Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Integration of Si-based sensors within a modular flow system
Języki publikacji
Abstrakty
W pracy przedstawiono wyniki eksperymentów związanych z opracowaniem zunifikowanego systemu obudów fluidycznych i czujników stężenia jonów, pH oraz temperatury w badanych roztworach. Struktury czujników wykonane były na płytkach krzemowych, a następnie zmontowane w wymiennych obudowach. Po zmontowaniu poddane zostały różnorodnym testom odpowiadającym zastosowaniom czujników. Potwierdzono możliwość poprawnej pracy czujników zintegrowanych w systemie. Podano wyniki pomiarowe poszczególnych elementów systemu.
Experimental results related to development of a unified system of fluidic packages and sensors for potentiometric, pH, and temperature measurements have been reported. The sensors have been manufactured on silicon wafers. Then they have been assembled in the replaceable packages. A number of experiments corresponding to the sensor applications have been done. Correct sensor operation within the integrated system has been approved. Measurement data for the system elements have been given and discussed.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
33--36
Opis fizyczny
Bibliogr. 4 poz., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
- Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa
Bibliografia
- [1] Zaborowski M., Jaroszewicz B., Janus P., Tomaszewski D., Grabiec P., Nikodem M., Wróblewski W.: pH and Temperature Microsensor for Biological Application. 20th EUROSENSORS, Goteborg 17-20.09.2006.
- [2] http://www.projectwarmer.eu/
- [3] Zaborowski M., Jaroszewicz B., i in.: Fabrication of MOS-Compatible Ion-Sensitive Devices for Water Pollution Monitoring (WARMER). Proc. 14th Int. Conf. MIXDES, June 21-23, Ciechocinek, pp.477-481.
- [4] Czetwertyński E., Utrysko B.: Hydraulika i hydromechanika. PWN, 1969.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAW-0005-0007