Integracja czujników na podłożu Si w modułowym systemie przepływowym

• Autorzy: Zaborowski M. , Tomaszewski D. , Jaroszewicz B. , Taff J. , Grabiec P.

Warianty tytułu

EN

Integration of Si-based sensors within a modular flow system

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono wyniki eksperymentów związanych z opracowaniem zunifikowanego systemu obudów fluidycznych i czujników stężenia jonów, pH oraz temperatury w badanych roztworach. Struktury czujników wykonane były na płytkach krzemowych, a następnie zmontowane w wymiennych obudowach. Po zmontowaniu poddane zostały różnorodnym testom odpowiadającym zastosowaniom czujników. Potwierdzono możliwość poprawnej pracy czujników zintegrowanych w systemie. Podano wyniki pomiarowe poszczególnych elementów systemu.

EN

Experimental results related to development of a unified system of fluidic packages and sensors for potentiometric, pH, and temperature measurements have been reported. The sensors have been manufactured on silicon wafers. Then they have been assembled in the replaceable packages. A number of experiments corresponding to the sensor applications have been done. Correct sensor operation within the integrated system has been approved. Measurement data for the system elements have been given and discussed.

Słowa kluczowe

PL

system przepływowy; czujnik potencjometryczny; ISFET; termometr diodowy

EN

fluidic system; potentiometric sensor; ISFET; diode thermometer

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 33--36
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Zaborowski M.

autor

Tomaszewski D.

autor

Jaroszewicz B.

autor

Taff J.

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Zaborowski M., Jaroszewicz B., Janus P., Tomaszewski D., Grabiec P., Nikodem M., Wróblewski W.: pH and Temperature Microsensor for Biological Application. 20th EUROSENSORS, Goteborg 17-20.09.2006.
• [2] http://www.projectwarmer.eu/
• [3] Zaborowski M., Jaroszewicz B., i in.: Fabrication of MOS-Compatible Ion-Sensitive Devices for Water Pollution Monitoring (WARMER). Proc. 14th Int. Conf. MIXDES, June 21-23, Ciechocinek, pp.477-481.
• [4] Czetwertyński E., Utrysko B.: Hydraulika i hydromechanika. PWN, 1969.