Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych

Wroczyński, P.; Gnyba, M.; Herman, A.; Bogdanowicz, R.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych

Autorzy

Wroczyński P. , Gnyba M. , Herman A. , Bogdanowicz R.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Synthesis of diamond thin films for optoelectronic application

Języki publikacji

Abstrakty

Diamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in-situ parametrów materiałowych. Przedstawiono optoelektroniczne metody badania przebiegu procesu syntezy warstw diamentowych i DLC: spektroskopię ramanowską oraz optyczną spektroskopię emisyjną.

Diamonds for optoelectronics and sensor applications are synthesised in vacuum process using low-temperature plasma. Nanostructures grow from molecules or even from atoms. Manufacturing of nanostructures requires precise monitoring of the synthesis process. Optoelectronic measurement methods enable control of the films growth as well as in-situ investigation of the material parameters. In this paper, we presented optoelectronic methods which can be used in investigation of synthesis process of diamond and DLC films: Raman spectroscopy and optical emission spectroscopy.

Słowa kluczowe

warstwy diamentowe cienkie DLC CVD diagnostyka optyczna in-situ

thin fims diamond DLC films CVD in situ optical diagnostics

Wydawca

Wydawnictwo SIGMA-NOT

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Rocznik

2007

Tom

Vol. 48, nr 9

Strony

42--45

Opis fizyczny

Bibliogr. 17 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Wroczyński P.

autor

Gnyba M.

autor

Herman A.

autor

Bogdanowicz R.

Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki

Bibliografia

[1] Lifshitz Y., Meng X.M., Lee S.T., Akhveldiany R., Hoffman A.: Visualization of Diamond Nucleation and Growth from Energetic Species. Phys. Rev. Lett., 93, 2004, ss. 2717-2720.
[2] Petherbridge J., May P., Pearce S., Rosser K., Ashfold M.: Low temperature diamond growth using CO2/CH4 plasmas: Molecular beam mass spectrometry and computer simulation investigations. J. Appl. Phys., Vol. 89, Number 215, 2001, s. 1484.
[3] Ida S., Tsubota T., Hirabayashi O., Nagata M., Matsumoto Y., Fujishimac A.: Chemical reaction of hydrogenated diamond surface with peroxide radical Initiators. Diamond and Related Materials, 12, 2003, ss. 601-605.
[4] Leea S., Linb Z., Jiangc X.: CVD diamond films: nucleation and growth. Materials Science and Engineering, 25, 1999, s. 123-154.
[5] May P.: Diamond thin films: a 21st-century material. Phil. Trans. R. Soc. Lond. A, 358, 2000, ss. 473-495.
[6] Frenklach M., Spear K.E.: Growth mechanism of vapor-deposited diamond. J. Matter Res., 3, 1988, ss. 133-140.
[7] Tsuda M., Nakajima M., Oikawa S.: Epitaxial growth mechanism of diamond crystal in methane-hydrogen plasma. J. Am. Chem. Soc., 108(19),1986, ss. 5780-5783.
[8] Tsuda M., Nakajima M., Oikawa S.: The importance of the positively charged surface for the epitaxial growth of diamonds at low pressure. Jpn. J. Appl. Phys., 26, 1987, ss. 527-529.
[9] Wroczyński P., Herman A.: Rola jonów wodorowych w procesie syntezy warstw diamentowych metodą MW(ECR)CVD. Proc. II Ogólnopolska Konferencja Naukowa Inżynieria Powierzchni, Radom-Krynica 1996, ss. 447-453.
[10] Wroczyński P., Herman A.: Sprawozdanie z prac badawczych. Grant KBN nr 3 P 40708106
[11] Herman A., Wroczyński P.: Semi-Empirical Molecular Dynamics Studies for Early Stages of Diamond Growth. In "New Diamond and Diamond-Like Films", Edited by P. Vincenzini, Advances in Science and Technology, 6, ss. 141-147.
[12] Yarborough W.A.: Vapor-phase Deposited Diamond - Problems and Potential. J. Am. Cer. Soc., vol. 75 (1992), s. 12.
[13] Vepřek S.: Chemical Evaporation and Deposition of Solids in a Non-Isothermal Plasma; Chemical Transport of Carbon. J. Cryst. Growth, vol. 17 (1972), s. 101.
[14] Mitura S.: Znaczenie elektronów w procesie niskociśnieniowej syntezy diamentu. Zeszyty Naukowe Polit. Łódzkiej (1992), s. 666.
[15] Sokołowska A.: Niekonwencjonalne środki syntezy materiałów. PWN, Warszawa 1991.
[16] Fabisiak K.: Analiza defektów w cienkich, polikrystalicznych warstwach diamentowych otrzymywanych metodami CVD. Wyd. UMK, Toruń 1994.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BWAP-0004-0010