Model pewnych zjawisk zachodzących podczas syntezy warstw węglowych - możliwość wpływu na jakość uzyskiwanych warstw

• Autorzy: Langer M.

Warianty tytułu

EN

The model of some phenomena during carbon films depositing - the possibility to control the quality of the obtained films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedmiotem rozważań niniejszej pracy jest niskociśnieniowa synteza warstw węglowych typu DLC z plazmy węglowodorowej, wzbudzonej w polu elektrycznym wysokiej częstotliwości. Zbadano niektóre właściwości warstw DLC w funkcji położenia na elektrodzie wysokiej częstotliwości. Stwierdzono występowanie istotnych zmian tych warstw. Dla większości zastosowań, szczególnie w elektronice lub optoelektronice, niezbędne jest, by nanoszone warstwy były jednorodne. Zastosowano metodę elementów skończonych dla pokazania zmiany kształtu pola elektrycznego i stwierdzono korelację zmian własności warstw DLC ze zmianami kształtu tego pola. Podjęto już próby aplikacji uzyskiwanych warstw a zastosowanie komory i elektrody w.cz. o odpowiedniej geometrii, zgodnie z wynikami modelu, znacznie poprawiło ich jednorodność.

EN

The method of low pressure synthesis of carbon films with diamond-like carbon (DLC) structure, that are obtained from hydrocarbon radio frequency plasma has been studied here. Some properties of the films have been examined especially as the function of the placing the sample on the rf electrode. The essential changes in the range of these properties have been found. For electronic or optic applications, as well as for many others, it is extremely important to obtain the homogeneity of the whole film. The finite elements method has been applied to show the changes of the electric field shape. The correlation has been found between the changes of the DLC films' properties and the ones of the field shape. Some applications of the films have been implemented already. The obtained results have shown that the chamber and the rf electrode with a special geometry improved this homogeneity of the deposited layers significantly.

Słowa kluczowe

PL

plazma węglowodorowa; synteza warstw węglowych; warstwy DLC; DLC; pole elektryczne

EN

hydrocarbon plasma; synthesis of carbon films; DLC films; diamond-like carbon; electric field

• Wydawca: Politechnika Łódzka, Instytut Elektroniki
• Czasopismo: Elektronika : prace naukowe
• Rocznik: 1998
• Tom: nr 3
• Strony: 243--254
• Opis fizyczny: Bibliogr. 13 poz.

Twórcy

autor

Langer M.

• Instytut Elektroniki Politechniki Łódzkiej