Stanowisko do badania rozpylania jonowego wiązkami średniej energii

• Autorzy: Pyszniak K. , Turek M. , Droździel A. , Sielanko J. , Mączka D.

Warianty tytułu

EN

Experimental set-up for ion sputtering with medium energy ion beams

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono nowe stanowisko pomiarowe, skonstruowane w Instytucie Fizyki UMCS, służące do badania procesu rozpylania w trakcie bombardowania ciał stałych wiązkami jonów o średnich energiach. Zaprezentowano szczegółową analizę doboru parametrów pracy układu, mającą na celu uzyskiwanie dobrej jakości widm masowych rozpylanych substancji, przy jednocześnie zadowalającej wartości natężenia mierzonych prądów jonowych.

EN

In the paper new experimental apparatus for ion beam sputtering studies is presented. The set-up employs medium energy (20...70 keV) ion beams produced by electromagnetic mass separator. The detailed analyze of work parameters optimization is described. The goal of the optimization is to obtain good-quality mass spectra of sputtered substances keeping satisfactory level of sputtered ions current.

Słowa kluczowe

PL

implantacja jonów; rozpylanie jonowe; pomiar widm masowych

EN

ione implantation; sputtering ion beam medium energy; measurement mass spectra

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 51--54
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Pyszniak K.

autor

Turek M.

autor

Droździel A.

autor

Sielanko J.

autor

Mączka D.

• Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, Instytut Fizyki, Lublin

Bibliografia

• [1] Żuk W.: Spektrometria mas i elektromagnetyczna separacja izotopów. PWN, 1980.
• [2] Benninghoven A., Rudenauer F. G., Werner H. W.: Secondary Ion Mass Spectroscopy. John Wiley & Sons 1987.
• [3] Drozdziel A., Pyszniak K., Sielanko J., Turek M., Wojtowicz A.: Rapid Commun. Mass Spectrom. 2006, 20(2), 298.
• [4] Sielanko J., Szyszko W.: Surf. Sci. 1985, 161, 101.
• [5] Stabler A., Sielanko J., Goetz S., Speth E.: Fusion Technol. 1994, 26 (2), 145.