Metody i aparatura do badania parametrów powierzchni przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła

• Autorzy: Synak R. , Ryżko J.

Warianty tytułu

EN

Methods and equipment for investigation of rough surfaces parameters using light scattering phenomenon

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Scharakteryzowano zwięźle metody pomiarowe stosowane przy określaniu parametrów powierzchni nierównych, głównie wysokości przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła. Podano główne zastosowania tych pomiarów. Pokazano zdjęcia i niektóre parametry urządzeń skaterometrycznych wytwarzanych przez przodujących w tej dziedzinie producentów amerykańskich. Przytoczono też informacje o pracach prowadzonych nad taką aparaturą w Polsce.

EN

Measurement methods used for determining rough surfaces parameters, based on light scattering are shortly described. The main applications of this measurements are given. Some photographs and parameters of the scatterometer devices produceded by recognized American companies are shown. Information about works in this area in Poland is also given.

Słowa kluczowe

PL

metrologia powierzchni; skaterometria; dyfrakcja i rozpraszanie światła

EN

surface metrology; scatterometry; light ditfraction and scattering

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 97--100
• Opis fizyczny: Bibliogr. 14 poz., il.

Twórcy

autor

Synak R.

autor

Ryżko J.

• Instytut Maszyn Matematycznych, Warszawa

Bibliografia

• [1] Chabros W., Gawlas J.: Nano-Skateroskop. II Konferencja Optoelektronika 2003, Komunikaty. Poznań, 110-112, 2003.
• [2] Choi N., Harvey J., Krywonos A.: New capabilities for predicting image degradation from optical surface metrology data. Proc. of SPIE Vol. 7801, 78010E-1-8.
• [3] Duparre A.: Light scaterring technigues for the inspection of microcomponents and microstructures (w:) Optical Inspection of Microsystems. W. Osten (ed.), Optical Science and Engineering. Vol. 102, 103-139, 2007.
• [4] Jaglarz J.: Metody optyczne w badaniach powierzchni i powłok rzeczywistych. Wydawnictwo Politechniki Krakowskiej, Seria: Podstawowe Nauki Techniczne, Monografia 348, Kraków 2008.
• [5] Łukianowicz C.: Podstawy pomiarów nierówności powierzchni metodami rozpraszania. Wydawnictwo Uczelniane Politechniki Koszalińskiej, Koszalin 2001.
• [6] Łukianowicz C.: Skaterometria powierzchni nierównych. Problemy Metrologii Elektronicznej i Fotonicznej. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 165-222, 2009.
• [7] McNeil J.: Scatterometry Applied to Microelectronics Processing, http://photonicssociety. org/newsletters/oct00/scatter. htm.
• [8] Nicodemus F.: Reflectance nomenclature and directional reflectance and emissivity. Applied Optics, vol. 19, June, 1474-1475, 1970.
• [9] Scatterometry: Measuring Ever-Smaller Chip Production. Science-Daily (Mar. 9, 2010); http://photonicssocietyorg/newsletters/oct00/ scatter.htm.
• [10] Stover J.: Optical Scattering. Measurement and Analysis. SPIE Optical Engineering Press, Washington, 1995.
• [11] Synak R. i inni. Laserowy przyrząd do oceny chropowatości powierzchni na podstawie pomiaru parametru TIS. Techniki Komputerowe IMM, XLI, nr 1, 67-75, 2006.
• [12] Synak R., Pawełczak M.: Zintegrowana głowica pomiarowa do badania chropowatości powierzchni bardzo gładkich. Elektronika, nr 11, 266-271, 2008.
• [13] http://www.perkinelmer.com/CMS Resources.
• [14] http.//www.schmitt-ind.com/products-services-measurement-systems.shtml.