Struktura geometryczna powierzchni stali i tytanu rozpylanej szeroką wiązką jonów

• Autorzy: Kowalski Z. W. , Martan J.

Warianty tytułu

EN

Surface geometrical structure of steel and titanium sputtered by broad ion beam

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Badanie struktury geometrycznej powierzchni (SGP), której podstawowymi parametrami są chropowatość oraz - rzadziej badane - falistość i wady powierzchni jest jednym z ważniejszych zagadnień związanych z modyfikacją powierzchni ciała stałego. Charakter SGP materiału zależy od rodzaju stosowanego procesu technologicznego. W opracowaniu zaprezentowano wyniki badań dotyczących wpływu bombardowania jonowego na charakter SGP. W badaniach tych wykorzystano szeroką wiązkę jonów argonu o względnie małej energii 800 eV do rozpylania powierzchni stali i tytanu oraz metodę analizy harmonicznych profilu powierzchni poddanej bombardowaniu.

EN

Investigation of surface geometrical structure (SGS) with its main components: roughness and less known and rarely investigated waviness and surface defects is one of the more important problems connected withsolid surface modification. SGS of the material depends on technological process used in the experiment. In this work the influence of ion beam bombardment on SGS character is presented. In the study broad 800 eV argon ion beam to sputter steel and titanium surfaces as well as harmonic analysis method, borrowed from electrical engineering, was utilized.

Słowa kluczowe

PL

analiza harmonicznych; struktura geometryczna powierzchni; rozpylanie jonowe; stal nierdzewna; tytan

EN

harmonic analysis; surface geometrical structure; ion sputtering; stainless steel; titanium

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 41--42
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Kowalski Z. W.

autor

Martan J.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Martan J., Kowalski Z. W.: Wpływ czasu bombardowania jonowego na charakter strukturalny geometrycznej powierzchni stali. Elektronika, 2005, nr 6, ss. 18-19.
• [2] Nowicki B. L.: Struktura geometryczna, chropowatość i falistość powierzchni. WNT, Warszawa 1991.
• [3] Stacewicz T., Kotlicki A.: Elektronika w laboratorium naukowym. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa 1994.
• [4] Russ J. C.: Fractal Surface. Plenum Press New York, Londyn 1994.
• [5] Martan J., Przybylski G., Tabaka R., Kowalski Z. W.: Vacuum 2005, 78; pp. 217-221.
• [6] Przybylski G., Wilk J., Kowalski Z. W.: Proc. II Int. Conf. NEET'2001, Kazimierz Dolny, Poland, 14-17 February 2001.