Mikromechatronika. Mikrochwytaki do mikromontażu systemów MEMS

• Autorzy: Dindorf R.

Warianty tytułu

EN

Micromechatronics. Microgrippers for micro-assembly of MEMS

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opisano zalety mechatroniki w projektowaniu mikrochwytaków używanych do mikromontażu systemów mikroelektromechanicznych (MEMS). Opisano podstawowe systemy mikromontażu. Podano przykłady różnych mikrochwytaków z mikroprzetwornikami (mikroaktuatorami).

EN

The paper deals with mechatronic approach to the design of micro grippers used in micro-assembly of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). The basic micro-assembly systems are described. The examples of several solutions for micro grippers with micro-actuators are presented.

Słowa kluczowe

PL

mikromontaż; mikromechatronika

EN

microassembly; micromechatronics

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Hydraulika i Pneumatyka
• Rocznik: 2009
• Tom: nr 5
• Strony: 11--18
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Dindorf R.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków,

Bibliografia

• [1] Baechi A.: Suspension handling system, a micromachined channel network with integrated actuators and sensors. ETH Dissertation. Shaker Verlag, Basel 200l.
• [2] Bechtold S.: Kompakte Modellierung von thermischen Effekten in Mikrosystemen. Dissertation. Universität Bremen 2003.
• [3] Dindorf R, Wołkow J.: Mikrohydraulika. Hydraulika i Pneumatyka, z. 6/1999.
• [4] Dindorf R, Wołkow J.: Mikroprzetworniki w układach płynowych. Hydraulika i Pneumatyka, z. 3/2001.
• [5] Dindorf R.: Kierunki rozwoju i zastosowania mikrorobotyki. Pomiary Automatyka Robotyka, z. 10/2001.
• [6] Dindorf R.: Methods of manufacture and assembly of fluid microelements. Advances in Manufacturing Science and Technology. Vol. 25, No. 3,2001.
• [7] Dindorf R.: Zastosowanie mikrozaworów w układach pneumatycznych. Pneumatyka, z. 3,2002.
• [8] Dindorf R.: Specjalne chwytaki płynowe. Hydraulika i Pneumatyka, z.3/2006.
• [9] Dindorf R.: Zagadnienia montażu mikrozaworów pneumatycznych. Napędy i Sterowanie, z. 7-8/2007.
• [10] Goll C., Bacher W., Menz W., Schomburg W. K.: Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen für pneumatische Anwendungen. FZKA 5902. TU Karlsruhe, 1999.
• [11] Fatikow S., Rembold D.: Mikrosystem Technology and Microrobotiks. Springer Verlag, Berlin 1997.
• [12] Messner S.: Elektrostatisch angetriebenes 3/2-Wege-Mikroventil für pneumatische Anwendungen. Diss. TU Freiburg 2000.
• [13] Monkman G.J., Hesse S., Steinman R., Schunk J.: Robot Grippers. WILEY-VCH Verlag GmbH&Co&KGaA, Weinheim 2007.
• [14] Qiao F.: Biologisch inspirierte mikrotechnische Werkzeuge für die Mikromontage und die Minimal-Invasive Chirurgie. Diss. Technische Universität Ilmenu, Ilmenau 2003.
• [15] Salim, R: Gestaltung und mikrotechnische Realisierung von Mikrogreifern. Technische Universität Ilmenau, Dissertation, Ilmenau 1997.
• [16] Zoppig V.: Entwurf von Miniaturgreifern ais mechatronische Systeme. TU Ilmenu 2002.
• [17] Effiziente Mikromontage in kleinen Stückzahlen durch Telepräsenz. Newsletter IWB Nr.2, Juni 2004.