZAK J., RUSZAJ A., 2009, Wybrane problemy technologii elektrochemicznej i elektroerozyjnej mikro-narzędzi, Inżynieria Maszyn, 14/1, 20-30.
  • [15] SKOCZYPIEC S., RUSZAJ A., GRABOWSKI M., 2010, Niekonwencjonalne metody wytwarzania mikro narzędzi, Mechanik, 5-6, 436-442.
  • [16] KOZAK J., 2006, Technika mikrosystemów i wybrane metody, Świat Obrabiarek, 1/4-5, 9-15.
  • [17] SUNGIL CHUNG, YONGGWAN IM, JAEYOUNG CHOI, HAEDO JEONG, 2004, Microreplication techniques using soft lithography, Microelectronic Engineering, 75, 194-200.
  • [18] KOCK M., KLAMMROTH V., CAGON L., Fritz - Haber - Institut der Max - Planck - Gesellschaft, Germany.
  • [19] www.elektronikab2b.pl.
  • [20] www.y-micro.com.
  • [21] www.jauvtismp.com.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-LOD6-0031-0028
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.