Zastosowanie pomp w technologii MEMS

• Autorzy: Skrzyniarz S. , Jędrzykiewicz Z.

Warianty tytułu

EN

Application of MEMS micropumps

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Określono wielkości elementów i układów klasyfikowanych w grupie MEMS. Objaśniono skrót MEMS. Opisano zasadę działania mikropomp membranowych, zębatych, perystaltycznych, wiskotycznych, ultradźwiękowych, elektroosmotycznych, elektrodynamicznych (EHD) i magnetodynamicznych (MHD), wskazując na możliwości ich zastosowania.

EN

This article describes what MEMS means and what history this term is, and what sizes microdevices and microsystems are. It has been described MEMS market value and percent share of particular solutions in the MEMS market and new market trends. Moreover we show principle of operation and applications of the selected micropumps: gear, peristaltic, viscous, ultrasonic, electro-osmotic, e1ectro-hydrodynamic (EHD) and magneto-hydrodynamic (MHD).

Słowa kluczowe

PL

pompy; MEMS; mikropompy

EN

pumps; MEMS; micropumps

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Hydraulika i Pneumatyka
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 6
• Strony: 9--14
• Opis fizyczny: Bibliogr. 25 poz., rys.

Twórcy

autor

Skrzyniarz S.

autor

Jędrzykiewicz Z.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Wydział Inżynierii Mechanicznej i Robotyki Kraków,

Bibliografia

• [1] Andresson H., Wouter van der Wijngaart, Peter Nilsson, Peter Enoksson, Goran Stemme: A valve-less diffuser micropump for microfluidic analytical systems. Elsevier 2000.
• [2] Bałon P., Żółkoś R.: Mikrohydraulika i mikropneumatyka w świetle literatury. Praca dyplomowa magisterska, Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków 2004.
• [3] Hasło słownikowe "BioCHIP". http://pl.wikipedia.org/wiki/Biochip.
• [4] Blanchard D. Ugrani P.: Comparisons of different viscous pump based on physical flow behavior. Elsevier 2005.
• [5] Chuan-Hua c., Santiago J. G.: A Planar Electroosmotic Micropump, Journal of Microelectromechanical. IEEE 2002.
• [6] Dindorf R., Wołkow J.: Systemy płynowe w inżynierii medycznej. Ossolineum, Wrocław 1999.
• [7] Dindorf R., Wołkow J.: Mikroprzetworniki w układach płynowych. Hydraulika i Pneumatyka 3/2001 str. 17-20.
• [8] Doll A., Heinrichs M., Goldschmidtboeing F., Schrag H. J., Hopt U. T., Woias P.: A high performance bidrictional micropump for anovel artifical sphincter system. Elsevier 2005.
• [9] GII Express: Global MEMS/Microsystems Markets and Opportunities. http://www.giiexpress.com/products/yd49640/
• [10] Helvajian H.: Microengineering Aerospace Systems. http://www. aero.org/publications/helvajian/helvajian- 3 .html.
• [11] Hasło słownikowe" Układ scalony". http://pl.wikipedia.org/wiki/ Układ_scalony.
• [12] Lyshevski S. E.: MEMS and NEMS System Devices and Structures. CRC Press, Washington 2002.
• [13] Bin M. B., Liu S., Gan Z., Liu G., Cai X., Zhang H., Zhigang Y: A PZT insulin pump integereted with a silieon microneedle array for transdermal drug delivery. Springer-Verlag 2006.
• [14] Maluf N., Williams K.: An introduction to Microelectromechanical Systems Engineering - 2nd edition. Artech House, London 2004.
• [15] Hasło słownikowe "MEMS". http://pl.wikipedia.org/wiki/MEMS
• [16] Miller R. S.: Quo Vadis in Century XXI?. Elsevier 2000.
• [17] Nguyen N-T., Huang X., Chuan T. K: MEMS-Micropumps: A Review. ASME 2002
• [18] Olsson A., Stemme G., Stemme E.: A valve-less planar fluid pump with two pump chamber. Elsevier 1995
• [19] Patch K.: Tiny jaws snatch cells. http://www.trnmag.com/Stories/ 2001/1 0030 l/Tiny_iaws_snatch_cells_l0030 l.html
• [20] Romaniuk R.: Studia nad światłowodami kształtowanymi. http:// www.ise.pw.edu.pl/-rrom/papers/intro. pdf
• [21] Proceedings, apos: An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotsapos. IEEE, Salt Lake City1989.
• [22] Galeria mikromaszyn Sandia National Laboratories. http://mems. sandia.gov Iscripts/images .asp
• [23] Shandle J.: MEMS on the Move Success in several key market segments promises a brighter future for a slowly evolving technology. http://www.eeproductcenter.com/show Artic1e. jhtml ?artic1eID= 192200306
• [24] Zbiór referatów wygłoszonych w 2003 roku w ramach Szkoły Naukowej Obróbek Erozyjnych Politechniki Warszawskiej, Zeszyt nr 9. http://snoe.meil.pw.edu.pl/index.php?option=content&task=view&id=17&Itemid=50
• [25] Woias P.: Micropump - past, progress and future prospects. Elsevier 2004.