Budowa i działanie wieloźródłowego urządzenia do nakładania powłok metodami PAPVD

• Autorzy: Miernik K. , Walkowicz J. , Smolik J. , Bujak J. , Brudnias R. , Słomka Z.

Warianty tytułu

EN

Structure and work of a multi-source device for coating deposition by means of PAPVD methods

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy zaprezentowano konstrukcję najważniejszych zespołów wykonawczych urządzenia łukowo-próżniowego, stosowanego do osadzania twardych powłok przeciwzużyciowych. Opisano szczegółowo budowę łukowych źródeł plazmy, komory próżniowej z układem pompującym, układu dostarczania gazu technologicznego, przepustu wysokonapięciowego z zespołem napędowym, układu kontroli temperatury detali, układu chłodzenia i układu pneumatycznego. Wszystkie te zespoły zostały zaprojektowane oraz wykonane w Instytucie Technologii Eksploatacji i zastosowane w zbudowanym na ich bazie urządzeniu do realizacji metod PAPVD. Pozalają one na dokonanie gruntownej modernizacji eksploatowanych obecnie w kraju urządzeń PAPVD lub modernizacji ich wybranych podzespołów w zależności od stanu technicznego, potrzeb technologicznych żądanego stopnia automatyzacji procesu. Opracowanie tych modułów umożliwiło stworzenie technicznej bazy do krajowej produkcji nowoczesnych urządzeń do realizacji procesów PAPVD. Urządzenia takie mogą być konfigurowane metodami zasilającymi, kontrolnymi i sterującymi, opracowanymi w ramach projektu według indywidualnych wymagań użytkowników przy zapewnieniu wysokiego poziomu technicznego.

EN

The paper presents the structure of the most important executive systems of the arcvacuum device used for deposition of hard anti-wear coatings (arc plasma sources, vacuum chamber, gas system, high-current roll-pass, control system of the detail temperature, cooling and pneumatic systems) producend in the Institute for Terotechnology. These systems were applied in the cource of constructing an orginal PAPVD device for anti-wear coating deposition. Development of these systems enabled creation of technical base for national production of modern devices for execution of PAPVD processes, which can be equipped with supply, inspection and control modules according to individual requirements of users with guarantee of high technical level.

Słowa kluczowe

PL

wieloźródłowe urządzenie; PA PVD; twarde powłoki; urządzenie łukowo-próżniowe

EN

multi-source device; hard coatings; PAPVD method

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2000
• Tom: nr 4
• Strony: 303--317
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., rys.

Twórcy

autor

Miernik K.

autor

Walkowicz J.

autor

Smolik J.

autor

Bujak J.

autor

Brudnias R.

autor

Słomka Z.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom