Optical Followers Fidelity in Surface Topography Measurements

• Autorzy: Wieczorowski M.

Warianty tytułu

PL

Wierność odwzorowania podążaczy optycznych w pomiarach topografii powierzchni

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper presents a comparative analysis of three different probes used for surface topography measurement. Skid and skidless stylus probes were used as contact pick-ups, while an optical autofocussing pick-up was applied as a non-contact one. The analysis showed that a skid causes some relatively small distortions as far as the surface representation is concerned. The optical probe proved to give unambiguous results, particularly for surfaces with steep slopes and sharp edges.

PL

Dokonano porównania trzech różnych głowic do pomiarów topografii powierzchni. Zastosowano głowicę stykową ze ślizgaczem i bez ślizgacza oraz głowicę optyczną pracującą na zasadzie autoogniskowania. Przeprowadzona analiza pokazała, że ślizgacz powoduje jedynie nieznaczne zaburzenia w odwzorowaniu powierzchni. Głowica optyczna natomiast powodowała czasem sprzeczne wyniki, zwłaszcza na powierzchniach o ostrych zboczach i krawędziach.

Słowa kluczowe

EN

surface topography; optical followers; profilometry

PL

topografia powierzchni; podążacze optyczne; profilometria

• Wydawca: Dział Wydawnictw Wyższej Szkoły Morskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe / Wyższa Szkoła Morska w Szczecinie
• Rocznik: 2003
• Tom: nr 68
• Strony: 407--416
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Wieczorowski M.

• Politechnika Poznańska Instytut Technologii Mechanicznej Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych 61-542 Poznań, pl. Skłodowskiej-Curie 5,

Bibliografia

• 1. Breitmeier U., Ahlers R.J.: Dynamically focusing electro-optical sensor-system for microprofilometry. Proceedings of the SPIE, 802, 1987, 170-173.
• 2. Breitmeier U.: Lichtrastermikroskopie zur flächigen Beurteilung von Oberflächen. Microtecnic 3, 1992, 28-31, (in German).
• 3. Brodmann R. Smilga W.: Evaluation of commercial microtopography sensor. Proceedings of the SPIE, 802, 1987, 165-169.
• 4. Chajda J., Cellary A. , Wieczorowski M.: A neccessity of three-dimensional surface stereometry characterisation, but by means of laser optical probe. Proc. XIII IMEKO World Congress, Torino, Italy, 1994, 1748-1753.
• 5. Dong W.P., Mainsah E., Stout K.J.: Reference planes for the assessment of surface roughness in three dimensions. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 35, 1995, 263-271.
• 6. Gusek B., Bartelt R., Hoffmann W.: Ein Mikrotaster erfasst berührungslos profile im optischen tastschnitt. Feinwerktechnik & Messtechnik, 98, 1990, 401-405, (in German).
• 7. Mattsson L., Wagberg P.: Assessment of surface finish on bulk scatiering materials: a comparison between optical laser stylus and mechanical stylus profilometers. Precision Engineering, 15, 1993, 141-149.
• 8. Sayles R.S., Wayte R.C.: Tweedale P.J., Briscoe B.J.: The design, construction and commissioning of an inexpensive prototype laser optical profilometer Surface Topography, 1, 1988, 379-387.
• 9. Stout K.J. et al.: The Development of Methods for the Characterisation of the Roughness in Three Dimensions. published on behalf of the Commission of the European Communities, 1993, Brussels.