Analiza pól elektrycznych w piezoelektrycznych przetwornikach do wzbudzania fal Lamba

• Autorzy: Gołębiowski J.

Warianty tytułu

EN

Analysis of electric fields in piezoelectric transducers for Lamb waves generation

• Konferencja: Międzynarodowa Konferencja Metrologów MKM 2001 (XXXIII ; 10-13.09.2001 ; Łódź-Arturówek, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Do generacji fal ultradźwiękowych typu Lamba w membranach wykonanych na podłożach krzemowych stosowane są często międzypalczaste przetworniki piezoelektryczne (IDT). Pole elektryczne w warstwie piezoelektrycznej przetwornika ma decydujący wpływ na jego właściwości. Analizowano rozkład pola elektrycznego w cienkich warstwach piezoelektrycznych naniesionych na membrany krzemowe. Na podstawie przeprowadzonej analizy zaproponowano model przetwornika do generacji fal Lamba.

EN

The interdigital piezoelectric transducers (IDT) are used in the microsize membrane silicon sensors to the generation of the ultrasonic Lamb-type waves. The distribution of the electric fields in thin piezoelectric layers deposition on the silicon membranes was analysed.

Słowa kluczowe

PL

przetwornik piezoelektryczny; model Masona; fale Lamba; membrany krzemowe

EN

piezoelectric transducer; Mason's model; Lamb waves; silicon membranes

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Łódzkiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe. Elektryka / Politechnika Łódzka
• Rocznik: 2001
• Tom: z. 99
• Strony: 23--30
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

• Instytut Elektrotechniki Teoretycznej, Metrologii i Materiałoznawstwa PŁ

Bibliografia

• [1] Gołębiowski J.: Model membranowego czujnika z przetwornikami piezoelektrycznymi do generacji i detekcji ultradźwiękowych fal płytowych typu Lamba. Kwartalnik Elektroniki i Telekomunikacji, 45, z.2, 1999, str. 203-223.
• [2] Smith W.R., Gerard H.M., Collins J.H., Reeder T.M., Shaw H.J.: Analysis of interdigital surface wave transducers by use of an equivalent circuit model. IEEE Trans.Microwave Theory Tech., MTT-17, no.ll, 1969, str.856-864.
• [3] Smith W.R. Pedler W.F.: Fundamental and harmonic frequency circuit-model analysis of intredigital transducers with arbitrary metallization ratios and polarity sequences. IEEE Trans.Microwave Theory Tech., MIT-23, no.ll, 1975, str.853-864.
• [4] Smith W.R.: Experimental distinction between crossed-field and in-line three port circuit models for intredigital transducers. IEEE Trans.Microwave Theory Tech., vol.MTT-22, 1974, str.960-964.
• [5] Gołębiowski J.: Propagacja fal ultradźwiękowych typu Lamba w wielowarstwowych membranach krzemowych czujników. Krajowy Kongres Metrologii KKM’98, Gdańsk, 1998, str..207-213.
• [6] Gołębiowski J.: Fabrication of the membranes on a silicon base for the sensors with the ultrasonic waves Lamba-type generated by using the interdigital transducers. Archives of Acoustic, no.4, 2000, str.479-486.
• [7] Costagama E.: On the numerical inversion of the Schwarz-Christoffel conformal transformation, IEEE Trans, on Microwave nad Theory, vol.MTT-35, no.l, 1987, str..35-40.
• [8] Jin Y., Joshi S.G.: Coupling of interdigital transducer to ultrasonic Lamb waves. Appl.Phys.Lett., vol.58, no.17, 1991, ss.1830-1832.
• [9] Kanbara H., Kobayashi H., Nakamura K.: Analysis of piezoelectric thin film resonators with acoustic quarter-wave multilayers. Jpn.J.Appl.Phys., vol.39, no.5B, 2000, str. 3049-3054.
• [10] Nakamoto T., Moriizumi T.: A theory of a Quartz crystal microbalance based upon a Mason equivalent circuit. Jap. J. of App. Physics, vol.29, no.5, 1990, str.963-969.