Właściwości akustycznych fal powierzchniowych w płaszczyźnie Z kryształu GaN

• Autorzy: Soluch W. , Łysakowska M. , Brzozowski E.

Warianty tytułu

EN

Properties of surface acoustic waves in Z plane of GaN crystal

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów właściwości akustycznych fal powierzchniowych (AFP) w płaszczyźnie Z półizolacyjnego kryształu GaN. Z porównania zmierzonej i obliczonej charakterystyki amplitudowej linii opóźniającej uzyskano prędkość 3845 m/s i współczynnik sprzężenia elektromechanicznego 0,25%. Temperaturowy współczynnik częstotliwości, wyznaczony z pomiarów w zakresie temperatur -20...80º C, wynosi około -23 ·10 ⁻⁶/ºC.

EN

Results of calculations and measurements of surface acoustic wave (SAW) properties in the Z plane of semiinsulating GaN crystal are presented. By matching the measured and calculated amplitude responses of a delay line, a velocity and an electromechanical coupling coefficient of about 3845 m/s and 0.25%, respectively, were obtained. A temperature coefficient of frequency (TCF), measured in the temperature range from -20...80ºC, is about -23 ppm/ºC.

Słowa kluczowe

PL

kryształy piezoelektryczne; kryształ GaN; akustyczne fale powierzchniowe

EN

piezoelectric crystals; GaN crystal; surface acoustic waves

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 12
• Strony: 117--118
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz.

Twórcy

autor

Soluch W.

autor

Łysakowska M.

autor

Brzozowski E.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa

Bibliografia

• [1] IEEE Standard on Piezoelectricity. IEEE Trans. Sonics Ultrason., vol. SU-31, no. 2, 1984, p.16.
• [2] Kyma Technologies, Inc., Raleigh, NC, USA.
• [3] Ambacher O.: Growth and applications of group III-nitrides. J. Phys. D, vol. 31, 1998, pp. 2653-2710.
• [4] Campbell J. J, W. R. Jones W. R.: Propagation of piezoelectric surface waves on cubic and hexagonal crystals. J. Appl. Phys., vol. 47, No. 7, 1970, pp. 2796-2801.
• [5] Łysakowska M., Soluch W.: Obliczenia parametrów akustycznych fal powierzchniowych w kryształach piezoelektrycznych. Elektronika, nr 10, 1997, ss. 14-16.
• [6] Soluch W.: Design of SAW delay lines for sensors. Sensors and Actuators A, vol. 67, 1998, pp. 60-64.