Kształtowanie rozkładu energii na powierzchni tygla przez padającą wiązkę elektronów odchylaną pod dużymi kątami w urządzeniu EB PVD

• Autorzy: Sielanko W. , Czopik A. , Kozłowski M. , Jędrzejczyk M.

Warianty tytułu

EN

Forming of energy distribution on the crucible surface under incident electron beam deflected in large angles in EB PVD devices.

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono sposób kształtowania energii wiązki elektronów (WE) w urządzeniach EB PVD, odchylanej pod dużymi kątami od osi wyrzutni w kierunku zestawu tygli, z których parowany jest materiał. Równomierny rozkład energii WE jest warunkiem otrzymywania tą metodą warstw powierzchniowych wysokiej jakości.

EN

The article presents the method of electron beam energy distribution in EB PVD devices deflected in large angles relative to the electron gun axis directed at a crucible matrix from which the material is evaporated. The uniform energy distribution of EB is the essential condition of high quality surface layer deposited by this method.

Słowa kluczowe

PL

wiązka elektronów; układ odchylania; EB-PVD

EN

electron beam; deflection system; EB-PVD

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 69--73
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Sielanko W.

autor

Czopik A.

autor

Kozłowski M.

autor

Jędrzejczyk M.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Osadzanie próżniowe z fazy lotnej. Metalizacja płytek krzemowych. Materiały do ćwiczeń. PIE, Zakład Przyrządów Półprzewodnikowych, Lab. Mikrotechnologii, 2005.
• [2] http://www.paton icebt.kiev.ua
• [3] Czopik A., Olszewska K., Sielanko W., Wójcicki S.: Systemy sterowania i kontroli procesu spawania wiązką elektronów. Elektronika 4, 2004, 27-32.
• [4] Czopik A., Kozłowski M., Sielanko W., Olszewska K., Krawczyk S., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Kowalski J., Wójcicki S., Sobolewski A., Wronka H.: Sterowanie odchylaną pod dużymi kątami wysokoenergetyczną WE w zastosowaniu do urządzeń EB PVD. Spraw. wew. z realizacji pracy statutowej, PIE, 2007.
• [5] Sielanko W., Czopik A., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Krawczyk S., Kozłowski M.: Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB PVD. Przyjęte do druku w czasopiśmie Problemy Eksploatacji.