Źródło zneutralizowanej wiązki jonów i możliwości jego zastosowania do mikro- i nanomodyfikacji powierzchni stali i tytanu

• Autorzy: Wilk J. , Kamiński K. , Kowalski Z. W.

Warianty tytułu

EN

Source of neutralized ion beam and its application possibility to micro- and nanomodification of steel and titanium surface

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zaprezentowano wyniki badań jarzeniowej wyrzutni z wnękową anodą, będącej źródłem zneutralizowanej wiązki jonów argonu i kryptonu, których celem była optymalizacja konstrukcji układu elektrod i warunków pracy urządzenia oraz ocena możliwości jego zastosowania do modyfikacji właściwości morfologicznych powierzchni stali nierdzewnej i tytanu w skali mikro- i nanometrowej. Zneutralizowaną wiązkę z powodzeniem stosowano do zwiększania chropowatości powierzchni, do jej polerowania jonowego, do trawienia jonowego celem zmniejszenia grubości próbki (ion thinning), a także do ujawniania ziaren, granic międzyziarnowych, porów, pustek itp. (wyniki prezentowano wcześniej).

EN

The article presents results of studies on glow discharge (GD) ion gun with hollow anode which is the source of neutralized argon and krypton ion beam. The investigation aim was optimisation of electrode system and working conditions of the gun as well as evaluation of possibilities to use the gun to surface morphological properties modification of stainless steel and titanium in micro- and nanoscale. The neutralized beam was successfully applied to surface roughening, surface polishing, sample thinning as well as revealing of grain and grain boundaries, pores, voids, etc. (results were presented elsewhere).

Słowa kluczowe

PL

wiązka jonów; mikromodyfikacja powierzchni; nanomodyfikacja powierzchni; stal; tytan

EN

ion beam; stainless steel; titanium; surface micromodification; surface nanomodification

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 58--60
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Wilk J.

autor

Kamiński K.

autor

Kowalski Z. W.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Kowalski Z. W.: Morfologia powierzchni rozpylanej jonami - implikacje technologiczne i biomedyczne. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2001.
• [2] Marendziak A., Gotszalk T., Wilk J., Kowalski Z. W., Rangelow I. W.: Przygotowanie AFM do pomiarów nanochropowatości i analizy fraktalnej powierzchni rozpylanej jonami. Elektronika (XLVI), nr 6, 2005, 15-17.
• [3] Przybylski G., Wilk J., Kowalski Z. W.: Charakterystyki prądowe źródła zneutralizowanej wiązki jonów. Techniki jonowe, TJ'99, VI Ogólnopolskie Seminarium, Pol. Wrocławska. Instytut Techniki Mikrosystemów, Szklarska Poręba, 3-5 marca 1999, Wrocław: Oficyna Wyd. P. Wroc. 1999, ss. 138-141.
• [4] Polska Norma PN-87/M-04256/02, Struktura geometryczna powierzchni. Chropowatość powierzchni. Terminologia ogólna.
• [5] Marendziak A.: Geometryczne pomiary nanostruktur za pomocą mikroskopu bliskich oddziaływań. Rozprawa doktorska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2005.
• [6] Kamiński K.: Źródło zneutralizowanej wiązki jonów - projekt, wykonanie, badania. Praca dyplomowa, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2005.