Niereaktywny impulsowy proces rozpylania magnetronowego

• Autorzy: Posadowski W. M. , Wiatrowski A. , Kudzia J. , Brudnik A.

Warianty tytułu

EN

Unreactive pulsed magnetron sputtering

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Porównywano parametry wyładowania jarzeniowego podczas stałoprądowych i impulsowych procesów rozpylania przy dużych gęstościach mocy wydzielanej w targecie. Rozpylano target Cu średnicy 50 mm i grubości początkowej 8 mm. Parametry wyładowania jarzeniowego badano metodą OES w zakresie długości fal 400...410 nm. Celem badań było określenie roli jonów Cu (404,3 nm) podczas procesu rozpylania magnetronowego. Przy zasilaniu stałoprądowym magnetronu, wraz ze zwiększaniem mocy targetu, obserwowano wzrost relacji Cu⁺/Cu*. Dla wartości Cu⁺/Cu*≥ 0,85 możliwe było prowadzenie procesu tzw. autorozpylania. Podczas rozpylania impulsowego stosunek Cu⁺/Cu* osiągał wartość porównywalną z obserwowaną w procesie rozpylania stałoprądowego dużej mocy. Mimo obecności zjawiska autorozpylania, niemożliwe było otrzymywanie warstw metodą impulsowego autorozpylania.

EN

The medium frequency magnetron plasma characteristics have been studied at relatively high target powers. The results have been compared with continuous dc discharge parameters. Planar magnetron source operated with a Cu target (50 mm in diameter, 8 mm in thickness). Continuous direct current and medium frequency pulsed sputtering discharge was studied by means of Optical Emission Spectroscopy in the 400...410 nm wavelength range. The emission results shown to be dominated by emission from metal ions (Cu⁺ 404.3 nm) at relatively high dc target power densities. Then the self-sustained magnetron-sputtering mode was observed. The emission spectra of the pulsed discharge supplied at all range of target powers showed the relation of copper ion lines' intensity to copper neutral lines' intensity comparable with those ones obtained for dc discharge of magnetron working at high target power densities. There was no possibility to carry out self-sustained sputtering mode using pulsing discharge.

Słowa kluczowe

PL

rozpylanie magnetronowe; gęstość mocy; target; metoda OES

EN

magnetron sputtering; high target powers; optical emission spectroscopy

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 50--51
• Opis fizyczny: Bibliogr. 16 poz., wykr.

Twórcy

autor

Posadowski W. M.

autor

Wiatrowski A.

autor

Kudzia J.

autor

Brudnik A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wrocław

Bibliografia

• [1] Kouznetsov V., Macak K., Schneider J. M., Helmersson U., Petrov I.: Surface and Coatings Technology, 122, (1999), pp. 290-293.
• [2] Helmersson U., Lattemann M., Alami J., and Bohlmark J.: 48th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vacuum Coaters, (2005), pp. 458-464.
• [3] Chennadi S., Christie D. J., Sevvana S., Lakkaraju R. K., Li J., Mihut D. M., Rohde S. L.: 48th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vacuum Coaters, (2005), pp. 474-479.
• [4] Bohlmark J., Ehiasarian A. P., Lattemann M., Alami J., Helmersson U.: 48th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vacuum Coaters, (2005), pp. 470-473.
• [5] Christie D. J., Pflug A., Sittinger V., Ruske F., Siemers M., Szyszka B., Geisler M.: 48th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vacuum Coaters, (2005), pp. 501-503.
• [6] Christie D. J.: J. Vac. Sci. Technol., A, v. 23, no. 2, Mar/Apr, (2005), pp. 330-335.
• [7] Vlcek J., Pajdarova A. D., Belsky P., Lukas J., Kudlacek P., and Musil J.: 48th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vacuum Coaters, (2005), pp. 465-469.
• [8] Bohlmark J., Alami J., Christou C., Ehiasarian A. P., Helmersson U.: J. Vac. Sci. Technol. A 23 (1), Jan/Feb 2005, pp. 18-22.
• [9] DeKoven B. M., Ward P. R., and Weiss R. E., Christie D. J., Scholl R. A., Sproul W. D.: 46th Annual Technical Conference Proceedings, Society of Vaccum Coaters, (2003), pp. 158-160.
• [10] Anders A.: Surface and Coatings Technol., 183, (2004), pp. 301-311.
• [11] Ehiasarian A. P., New R., Münz W.-D., Hultman L., Helmersson U., Kouznetsov V.: Vacuum, 65, (2002), pp.147-154.
• [12] Musil J., Leština J., Vlcek J., and Tölg T.: J. Vac. Sci. Technol. A, 19 (2), Mar/Apr., (2001), pp. 420-424.
• [13] Gudmundsson J. T., Alami J., Helmersson U.: Surface and Coatings Technology, 161, (2002), pp. 249-256.
• [14] Posadowski W. M., Wiatrowski A., Dora J., Radzimski Z.: Proceedings of the 6th International Conference on Coatings on Glass and Plastics, June 18-22, Dresden (Germany), (2006), pp. 75-78.
• [15] Posadowski W. M.: Thin Solid Films, v. 392/2, (2001), pp. 201-207.
• [16] Dora J.: Zasilacz rezonansowy. Urząd Patentowy RP, Patent nr 178285, zgł. 1996.06.03.