Krzemowa mikropompka gazowa z napędem piezoelektrycznym

• Autorzy: Kowalski P. , Latecki P. , Gniazdowski Z. , Milczarek W. , Skwara K.

Warianty tytułu

EN

Piezoelectrically actuated gas silicon micropump

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono konstrukcję mikropompki gazowej, opartej na dynamicznych zaworach biernych typu nozzle. Napęd pompki stanowi element piezoelektryczny. W artykule przedstawiono charakterystki pompki: szybkość pompowania, maksymalne ciśnienie wsteczne oraz maksymalne podciśnienie na wlocie pompki w funkcji częstotliwości i amplitudy napięcia zasilania. Zbadano także charakterystyki temperaturowe mikropompki.

EN

In this paper the design of gas micropump based on dynamic "nozzle" types valves is presented. The pump is piezoelectrically actuated. The results of measurements such as: pumping rate, back pressure, pressure on the inlet as a function of frequency and amplitude of supply voltage are reported. The temperature of the pump during operation is investigated, too.

Słowa kluczowe

PL

mikropompka gazowa; aktywator piezoelektryczny

EN

gas micropump; piezoelectric actuator

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 80--82
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Kowalski P.

autor

Latecki P.

autor

Gniazdowski Z.

autor

Milczarek W.

autor

Skwara K.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Gerlach T.: Microdiffusers as dynamic passive valves for micropump application. Sensors and Actuators A, vol. 69, 1998, pp 181-191.
• [2] Gerlach T., Wurmus H.: Working principle and performance of the dynamic micropump. Sensors and Actuators A, vol. 50,1995, pp. 135-140.
• [3] Kowalski P. i inni: Piezoelektryczny napęd membran krzemowych. Elektronika 10/2007, ss. 81-86.
• [4] Schabmueller C. G. J.: Self-aligning gas/liquid micropump, J. Micromech. Microeng. vol. 12, 2002, pp. 420-A24.