Badania mikroskopowe nanostrukturalnych warstw palladowo-węglowych otrzymywanych w dwustopniowej metodzie PVD/CVD

• Autorzy: Rymarczyk J. , Kozłowski M. , Czerwosz E. , Kowalska E.

Warianty tytułu

EN

Research of microscopic structure of nanostructured layers Pd-C obtained in two-steps PVD/CVD method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Nowe nanostrukturalne materiały zbudowane z nanokrystalitów palladu i różnego typu nanokrystalitów węglowych uformowanych z różnych odmian postaci alotropowej węgla mają odmienne cechy od makroskopowych postaci tych materiałów. W Instytucie Tele- i Radiotechnicznym (ITR) opracowano dwustopniową metodę wytwarzania nanoporowatych warstw palladowo-węglowych, których właściwości pozwalają na zastosowanie ich w różnego typu czujnikach wodoru i/lub jego związków. Wyniki badań SEM i AFM tych warstw otrzymanych na różnych podłożach pokazują zależność ich budowy od parametrów procesu technologicznego.

EN

New nanostructured materials (C-Pd) formed of palladium nanocrystals and various types of carbon have features different from the macroscopic form of these materials. Pd-C films were obtained by 2-steps method on substrates with different topography in Tele and Radio Research Institute (ITR). Polycrystalline carbonaceous-nano-Pd film obtained in a first step - PVD process, was modified in a second step - CVD process. In result a film with highly developed surface was obtained. The structure and composition of prepared film is suitable for use them in various types of hydrogen and/or its compounds sensors. Scanning electron microscopy (SEM) and atomie force microscopy (AFM) studies results for Pd-C various films are presented in this paper. Structure, morphology and topography of obtained films is studied with these methods.

Słowa kluczowe

PL

nanowarstwy węglowe; pallad; PVD; CVD; czujniki wodorowe; SEM; AFM

EN

carbon nanoporous films; palladium; PVD; CVD; hydrogen detektor; SEM; AFM

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 46--49
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr.

Twórcy

autor

Rymarczyk J.

autor

Kozłowski M.

autor

Czerwosz E.

autor

Kowalska E.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Mandelis A., Christofides C.: Physics, chemistry, and technology of solid state gas sensor devices. Vol. 125 in Chem., Anal., A Series of Monographs on Analytical Chemistry and Its Applicztions, ed J. D. Winefordner, J. Wiley & Sons, 1993.
• [2] Collected Papers of Sir James Dewar - ed. CUP Archive.
• [3] Knott C. G.: Proc. R. S. Edinb., XII, p.181 (1888).
• [4] Vasashta A., Erdem A., Irudayaraj J.: Nanistructurew anad Advanced Materials, ed. Springer, pp. 391-394 (2005).
• [5] Czerwosz E., Kowalska E., Wronka H., Radomska J.: Patent notification. (2008) nr P384 591.
• [6] Kozłowski M., Diduszko R., Olszewska K., Wronka H., Czerwosz E.: Nanostructural palladium films for sensor application. Vacuum 82 (2008), 956-961.