Rapid prototyping of electrostatically-driven MEMS

• Autorzy: Kaliciński S. , Janus P. , Bieniek T. , Domański K. , Ekwińska M. , Sierakowski A. , Szmigiel D. , Grabiec P.

Warianty tytułu

PL

Wytwarzanie struktur testowych MEMS aktuowanych elektrostatycznie

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper presents a novel processing approach for rapid prototyping of electrostatically-driven MEMS. This approach is likely to reduce both the prototyping costs and time. In principle, a single mask is used to generate both the electro-mechanical structure and metallization for electrical contacts. The electro- mechanical (movable) structures are released in a process called dry-release which is carried out by means of a DRIE etcher.

PL

Artykuł opisuje nowatorski sposób szybkiego wytwarzania struktur testowych typu MEMS aktuowanych elektrostatycznie, który może w znacznym stopniu skrócić czas i zmniejszyć koszt wytwarzania tego typu struktur. Sposób ten polega na użyciu pojedynczej maski do wytworzenia zarówno struktury elektro-mechanicznej jak i doprowadzeń elektrycznych, które zostają uformowane i uwolnione w procesie trawienia jonowego zwanego dry-release.

Słowa kluczowe

EN

MEMS; prototyping; DRIE etching

PL

MEMS; struktury testowe; trawienie jonowe

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 114--115
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz.

Twórcy

autor

Kaliciński S.

autor

Janus P.

autor

Bieniek T.

autor

Domański K.

autor

Ekwińska M.

autor

Sierakowski A.

autor

Szmigiel D.

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej w Warszawie

Bibliografia

• [1] Tadigadapa S. A., Najafi N.: Developments in microelectromechanical systems (MEMS): Amanufacturing perspective. Journal of Manufacturing Science and Engineering-Transactions of the ASME, vol. 125, no. 4, 2003, pp. 816-823.
• [2] http://www.coventorware.com
• [3] http://www.intellisense.com