Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Wytwarzanie struktur testowych MEMS aktuowanych elektrostatycznie
Języki publikacji
Abstrakty
This paper presents a novel processing approach for rapid prototyping of electrostatically-driven MEMS. This approach is likely to reduce both the prototyping costs and time. In principle, a single mask is used to generate both the electro-mechanical structure and metallization for electrical contacts. The electro- mechanical (movable) structures are released in a process called dry-release which is carried out by means of a DRIE etcher.
Artykuł opisuje nowatorski sposób szybkiego wytwarzania struktur testowych typu MEMS aktuowanych elektrostatycznie, który może w znacznym stopniu skrócić czas i zmniejszyć koszt wytwarzania tego typu struktur. Sposób ten polega na użyciu pojedynczej maski do wytworzenia zarówno struktury elektro-mechanicznej jak i doprowadzeń elektrycznych, które zostają uformowane i uwolnione w procesie trawienia jonowego zwanego dry-release.
Słowa kluczowe
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
114--115
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
- Instytut Technologii Elektronowej w Warszawie
Bibliografia
- [1] Tadigadapa S. A., Najafi N.: Developments in microelectromechanical systems (MEMS): Amanufacturing perspective. Journal of Manufacturing Science and Engineering-Transactions of the ASME, vol. 125, no. 4, 2003, pp. 816-823.
- [2] http://www.coventorware.com
- [3] http://www.intellisense.com
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAW-0005-0032