SMARTIEHS : interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MOEMS

• Autorzy: Gastinger K. , Kujawińska M. , Zeitner U. D. , Michael S. , Gorecki C.

Warianty tytułu

EN

SMARTIEHS : the interferometric test station for parallei inspection of MEMS and MOEMS

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono nową koncepcję systemów pomiarowych do charakteryzacji urządzeń MEMS i MOEMS rozwijaną w ramach projektu finansowanego przez Unię Europejską pod tytułem "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). Celem projektu jest specjalna kompaktowa konstrukcja wielozadaniowego stanowiska interferometrycznego pozwalającego na bezdotykowe i szybkie wykonywanie pomiarów na badanych obiektach dzięki multiplikacji optycznych kanałów głowic pomiarowych. W projekcie rozwijane są dwa typy głowic pomiarowych. Pierwsza z nich bazuje na konstrukcji interferometru Mireau, a zasadę działania opiera na interferencji światła z obniżonym stopniem koherencji czasowej. Druga głowica jest interferometrem laserowym w konfiguracji Twymana-Greena zbudowany ze specjalnie zamodelowanych struktur dyfrakcyjnych.

EN

Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based Mireau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometr Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture require custom designed diffractive optical elements.

Słowa kluczowe

PL

pomiary MEMS/MOEMS; mikrooptyka; interferometria laserowa; dyfrakcyjny element optyczny; interferencja z obniżonym stopniem koherencji czasowej; koherencja czasowa

EN

MEMS/MOEMS testing; microoptics; laser interferometer; diffractive optical elements; low-coherence interferometry

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 159--161
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Gastinger K.

autor

Kujawińska M.

autor

Zeitner U. D.

autor

Michael S.

autor

Gorecki C.

• SINTEF Norwegia

Bibliografia

• [1] www.ict-smartiehs.eu
• [2] Gastinger K. i in.: SMARTIEHS-Smart inspection system for high-speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS. Proc. 14th Micro Optics Conference 2008-(MOC'08), Brussels, Belgium, vol. 14. 2008. 194-195.
• [3] Beer S. i in.: Smart pixels for real-time optical coherence tomography. Proc. SPIE vol. 5302. 2004. 21-32.
• [4] Gastinger K. i in.: Design of a micro-optical low coherent interferometer array for the characterisation of MEMS and MOEMS. The 6th Int. Workshop on Advanced Optical Metrology. Springer Press. 2009. 611-617.
• [5] Józwik M. i in.: Optical design of a DOE-based laser interferometer for inspection of MEMS/MOEMS. The 6th Int. Workshop on Advanced Optical Metrology. Springer Press. 2009. 485-488.