Zmodyfikowany model Masona piezoelektrycznych przetworników do wzbudzania fal Lamba w krzemowych membranach

• Autorzy: Gołębiowski J.

Warianty tytułu

EN

Modified Mason's model of piezoelectric transducers for generation Lamb weves in silicon membrane

• Konferencja: Międzynarodowa Konferencja Metrologów MKM 2001 (XXXIII ; 10-13.09.2001 ; Łódź-Arturówek, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Do generacji fal ultradźwiękowych typu Lamba w membranowych mikroczujnikach stosowane są często międzypalczaste przetworniki piezoelektryczne (IDT). Przedstawiono modele przetworników, które mogą być zastosowane do analizy pracy membranowych mikroczujników. Zmodyfikowany model Masona dla przetworników fal objętościowych użyto do modelowania przetworników IDT generujących fale Lamba. Przedstawiono charakterystyki częstotliwościowe tego modelu przetwornika.

EN

The interdigital piezoelectric transducers (IDT) are used in the microsize membrane silicon sensors to the generation of the ultrasonic Lamb-type waves. It was presented the models of piezoelectric transducers, which can be used to analyse the work membrane sensors. Modified Mason's model of bulk waves' interdigital transducers was used for the modelling of generating Lamb waves IDT transducers.

Słowa kluczowe

PL

model Masona; fale Lamba; membrana; przetwornik piezoelektryczny

EN

Mason's model; Lamb waves; membrane; piezoelectric transducer

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Łódzkiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe. Elektryka / Politechnika Łódzka
• Rocznik: 2001
• Tom: z. 99
• Strony: 31--40
• Opis fizyczny: Bibliogr. 14 poz.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

• Instytut Elektrotechniki Teoretycznej, Metrologii i Materiałoznawstwa PŁ

Bibliografia

• [1] Bahr AJ., Lee R.E.: Equivalent-curcuit model for interdigital transducers with varing electrode widths. Electron.Lett., vol.9, no.13, 1973, str.281-282.
• [2] Benes E., Gröschl M., Burger W., Schmid M.: Sensors based on piezoelectric resonators. Sensors and Actuators, A48, 1995, str.1-21.
• [3] Gołębiowski J.: Silicon membrane sensors based on piezoelectric resonators. Proc. of the 6 MIXDES Design of Integrated Curcuits and Systems MIXDES’99. Kraków, 1999, str.285-288.
• [4] Gołębiowski J.: Model membranowego czujnika z przetwornikami piezoelektrycznymi do generacji i detekcji ultradźwiękowych fal płytowych typu Lamba. Kwartalnik Elektroniki i Telekomunikacji, 45, z.2, 1999, str. 203-223.
• [5] Gołębiowski J.: Modelling of the interdigital transducers generating the ultrasonic plate waves in silicon microsensors’ membranes. Proc. of 4,h World Conference on Circuits, Systems, Communications & Computers (CSCC 2000), Ateny, 2000, str.231- 234.
• [6] Gołębiowski J.: Propagacja fal ultradźwiękowych typu Lamba w wielowarstwowych membranach krzemowych czujników. Krajowy Kongres Metrologii KKM’98, Gdańsk, 1998, str.207-213.
• [7] Mason W.P.: Physical acoustics- principles and methods. New York, Akademie Press, vol.6, 7 (1970), vol.10 (1973).
• [8] Martin B.A., Wenzel S.W., White R.M.: Viscosity and density sensing with ultrasonic plate waves. Sensors and Actuators, vol.A21-23, 1990, str.704-708.
• [9] Nakamoto T., Moriizumi T.: A theory of a Quartz crystal microbalance based upon a Mason equivalent circuit. Jap. J. of App. Physics, vol.29, no.5, 1990, str.963-969.
• [10] Sakamura J.,Yamada K.,Nakamura K.: Equivalent network analysis of functionally graded piezoelectric transducers. Jap. J. of App. Phys., vol.39, no.5B, 2000, str.3150- 3152.
• [11] Smith P.M., Cambell C.K.: A theoretical and experimental study of low-loss SAW filters with interdigitated interdigital transducers. IEEE Trans, on Ultrason., Ferroelec., and Freq. Control, vol.36, no.1, 1989, str.10-15.
• [12] Smith W.R. Pedler W.F.: Fundamental and harmonic frequency circuit-model analysis of intredigital transducers with arbitrary metallization ratios and polarity sequences. IEEE Trans.Microwave Theory Tech., MTT-23, no. 11, 1975, str.853-864.
• [13] Smith W.R.: Experimental distinction between crossed-field and in-line three port circuit models for intredigital transducers. IEEE Trans.Microwave Theory Tech., vol.MTT-22, 1974, str.960-964.
• [14] Toda K., Fuijta T: Mechanical displacement measurement using a leaky Lamb wave delay line oscilator. Jpn. J. Appl.Physic, vol.39, n0.5B, 2000, str.3097-3100.