Czujnik gazu wykonany techniką LTCC

• Autorzy: Jurków D. , Golonka L. , Roguszczak H.

Warianty tytułu

EN

LTCC gas flow sensor

• Konferencja: 31 International Conference and Exhibition IMAPS Poland 2007 ; 23-26.09.2007 ; Rzeszów - Krasiczyn, Poland
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono nowy typ mikromechanicznego czujnika gazu wykonanego w technice niskotemperaturowej współwypalanej ceramiki (LTCC). Czujnik składa się z kanałów gazowych, komory z wałkiem i turbiny. Prędkość przepływu gazu jest mierzona metodą optyczną. Może być ona ustalona na podstawie pomiaru częstotliwości obrotu turbiny. Omówiono technikę pomiaru przepływu i konstrukcję czujnika.

EN

New type of a mechanical gas flow sensor made in Low Temperature Cofired Ceramics (LTCC) is presented in this paper. The sensor consists of a gas channel and a cavity with an axel and a turbine. The gas flow velocity is measured by the optoelectronic method. Rotational speed of the turbine depends on the gas velocity. The velocity can be calculated on the base of the frequency measurement. The procedure of the gas flow evaluation is presented in this article.

Słowa kluczowe

EN

gas; flow; sensor; LTCC

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 12
• Strony: 63--65
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Jurków D.

autor

Golonka L.

autor

Roguszczak H.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Gongora-Rubio M. R., Espinoza-Vallejos P., Sola-Laguna L., Santiago-Aviles J. J.: Overview of low temperature co-fired ceramics tape technology for meso-system technology (MsST). Sensors and Actuators A 89, pp. 222-241, 2001.
• [2] Gongora-Rubio M., Sola-Laguna L. M., Moffett P. J., Santiago-Avilés J. J.: The utilisation of low temperature co-fired ceramic (LTCC-ML) technology for meso-scale EMS, a simple thermistor based flow sensor. Sensors and Actuators A 73, pp. 215-221, 1999.
• [3] Peterson K. A., Patel K. D., Ho C. K., Rohde S. B., Nordquist C. D., Walker C. A., Wroblewski B. D., Okandam M.: Novel microsystem applications with new techniques in Low Temperature Co-Fired Ceramics. International Journal of Applied Ceramics Technology, vol. 2, pp. 345-363, 2005.
• [4] Peterson K. A., Patel K. D., Ho C. K., Rohrer B. R., Nordquist C. D., Wroblewski B. D., Pfeifer K. B.: LTCC microsystems and microsystem packaging and integration applications. Proc. IMAPS/AcerS 2nd Int. Conf. and Exhib. on Ceramic Interconnect and Cer. Microsystem Technologies (CICMT), Denver (USA), April 2006.
• [5] Jurków D., Golonka L. J., Roguszczak H.: LTCC gas flow detector. Proc. European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC), Oulu (Finlandia), pp. 204-207, 2007.