Integrated thermal probe for SThM investigation of micro- and nanoelectronic devices

• Autorzy: Janus P. , Szmigiel D. , Wielgoszewski G. , Weisheit M. , Ritz Y. , Grabiec P. , Hecker M. , Gotszalk T. , Sulecki P. , Zschech E.

Warianty tytułu

PL

Zintegrowana sonda termiczna SThM do badań przyrządów mikro- i nanoelektronicznych

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In this paper, we present a novel micromachined Atomic Force Microscopy (AFM) micro-cantilever equipped with a sharp, conductive platinum tip. The processing sequence proposed in this article integrates a high reproducibility and precise post processing applying Focused Ion Beam tip modification. The cantilever is designed for Scanning Thermal Microscopy (SThM) applications in a standard setup with the optical AFM detection system.

PL

W artykule zaprezentowano nową konstrukcję dźwigni mikroskopu sił atomowych (AFM) wyposażoną w przewodzące, platynowe ostrze pomiarowe. Sekwencja technologiczna wytwarzania przedstawianej sondy integruje wysoką powtarzalność z precyzyjnym postprocessingiem ostrza za pomocą zogniskowanej wiązki jonów (ang. Focus Ion Beam). Prezentowana mikrosonda przystosowana jest do zastosowań w skanującym mikroskopie termicznym (ang. Scanning Thermal Micorscopy) ze standardową, optyczną detekcją ugięcia dźwigni. W artykule zaprezentowano proces technologiczny wytwarzania sondy oraz uzyskane wyniki pomiarów.

Słowa kluczowe

EN

atomic force microscopy (AFM); Scanning Thermal Probe

PL

mikroskopia sił atomowych; skanująca sonda termiczna

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 62--65
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., wykr.

Twórcy

autor

Janus P.

autor

Szmigiel D.

autor

Wielgoszewski G.

autor

Weisheit M.

autor

Ritz Y.

autor

Grabiec P.

autor

Hecker M.

autor

Gotszalk T.

autor

Sulecki P.

autor

Zschech E.

• Institute of Electron Technology, Warszawa

Bibliografia

• [1] Binnig G., Rohrer H.: Scanning tunneling microscopy. Helv. Phys. Acta., 55, 1982, 726-735.
• [2] Binnig G., Quate C. F., Gerber Ch.: Atomic Force Microscope. Phys. Rev. Lett., 56 (9), 1986, 930-933.
• [3] Dinwiddie R. B., Pylkki R. J.: Thermal Conductivity 22. Technomics, Lancaster PA, 1994, 668-677.
• [4] Szeloch R. F., Gotszalk T. P., Janus P: Scanning thermal microscopy in microsystem reliability analysis. Microelectronics Reliability, 42, 2002, 1719-1722.
• [5] Majumdar A.: Scanning Thermal Microscopy. Annual Rev. of Material Sciences, Vol. 29, 505-585.
• [6] www.coventor.com
• [7] Tien C. L., Majumdar A., Gerner F. M.: Microscale energy transport. Taylor & Francis, Inc., September 1997.
• [8] Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I. W.: Piezoresistive sensors for scanning probe microscopy. Ultramicroscopy, 82 (1-4), 2000, 39-48.
• [9] Veeco Instruments Thermal Analysis Nanoscale Material Characterization/Identification by AFM, <http://www.veeco.com/pdfs/database_pdfs/VITA_Final.pdf>.