Krzemowe, 16-elementowe matryce fotodiodowe specjalizowane do monitorowania optycznego czujników mikrodźwigniowych

• Autorzy: Węgrzecki M. , Bar J. , Budzyński T. , Gosztalk T. , Grabiec P. , Lipiński D. , Nieradka K.

Warianty tytułu

EN

The single-purpose 16-element silicon photodiode arrays for monitoring micro-cantilever based sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy omówiono konstrukcję i właściwości krzemowych 16-elementowych matryc fotodiodowych, opracowanych w ITE we współpracy z Wydziałem Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej, do opracowywanego tam systemu optycznego monitorowania parametrów mechanicznych matrycowych czujników mikrodźwigniowych.

EN

In this paper, we present the construction and properties of the 16-element silicon photodiode arrays developed at the ITE in collaboration with the Faculty of Microsystem Electronics and Photonics at the Wrocław University of Technology. The photodiode arrays will be applied in the system, being developed at the Wrocław University of Technology, monitoring optically the mechanical parameters of multiple microcantilever based sensors.

Słowa kluczowe

PL

matryca fotodiodowa; fotodioda wielosegmentowa; czujnik mikrodźwigniowy

EN

photodiode array; quadrant photodiode; micro-cantilever based sensor

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 6
• Strony: 37--38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Węgrzecki M.

autor

Bar J.

autor

Budzyński T.

autor

Gosztalk T.

autor

Grabiec P.

autor

Lipiński D.

autor

Nieradka K.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Nieradka K. i in.: Expanded beam deflection method for simultaneous measurement of displacement and vibrations of multiple microcantilevers. Rev. Sci. Instrum., 82, 2011, 105112.