Modelowanie numeryczne przepływu elektronów w warunkach niskiej próżni

• Autorzy: Krzysztof M. , Słówko W.

Warianty tytułu

EN

Numerical modelling of electron flow in low vacuum

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zaprezentowano program komputerowy, umożliwiający modelowanie przepływu elektronów w warunkach, zarówno wysokiej jak i niskiej próżni, tj. w warunkach w jakich działa skaningowy mikroskop elektronowy o zmiennym ciśnieniu (tzw. Variable Pressure SEM). Program stanowi połączenie komercyjnego pakietu SIMION 3D v.7.0 do wyznaczania torów cząstek naładowanych w polu elektrycznym i magnetycznym oraz programu Monte Carlo uwzględniającego zjawiska towarzyszące zderzeniom elektronów z molekułami gazu.

EN

Computer program for numerical modelling of electron flow in low vacuum is presented. The program allows to simulate electron flow in both high and low vacuum as it was developed for studying the work of Variable Pressure SEM. It combines commercially available packet SIMION 3D v.7.0 destined for tracing trajectories of charged particles in electric and magnetic fields, and a Monte Carlo program modeling phenomena accompanying electron collisions with gas molecules. The program allows to simulate electron flow in both high and low vacuum of order of tens mbar as it was developed for analyzing of detection systems for Variable Pressure SEM.

Słowa kluczowe

PL

Monte Carlo; VP SEM

EN

Monte Carlo; VP SEM; variable pressure scanning electron microscopy (VP SEM)

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 43--44
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys.

Twórcy

autor

Krzysztof M.

autor

Słówko W.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki,

Bibliografia

• [1] Mitchner M., Kruger C. H.: Partially Ionized Gases. J. Wiley and Sons, New York London, 1973.
• [2] Rochlin G. N.: Gazorazrjadnye istočniki sveta. Energija, Moskva 1966.
• [3] Reimer L., Stelter D.: FORTRAN 77 Monte-Carlo Program for Minicomputers Using Mott Cross-Sections. Scanning vol. 8, 265-277 (1986).
• [4] Danilatos G. D.: Foundations of environmental scanning electron microscopy. Advances in Electronics and Electron Physics, vol. 71 109-250 (1988).