Charakteryzacja warstw węglowych wytwarzanych metodą MW/RF PACVD

• Autorzy: Kaczorowski W. , Niedzielski P. , Cłapa M. , Mitura S.

Warianty tytułu

EN

Characteriyation of carbon coatings deposited bz MW -RF PACVD method

• Konferencja: Ogólnopolska Konferencja Naukowa "Obróbka Powierzchniowa" Surface Treatment" (VI; 20-23.09.2005; Kule k. Częstochowy, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono nową metodę nanoszenia warstw węglowych, wykorzystującą moc wyładowania częstości radiowej i mikrofalowej. Opisano budowę stanowiska wraz z parametrami procesów, które zostały poddane optymalizacji w celu wytworzenia jednolitych powłok na stali medycznej AISI 316 L z zastosowaniem różnych mieszanin gazów (metanu - CH4 albo metanu z argonem - CH4/Ar). Metoda MW /RF P ACVD (Microwave/Radio Frequency Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition) umożliwiła wytwarzanie powtarzalnych warstw z dużą zawartością fazy diamentowej 0 nanokrystalicznej strukturze. Badania morfologii zostały przeprowadzone z użyciem mikroskopii optycznej, skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) i mikroskopu sił atomowych (AFM). Spektroskopia ramanowska zostala użyta do analizy składu fazowego wytwarzanych warstw. W pracy tej zostały opisane szczegóły eksperymentu oraz uzyskane wyniki.

EN

In this paper, new method of deposition of carbon coatings were presented. A dual mode microwave/radio frequency plasma system and parameters of deposition were described. The plasma parameters were optimized to get uniform coatings on the stainless steel AISI 316 L. These coatings were deposited from different mixtures of gases: methane/ argon- CH4/Ar and methane - CH4. The investigations of deposition have shown, that it was possible created the repeatable coating with high sp' content and nonocrystalline structures. Optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) techniques were used to analyze the morphology and structure deposited layers. Raman spectroscopy was applied to identify phases present in the coatings. In this paper experimental details and results were described.

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 26, nr 5
• Strony: 239--241
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Kaczorowski W.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Niedzielski P.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Cłapa M.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

autor

Mitura S.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

Bibliografia

• [1] Gołąbczak, P. Niedzielski : Application of hard carbon coating made by dense plasma RF CVD method for increase of life metal slitting saws, Journal of Chemical Vapor Deposition, 3 (1995), 332-341
• [2] W. Kaczorowski, P.Niedzielski, P. Couvrat: Hard carbon coating for cutting aluminium alloys, Journal of Superhard Materials, w druku;
• [3] S. Mitura, A. Mitura, P. Niedzielski, P. Couvrat: Nanocrystalline diamond coating, Nanotechnology in Materials Science, Pergamon Press, Elsevier 200, 2165-2176;
• [4] K. Bąkowicz, S. Mitura: Biocompatibility of NCD, Journal of Wide Bandgap Materials 9 (2002) 261-272;
• [5] T. Guzdek , J. Schmidt, M. Dudek, P. Niedzielski: NCD films as an active gate layer in chem FAT structures, Diamond and Related Materials 13 (2004) 1059-1061;
• [6] W. Kaczorowski, P. Niedzielski, S. Mitura: Wytwarzanie warstw węglowych w nowym reaktorze MW/RF, Inżynieria Biomateriałów, 43-44 (2005) 28-32.